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| ヘキサポッド6軸システム パラレル制御 | |||||||
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応用例 |
| 製品ラインナップ | |||
| >> ヘキサポッド６軸システム ＆ Tripod３軸システム | |||
| >> ヘキサポッド６軸システム ＆ Tripod３軸システム | |||||
| データシート | モデル | 特徴 | 耐荷重 [Kg] |
ストローク[mm] | ドライブ |
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M-810 | 小型ヘキサポッド ロングトラベル 高精度 |
5 | to 40 mm / 60° |
DCモーター |
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M-824 | 真空仕様 小型ヘキサポッド ロングトラベル 高精度 |
10 | to 45 mm / 25° |
DCモーター |
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M-840 | HexaLight ヘキサポッド 高速 中荷重用 ロングトラベル |
10 | to 100 mm / 60° |
DCモーター |
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M-850 | HexaLight ヘキサポッド 高速 高荷重用 ロングトラベル |
200 | to 100 mm / 60° |
DCモーター |
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F-206.S | HexAline 6軸マイクロアジャスティングシステム 高精度 オプション：フォトメーター |
2 | to 12 mm / 6° |
DCモーター |
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M-850KWAH | 天文用（ALMA望遠鏡）２次反射鏡用 6軸ヘキサポッド 防水加工 |
100 | to 16 mm | DCモーター |
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N-515K | NEXLINE仕様 非磁性ピエゾヘキサポッド 高精度 高剛性 6軸ナノポジショニングシステム |
>50 | to 10 mm / 6° |
NEXLINE （ピエゾ） |
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M-850 Ultra High Load |
超高荷重用ヘキサポッド 天文用や他のアライメント システム向き |
1000 | to 24 mm / 60° |
DCモーター |
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M-850KLAH | 検査装置等用のカスタム ヘキサポッド |
200 | to 50mm / 10° | DCモーター |
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M-880.PD | Tripod 3軸高荷重用 XYθ ステージ LCD、半導体検査向き |
150 | 20 x 20 mm/ 8°° | DCモーター |
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M-833 | Tripod 3軸ステージ XYθy |
4 | +/- 25 mm (X,Z) +/-30° (θy) | DCモーター |
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N-510K | Tripod Z-チップ・チルト ナノポジショニングステージ |
20 | 1.3 / 10 mrad | NEXLINE （ピエゾ） |
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