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| ハイブリッドステージ | ||||||||
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応用例 |
| 製品ラインナップ | |||
| >> ピエゾ内蔵ハイブリッドモーターステージ >> ピエゾ内蔵ハイブリッドモーターステージ用 コントローラー |
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| >> ピエゾ内蔵ハイブリッドモーターステージ | |||||
| データシート | モデル | 特徴 | 軸 | ストローク |
センサー |
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M-511.HD | ハイブリッドステージ DCサーボモーター + ピエゾドライブ 4nmリニアエンコーダー |
X | 100mm | リニアスケール |
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M-714 | ハイブリッドZ軸ステージ DCサーボモーター + ピエゾドライブ 2nmリニアエンコーダー |
Z | 7mm | リニアスケール |
| >> ピエゾ内蔵ハイブリッドモーター用 コントローラー | |||||
| データシート | モデル | 特徴 | チャンネル数 | インターフェース | |
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C-702 | ハイブリッドステージ用コントローラー ２チャンネル使用可能 |
2 | TCP/IP RS-232 VGA,キーボード |
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