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PiezoWalkモーター アクチュエーター
・ サブナノメートルの分解能
・ 高剛性・高出力・高発生力 最大 600N
・ 超高真空、ベーキング可
・ 非磁性対応
・ 電源OFFでの安定した位置の保持
・ 高圧力  
・ バックラッシュもありません
・ 柔軟なカスタム対応
製品情報
>> NEXLINE/NEXACTの仕組み

アプリケーション例

・ 半導体製造
・ 半導体の試験
・ ウェハー検査
・ ナノリソグラフィ
・ ナノ計測
・ アクティブ振動ダンピング
・ 強磁場での動作



製品ラインナップ
 >> NEXLINE & NEXACT 超高分解能 ナノポジショニングモーター
 >> NEXLINE & NEXACT 超高分解能 ナノポジショニングモーター コントローラー

>> NEXLINE & NEXACT 超高分解能 ナノポジショニングモーター
データシート モデル 特徴 耐荷重
[Kg]
ストローク
[mm]
駆動方式
N-111  NEXLINE PiezoWalk
 ナノポジショニング モーター
 高精度
8 5 PiezoWalk
ピエゾステッピング
モーター
N-214  NEXLINE PiezoWalk
 ナノポジショニング モーター
 高荷重用 高精度
60 20 PiezoWalk
ピエゾステッピング
モーター
N-310  NEXACT 
 超小型ナノポジショニングモーター
 高精度
1 20 PiezoWalk
ピエゾステッピング
モーター
N-380
N-381
 高精度PiezoWalk
 ポジションセンサー(オプション)
 付きリニアアクチュエーター
1.5 30 PiezoWalk
ピエゾステッピング
モーター
N-661  小型リニアステージ
 NEXACT仕様
 ストローク20μm
20 20 PiezoWalk
ピエゾステッピング
モーター
N-515K  NEXLINEカスタムHexapod
 非磁性
 6軸ナノポジショニングシステム
>50 to 10 mm /
PiezoWalk
ピエゾステッピング
モーター
>> NEXLINE & NEXACT 超高分解能 ナノポジショニングモーター コントローラー
データシート モデル 特徴 出力電圧
[V]
パワー
[W]
センサー 軸数 インターフェース
E-861  通信対応
 NEXACT リニアドライブ
 ポジショナー用コントローラー
-10
to
+45
40 リニア
エンコーダー
1 USB,
RS-232
E-755  通信対応
 NEXLINEナノドライブ用
 コントローラー
±250 15 静電容量/
リニア
エンコーダー
1 RS-232




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