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高速ステアリングミラー/アクディブオプティクス
・ 長寿命化セラミック(PICMA)採用 (湿度対策を施したピエゾセラミック)
・ サブマイクロラジアンの分解能
・ 高速セッドリングタイム
・ 2mrad~50mrad(3度)の可動レンジ
・ レーザー光透過用 クリアアパチャー有
・ 回転中心がミラーの中心に有り
・ ポジションセンサー内蔵
製品情報
>> ピエゾアクチュエーター使用例
>> アプリケーション
>> 天体望遠鏡での応用例
>> ケーブル・コネクタ・アダプター

応用例

・ レーザービーム操作/安定化
・ フォーカシング
・ イメージング
・ アダプティングオプティクス
・ キャビティーチューニング
・ オプティカルピンセット


製品ラインナップ
 >> 1軸 高速セットリングミラー
 >> 1~3軸(3点) ピエゾフェーズシフター / チップ・チルト プラットフォーム (開口部あり)
 >> 3軸(3点) ピエゾ チップ・チルト プラットフォーム (開口部なし)
 >> 2軸(2点) ピエゾ チップ・チルト プラットフォーム (開口部なし)
 >> チップ/チルト ミラー ピエゾ用コントローラー

>> 1軸 高速セットリングミラー
データシート モデル 特徴 軸数 チルト角
[mrad]
ミラー
サイズ
ストローク
[um]
センサー
S-224 -
S-226
 ミラー付き
 高速・コンパクト
 センサーオプション
1 2.2 Ø 10x2 - SGS
>> 1~3軸(3点) ピエゾフェーズシフター / チップ・チルト プラットフォーム (開口部あり)
データシート モデル 特徴 軸数 チルト角
[mrad]
ミラー
サイズ
リニア
ストローク
センサー
S-303  超高精度
 共振周波数25kHz
1 - - 3 -
or
静電容量
S-310,
S-311,
S-314,
S-315,
S-316
 開口部あり
 5ラインナップ
 センサーオプション
 Z/チップ・チルトあり
1-3 0.6~1.2 - ~12 -
or
SGS
P-528  Z,チップ/チルト ピエゾ ステージ
 開口部66×66mmり
3 2 - 200 静電容量
P-541  薄型Z軸ステージ
 開口部80mm×80mm
3 2 - 100 静電容量
or
SGS
>> 3軸(3点) ピエゾ チップ・チルト プラットフォーム (開口部なし)
データシート モデル 特徴 軸数 チルト角
[mrad]
ミラー
サイズ
リニア
ストローク
センサー
S-325  Z/チップ/チルト
 プラットフォーム
 光学・ミラー用
3 5 - 30 SGS
S-323  Z/チップ/チルト
 プラットフォーム
 光学・ミラー用
3 3 - 30 静電容量
>> 2軸(2点) ピエゾ チップ・チルト プラットフォーム (開口部なし)
データシート モデル 特徴 軸数 チルト角
[mrad]
ミラー
サイズ
リニア
ストローク
センサー
S-334  最大光偏光120mrad
 ミラーつき
 超小型
2 60 Ø 10x2 - SGS
S-330.2
S-330.4
S-330.8
 垂直型チップ/チルト
 ステアリングステージ
2 2
5
10
- - SGS
S-340  垂直型チップ/チルト
 ステアリングステージ
2 2 - - LVDT
>> チップ/チルト ミラー ピエゾ用コントローラー
データシート モデル 特徴 出力電圧
[V]
電力
[W]
センサー チャンネル
E-616  S-330,S-334,S-335
 パラレル機構チップ/チルトステージ
 用コントローラー
-20 V to +120 V 10 SGS 3




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