PI-JAPAN　ホームページへようこそ　我々はピエゾのスペシャリストです　超精密位置決め，ピエゾに関する事は、我々にお任せください

ピエゾフレクシャーステージ・スキャニングシステム
・ 長寿命化セラミック（ＰＩＣＭＡ）採用　（湿度対策を施したピエゾセラミック） ・ 最大1５００μmストローク ・ 1ナノメートル以下の分解能を誇る 　静電容量センサーを内蔵 ・ 大口径を有する一体構造型XY, 　XYZステージ ・ 摩擦及び粘着はありません ・ 超高真空、ベーキング可 ・ 微鏡対物レンズ用ポジショナー ・ 顕微鏡レボルバー用ポジショナー ・ 最大６軸一体型　（１台のステージ 　で１軸から多軸まで対応） ・ バックラッシュもありません ・ 疲労、磨耗もありません ・ 非磁性対応		製品情報 >> ピエゾステージ使用例 >> ケーブル・コネクタ・アダプター

		応用例 ・ 半導体集積光学系・フォトマスクの精密位置決め ・ マイクロリソグラフィー ・ ニアフィールド・STM・AFM共焦点顕微鏡 ・ レーザー顕微鏡 ・ ハードディスク・DVD・CD検査装置 ・ フラットディスプレイ検査装置 ・ 光通信部品のアライメント ・ マイクロマシニング ・ 精密加工 ・ 生物試料の位置決め

製品ラインナップ
>> コンパクト　オープンループステージ 　>> 顕微鏡用　Z軸ステージ　対物ナノフォーカスシステム 　>> 1軸・2軸　SGSセンサー付き　コンパクトステージ 　>> 高精度　1軸　クローズドループ　ステージ 　>> 複数軸ステージ，モジュール式ステージ　シリアル機構使用 　>> 複数軸ステージ，モジュール式ステージ　パラレル機構使用 　>> Z軸　チップ/チルト　ステージ 　>> スキャニング　（顕微鏡検査）　ピエゾステージ 　>> NEXLINE / NEXACT　ロングトラベル　ナノポジショニング 　>> 6軸　ステージ　（パラレル機構使用）

>> コンパクト　オープンループステージ
データシート	モデル	特徴	軸	ストローク [μm]	センサー
	P-712	コンパクト 　高速　X軸スキャナー	X	30	なし/SGS
	P-713	コンパクト 　高速　XY軸スキャナー	XY	15	なし
	P-280	ナノポジショニングステージ 　XY，XYZに組み合わせ可能	X	30, 50, 100	なし
	P-290	ナノポジショニングステージ 　ロングストローク	Z	1000	なし
	P-601	オープン＆クローズドループ 　水平Z軸ステージ	Z	110, 300, 400	なし/SGS
	P-287	Z，チルト 　ナノポジショニングステージ 　ロングストローク	Z, θx	700, 12 mrad	なし
	P-772	超コンパクトフレクシャーシステム	X	10	なし
>> 顕微鏡用　Z軸ステージ　対物ナノフォーカスシステム
データシート	モデル	特徴	軸	ストローク [μm]	センサー
	P-721.CDQ P-721.SL2	PIFOC　対物ナノフォーカスシステム 　高速　高精度 　クイックロックシステム	Z	100	静電容量 /SGS
	P-725	PIFOC　対物ナノフォーカスシステム 　軽量　コンパクト　高精度 　ロングストローク 　クイックロックシステム	Z	100,250,400	静電容量
	P-726	PIFOC　対物ナノフォーカスシステム 　高剛性（重い対物に対応） 　高速　高精度	Z	80	静電容量
	P-725.XDD	PIFOC　対物ナノフォーカスシステム 　高剛性　高速　高精度	Z	20	静電容量 /SGS
	P-720	PIFOC　対物ナノフォーカスシステム 　オープンループ仕様	Z	100	なし
	P-737	PIFOC　Z軸　顕微鏡用ステージ 　ポジショニング・スキャニング用	Z	to 250 µm	SGS
	P-541.Z	薄型Z軸ステージ 　開口部80mm×80mm	Z (θxθy)	100	静電容量 /SGS
>> 1軸・2軸　SGSセンサー付き　コンパクトステージ
データシート	モデル	特徴	軸	ストローク [μm]	センサー
	P-611.1, P-611.2	コンパクト　低価格 　X,　XY　ナノポジショニングステージ	X,XY	100	SGS
	P-611.ZS, P-611.XZS	コンパクト　低価格 　Z,　XZ　ナノポジショニングステージ	Z,XZ	100	SGS
	P-714	超小型　XYスキャナー 　高速	XY	15	SGS
>> 高精度　1軸　クローズドループ　ステージ
データシート	モデル	特徴	軸	ストローク [μm]	センサー
	P-783	ナノポジショニング　Z軸ステージ 　コンパクト　ロングストローク 　クローズドループ	Z	300	LVDT
	P-620.Z - P-622.Z -	PI Hera　Z軸ナノポジショナー 　コンパクト　高精度 　ロングストローク	Z	50, 100, 250	静電容量
	P-772	ナノポジショニングステージ 　超コンパクト 　高速　高精度	X	10	なし
	P-780	ナノポジショニングステージ 　高速　コンパクト 　ステンレススチール製	X	80	LVDT
	P-750	重加重用ナノポジショニングステージ 　高ガイダンス　高剛性	X	75	静電容量 /LVDT
	P-752	ナノポジショニングステージ 　高速　高剛性	X	15,30	静電容量
	P-753	ナノポジショニングステージ 　超コンパクト高速　高剛性	Z & X	12, 25, 38	静電容量
	P-620.1 - P-629.1	PI Hera　ナノポジショナー 　コンパクト　高精度 　ロングストローク	X (XY, Z)	50, 100, 250, 500, 1000, 1800	静電容量
	N-661	NEXACT　小型リニアステージ	X	20,000	リニア スケール
	M-714	ハイブリッドZ軸ステージ 　DCサーボモーター　+　ピエゾドライブ 　2nmリニアエンコーダー	Z	7mm	リニア スケール
	M-511.HD	ハイブリッドステージ 　DCサーボモーター　+　ピエゾドライブ 　4nmリニアエンコーダー	X	100mm	リニア スケール
>> 複数軸ステージ，モジュール式ステージ　シリアル機構使用
データシート	モデル	特徴	軸	ストローク [μm]	センサー
	P-281 / P-282	オープンループ　コンパクト 　モジュール型 　ナノポジショニングステージ	XY, XYZ	30, 50, 100	なし
	P-612.2	コンパクト　低価格 　XYステージ 　100×100um 高精度	XY	100 x 100	SGS
	P-611.1, P-611.2	コンパクト　低価格 　X，XYナノポジショニングステージ	X, XY	100	SGS
	P-611.ZS, P-611.XZS	コンパクト　低価格 　Z，XZナノポジショニングステージ	Z, XZ	100	SGS
	P-611.3	NanoCube　 　XYZピエゾアライメントシステム 　低価格	XYZ	100	SGS
	P-620.2 - P-629.2	PI Hera　コンパクト　高精度 　ロングストローク	XY (Z, XYZ)	50, 100, 250, 500, 1000, 1800	静電容量
>> 複数軸ステージ，モジュール式ステージ　パラレル機構使用
データシート	モデル	特徴	軸	ストローク [μm]	センサー
	P-313	PicoCube 　ピコメーターピエゾスキャナー 　オープンループ	XY, XYZ	1 x 1 x 0.8	なし
	P-714	超小型　XYスキャナー 　高速	XY	15	SGS
	P-363	PicoCube 　AFM，SPM ナノマニピュレーション用　高　精度ピエゾシステム	XY, XYZ	5 / Axis	静電容量
	P-541 P-542	薄型 　XY軸ピエゾスキャニングステージ 　開口部80mm×80mm	XY	to 200 in XY	静電容量
	P-733	XY(Z)ピエゾスキャニングステージ 　開口部50×50mm	XY(Z)	100 x 100 (x 10)	静電容量
	P-733.2DD / P-733.3DD	高速ピエゾスキャニングシステム 　XY，XYZ 　開口部50×50mm	XY, XYZ	30 x 30 (x10)	静電容量
	P-734	XYナノスキャニングピエゾステージ 　高面精度　高直進性 　開口部56×56mm	XY	100 x 100	静電容量
	P-915K	XYZ大型（340 x 340 x 60 mm） 　真空対応スキャナー 　開口部200×200mm	XYZ	100 x 100 x 100	静電容量
	P-517 - P-527	多軸ピエゾステージ 　開口部66×66mm 　高精度	XY, XYZ, XYθz	to 200 in XY, 10 in Z, to 2 mrad	静電容量
	P-561.3DD	PIMars 多軸ピエゾステージ 　高速　高精度　ダイレクトドライブ 　開口部66×66mm	XY, XYZ	45 XY, 11 Z	静電容量
	P-561 - P-563	PIMars 多軸ピエゾステージ 　ストローク300×300×300um 　開口部66×66mm	XY, XYZ	to 300 x 300 x 300	静電容量
	P-615	NanoCube 　XYZピエゾアライメントシステム 　ファイバーアライメント用開口部あり	XYZ	to 350 / Axis	静電容量
	P-518 - P-558	Z，チップ/チルト　ピエゾステージ 　開口部66×66mmり	Z, θxθy	to 200 in Z, 4 mrad	静電容量
	P-587	6軸ナノポジショニングステージ	XYZ, θxθyθz	up to 800 / 10 mrad	静電容量
>> Z軸　チップ/チルト　ステージ
データシート	モデル	特徴	軸	ストローク [μm]	センサー
	P-737	PIFOC　Z軸　顕微鏡用ステージ 　ポジショニング・スキャニング用	Z	to 250 µm	SGS
	P-541.Z	薄型Z軸ステージ 　開口部80mm×80mm	Z & Z, Tip/Tilt	100	静電容量 /SGS
	P-518 - P-558	Z，チップ/チルト　ピエゾステージ 　開口部66×66mmり	Z & Z, Tip/Tilt	to 200 in Z, 4 mrad	静電容量
	P-732.ZC	ハイパワー垂直 　ナノポジショニング/スキャニング 　ピエゾステージ	Z	15	静電容量
	P-612.Z	コンパクト　低価格 　Z軸ステージ	Z	100	SGS
	P-620.Z - P-622.Z	PI Hera　コンパクト　高精度 　ロングストローク　Z軸ステージ	Z	50, 100, 250	静電容量
	P-611.ZS, P-611.XZS	コンパクト　低価格 　Z，XZナノポジショニングステージ	Z, XZ	100	SGS
	P-783	LVDTセンサー付き 　フレクシャーガイド付き	Z	300	LVDT
	P-601	SGSセンサー付き 　フレクシャーガイド付き	Z	110, 300, 400	SGS
	P-290	ロングストローク 　ピエゾトランスレーター 　フレクシャーガイドを使用し、 　1mmのストローク	Z	1000	なし
	P-287	フレクシャーガイドを使用し、 　～0.7mmのストローク 　ローテーション　～12mrad	Z, θx	700, 12 mrad	なし
	M-714	ハイブリッドZ軸ステージ 　DCサーボモーター　+　ピエゾドライブ 　2nmリニアエンコーダー	Z	7000	リニア スケール
>> スキャニング　（顕微鏡検査）　ピエゾステージ
データシート	モデル	特徴	軸	ストローク [μm]	センサー
	P-721.CDQ P-721.SL2	PIFOC　対物ナノフォーカスシステム 　高速　高精度 　クイックロックシステム	Z	100	静電容量 /SGS
	P-725	PIFOC　対物ナノフォーカスシステム 　軽量　コンパクト　高精度 　ロングストローク 　クイックロックシステム	Z	100, 250, 400	静電容量
	P-726	PIFOC　対物ナノフォーカスシステム 　高剛性（重い対物に対応） 　高速　高精度	Z	100	静電容量
	P-725.XDD	PIFOC　対物ナノフォーカスシステム 　高剛性　高速　高精度	Z	20	静電容量 /SGS
	P-720	PIFOC　対物ナノフォーカスシステム 　オープンループ仕様	Z	100	なし
	P-737	PIFOC　Z軸　顕微鏡用ステージ 　ポジショニング・スキャニング用	Z	to 250 µm	SGS
	P-732.ZC	ハイパワー垂直 　ナノポジショニング/スキャニング 　ピエゾステージ	Z	15	静電容量
	P-612.Z	コンパクト　低価格 　Z軸ステージ	Z	100	SGS
	P-541.Z	薄型Z軸ステージ 　開口部80mm×80mm	Z & Z, Tip/Tilt	100	静電容量 /SGS
	P-518 - P-558	Z，チップ/チルト　ピエゾステージ 　開口部66×66mmり	Z & Z	to 200 in Z, 4 mrad	静電容量
	P-712	コンパクト 　高速　X軸スキャナー	X	30	なし/SGS
	P-714	超小型　XYスキャナー 　高速	XY	15	SGS
	P-612.2	コンパクト　低価格 　XYステージ 　100×100um 高精度	XY	100 x 100	SGS
	P-541 P-542	薄型 　XY軸ピエゾスキャニングステージ 　開口部80mm×80mm	XY	to 200 in XY	静電容量 /SGS
	P-733	XY(Z)ピエゾスキャニングステージ 　開口部50×50mm	XY(Z)	100 x 100 (x 10)	静電容量
	P-733.2DD, P-733.3DD	高速ピエゾスキャニングシステム 　XY，XYZ 　開口部50×50mm	XY, XYZ	30 x 30 (x10)	静電容量
	P-734	XYナノスキャニングピエゾステージ 　高面精度　高直進性 　開口部56×56mm	XY	100 x 100	静電容量
	P-915K	XYZ大型（340 x 340 x 60 mm） 　真空対応スキャナー 　開口部200×200mm	XYZ	100 x 100 x 100	静電容量
	P-517, P-527	多軸ピエゾステージ 　開口部66×66mm 　高精度	XY, XYZ, XYθz	to 200 in XY, 20 in Z, to 4 mrad	静電容量
	P-561 - P-563	PIMars 多軸ピエゾステージ 　ストローク300×300×300um 　開口部66×66mm	XY, XYZ	to 300 x 300 x 300	静電容量
>> NEXLINE / NEXACT　ロングトラベル　ナノポジショニング
データシート	モデル	特徴	加重範囲 [Kg]	ストローク[μm]	ドライブ
	N-111	NEXLINE　PiezoWalk 　ナノポジショニングドライブ 　高精度	8	5	Piezo-Walk®
	N-214	NEXLINE　PiezoWalk 　高荷重ナノポジショニングドライブ 　高精度	60	20	Piezo-Walk®
	N-310	NEXACT 　超小型ナノポジショニングドライブ 　高精度	1	20	Piezo-Walk®
	N-380 N-381	高精度　PiezoWalk 　オプショナルセンサー付 　リニアアクチュエーター	1.5	30	Piezo-Walk® ピエゾステッピングモーター
>> 6軸　ステージ　（パラレル機構使用）
データシート	モデル	特徴	軸	ストローク [μm]	センサー
	P-587	6軸ナノポジショニングステージ	XYZ, θxθyθz	to 300 x 300 x 300	静電容量
	N-515K	NEXLINE 　ピエゾヘキサポッド　高荷重 　6軸ナノポジショニングシステム	XYZ, θxθyθz	to 10 mm / 6 deg.	リニア スケール

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