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| 高速ステアリングミラー/アクディブオプティクス | |||||||||||
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応用例 |
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| 製品ラインナップ | |||
| >> 1軸 高速セットリングミラー >> 1~3軸(3点) ピエゾフェーズシフター / チップ・チルト プラットフォーム (開口部あり) >> 3軸(3点) ピエゾ チップ・チルト プラットフォーム (開口部なし) >> 2軸(2点) ピエゾ チップ・チルト プラットフォーム (開口部なし) >> チップ/チルト ミラー ピエゾ用コントローラー |
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| >> 1軸 高速セットリングミラー | |||||||
| データシート | モデル | 特徴 | 軸数 | チルト角 [mrad] |
ミラー サイズ |
ストローク [um] |
センサー |
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S-224 - S-226 |
ミラー付き 高速・コンパクト センサーオプション |
1 | 2.2 | Ø 10x2 | - | SGS |
| >> 1~3軸(3点) ピエゾフェーズシフター / チップ・チルト プラットフォーム (開口部あり) | |||||||
| データシート | モデル | 特徴 | 軸数 | チルト角 [mrad] |
ミラー サイズ |
リニア ストローク |
センサー |
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S-303 | 超高精度 共振周波数25kHz |
1 | - | - | 3 | - or 静電容量 |
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S-310, S-311, S-314, S-315, S-316 |
開口部あり 5ラインナップ センサーオプション Z/チップ・チルトあり |
1-3 | 0.6~1.2 | - | ~12 | - or SGS |
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P-528 | Z,チップ/チルト ピエゾ ステージ 開口部66×66mmり |
3 | 2 | - | 200 | 静電容量 |
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P-541 | 薄型Z軸ステージ 開口部80mm×80mm |
3 | 2 | - | 100 | 静電容量 or SGS |
| >> 3軸(3点) ピエゾ チップ・チルト プラットフォーム (開口部なし) | |||||||
| データシート | モデル | 特徴 | 軸数 | チルト角 [mrad] |
ミラー サイズ |
リニア ストローク |
センサー |
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S-325 | Z/チップ/チルト プラットフォーム 光学・ミラー用 |
3 | 5 | - | 30 | SGS |
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S-323 | Z/チップ/チルト プラットフォーム 光学・ミラー用 |
3 | 3 | - | 30 | 静電容量 |
| >> 2軸(2点) ピエゾ チップ・チルト プラットフォーム (開口部なし) | |||||||
| データシート | モデル | 特徴 | 軸数 | チルト角 [mrad] |
ミラー サイズ |
リニア ストローク |
センサー |
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S-334 | 最大光偏光120mrad ミラーつき 超小型 |
2 | 60 | Ø 10x2 | - | SGS |
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S-330.2 S-330.4 S-330.8 |
垂直型チップ/チルト ステアリングステージ |
2 | 2 5 10 |
- | - | SGS |
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S-340 | 垂直型チップ/チルト ステアリングステージ |
2 | 2 | - | - | LVDT |
| >> チップ/チルト ミラー ピエゾ用コントローラー | |||||||
| データシート | モデル | 特徴 | 出力電圧 [V] |
電力 [W] |
センサー | チャンネル | |
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E-616 | S-330,S-334,S-335 パラレル機構チップ/チルトステージ 用コントローラー |
-20 V to +120 V | 10 | SGS | 3 | |
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