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静電容量センサー / 信号コンディショナー
・ 最大 1000um の測定範囲
・ サブナノメートルの分解能
・ 変位/動作/振動の非接触測定
・ 多軸アプリケーションに理想的
・ ILS信号エレクトロニクスによる高リニアリティ
・ 高バンド幅 (〜10kHz)
・ 高温および長期安定 (<0.1nm/3h)
・ 真空対応
・ 1or2電極のコンパクト設計(カスタム可)
・ ガードリング電極により境界効果の解消
・ 最高の温度安定性を確保した、
 インバール製バージョン (5×10e-6/K)
製品情報
>> センサーー使用例

応用例

・ 半導体製造/試験および測定
・ データストレージ
・ 産業系全般
・ 各種設計
・ 精密機械加工


製品ラインナップ
 >> 静電容量センサー
 >> 静電容量センサー コントローラー

>> 静電容量センサー
データシート モデル 特徴 電極 測定範囲(ノーマル時)
[um]
センサー
D-015
D-050
D-100
 高精度静電容量センサー
 高分解能 高バンド幅
 カスタマイズ可能
2 20
to
100
静電容量
D-510  PISeca単一電極型
 高精度静電容量センサー
 高分解能 高バンド幅
 カスタマイズ可能
1 15
to
100
静電容量
>> 静電容量センサー コントローラー
データシート モデル 特徴 使用可能数 アナログアウトプット
コネクタ
センサー
E-852  PISeca単一電極型
 静電容量センサー用
 コントローラー
 高性能高バンド幅
1 BNC 静電容量
E-509  3チャンネル 単一/2極用
 静電容量センサー用
 コントローラーモジュール
1
to
3
BNC 静電容量




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