新製品
このサイトでは、弊社の新製品をご確認いただけます。詳しくは、弊社までお問い合わせください。できる限り速やかに、弊社セールスエンジニアが対応させていただきます。
- 製品
製品PI社はモーション ポジショニング分野のソリューションに関して世界的な大手サプライヤーです。 PI社はリニア、回転、そして垂直動作や異なった軸の組み合わせを広範囲に開発し製作するだけではありません。顧客様の用途に合わせたモーション ポジショニングシステムもご提案しています。- 新製品
- 製品検索製品検索必要なモーションの軸によって指定される製品タイプを選択してください。選択する基準を増やすと結果のリストが長くなるか、短くなります。同時に2つ以上のフィルタを選択することで、より耐荷重が大きい位置決めステージを検索することができます。
- カスタマイズ製品カスタマイズ製品PI社は、これまでにないソリューションを求められた場合でも、完全に自社対応します。これは研究分野にとどまりません。今日、ナノテクノロジーは標準的な産業プロセスにも存在します。
- ナノポジショニング ピエゾ フレクシャ ステージナノポジショニング ピエゾ フレクシャ ステージPI社のピエゾフレクシャステージでは、サブナノメートルの分解能とガイド精度を、クロストークが最小となるように組み合わせています。
- 多軸ピエゾ フレクシャ ステージ多軸ピエゾ フレクシャ ステージPI社の多軸ピエゾフレクシャステージでは、チップ、チルト、およびヨーイングのモーションを含む最大6軸まで、サブナノメートルの精度での位置決めとスキャン動作が可能です。ラインナップには、最もコンパクトなキューブ型から、大開口かつ薄型の製品まで含まれます。
- 顕微鏡用PIFOC®対物スキャナーおよびPInano®試料スキャナー顕微鏡用PIFOC®対物スキャナーおよびPInano®試料スキャナーPIFOC®/PInano®シリーズのピエゾフレクシャステージと対物スキャナーは、位置決めおよびスキャンのタスクにおいて、ハイダイナミクス動作を実現します。標準製品として、光軸に平行および垂直なXY方向の試料位置決めと、Z軸方向の対物レンズフォーカスが可能な、適応性の高いソリューションを提供しています。
- リニア ピエゾ フレクシャ ステージリニア ピエゾ フレクシャ ステージPI社のナノポジショニングステージとスキャナーでは、ナノメーターの分解能とガイド精度を、クロストークが最小となるように組み合わせています。このため、計測の基準としての用途や微細プロセス、干渉計、あるいは半導体チップ生産における検査システムなどに、特に適しています。
- XYピエゾ フレクシャ ステージXYピエゾ フレクシャ ステージ高精度2軸ナノポジショニングシステムでは、PICMA®ピエゾアクチュエータを採用し最高の信頼性を実現しています。同時に、高品質なナノ計測センサーを用いることにより、再現性と高い安定性を備えたドリフトフリーな位置決めが可能となります。
- ピエゾフレクシャスキャナXYZピエゾフレクシャスキャナ最高精度の3軸ナノポジショニングスキャナー
- ピエゾフレクシャ チルトミラーピエゾフレクシャ チルトミラーピエゾフレクシャミラープラットフォームの高い剛性により、ハイダイナミクスと優れた位置決め安定性が実現します。このコンパクトなデバイスは、レーザー加工やレーザーステアリングにおけるビームの偏向に広く使用されています。パラレルキネマティック設計であるため、共通の回転中心が固定されて偏光方向に変化がなく、チップ軸とチルト軸で同じ性能を発揮します。
- 多軸ピエゾ フレクシャ ステージ
- 小型ステージ小型ステージ小型ステージおよびマニピュレーターは、医療用や計測用の携帯デバイス用途や、産業用マイクロアセンブリ、超高真空や非磁性といった環境での研究において必要不可欠です。
- 小型リニア ステージ小型リニア ステージ設置スペースが限られている場合、位置決め作業には小型ステージが不可欠です。Q-motion、PIline®、PiezoWalk®のようなピエゾモーターはダイレクトドライブを採用しているため、コンパクトなステージにも対応可能です。
- 小型回転ステージ小型回転ステージピエゾモーター方式の回転ステージは、特にコンパクトなサイズが求められる用途に適しています。これらのコンパクトな回転ステージは、光学用途で高い信頼性と優れた再現性が必要な、フィルターなどの位置決めに適しています。また、回転ステージはアダプター不要でリニアステージに取り付けることが可能なため、柔軟な組み合わせの多軸ポジショニングシステムを実現できます。
- 小型 ヘキサポッド小型 ヘキサポッド最も小さい6自由度デバイスはQ-motionピエゾモーターステージで構成されていますが、ブラシレス直流モーターによる手のひらサイズのステージもご用意しております。また、標準的であるヘキサポッド型デザインでは、全体的な性能が最も均一となります。比較的大きなチルト角度が必要な場合は、薄型デザインが推奨されます。
- 小型リニア ステージ
- リニアステージリニアステージPI社では、半導体やフォトニクス、高度な研究など、高精度が求められる産業市場向けに、さまざまなモーター駆動リニアステージを提供しています。各種モデルの多くで、真空対応に対応したバージョンをご用意しております。アダプターブラケットまたは専用の上下駆動ステージと、対応する回転ステージにより多軸構成も可能です。
- PIMag®磁気ダイレクトドライブ リニアモータステージPIMag®磁気ダイレクトドライブ リニアモータステージPIMag®磁気ダイレクトドライブリニアモーターステージ。摩擦の無い磁気ダイレクトドライブによって、ハイダイナミックステージを実現できます。また、モータースピンドル方式のステージと比較した場合、磁気ダイレクトドライブは機械コンポーネントの数が少ないため摩擦やバックラッシュが減り、より高い精度が得られます。
- ステッピング、DC、ブラシレスDC（BLDC）対応ステージステッピング、DC、ブラシレスDC（BLDC）対応ステージレーザー加工など、生産プロセスにおける産業用アプリケーションでは、モーター駆動の位置決めステージによって位置決め精度を高くすることが有用です。バリアブルステージシリーズは高さ方向のプロファイルが薄く設計されているため、テストシステムから精密オートメーションの生産ラインに至るまで、汎用的な用途に適しています。
- ステッパ、DC、およびブラシ不要のDC (BLDC) モータの上下駆動ステージステッパ、DC、およびブラシ不要のDC (BLDC) モータの上下駆動ステージ上下駆動ステージは、リニア ステージにアダプタなしで取り付けることができます。そして多軸ポジショニング システムの柔軟性のある組み合わせを可能にします。
- 小型リニア ステージ小型リニア ステージ設置スペースが限られている場合、位置決め作業には小型ステージが不可欠です。Q-motion、PIline®、PiezoWalk®のようなピエゾモーターはダイレクトドライブを採用しているため、コンパクトなステージにも対応可能です。
- PIMag®磁気ダイレクトドライブ リニアモータステージ
- リニアアクチュエータリニアアクチュエータ広範囲なテクノロジーの中から、貴社のご要望に最適な製品をお選びください。設定後に操作を行わない用途では、優れた長期安定性を持つピエゾモータが有効です。その特徴は真空または非磁性の環境においても保たれます。ステッパーモータとDCモータのソリューションは、産業および研究の両方において十分に確立されており、高い信頼性を有しています。
- 位置決めの長期安定性があるピエゾマイクアクチュエータ位置決めの長期安定性があるピエゾマイクアクチュエータPiezoMikeリニアアクチュエータはピエゾ直接駆動による高分解能、保持力、そして絶対的に安定した位置決めを提供します。これはレーザーアプリケーションの光エレメントのポジショニングのように高精度の要件があるset-and-forget (設定するだけで後の操作は一切不要) 用途に理想的です。
- ステッパとDCサーボ モータの付いたリニア アクチュエータステッパとDCサーボ モータの付いたリニア アクチュエータ自動化されたリニア アクチュエータは、工業生産用途から研究所での調整用途などオートメーション ルーチンで不可欠なものです。
- PIMag - ボイス コイル アクチュエータ、ハイダイナミクス 力センサー搭載PIMag - ボイス コイル アクチュエータ、ハイダイナミクス 力センサー搭載ボイスコイルドライブは速度に優れ、高速なステップ&整定が可能です。摩耗のないフレクシャガイド、またはメカニカルガイドを利用できます。オプションの力コントロールにより、ハプティクスデバイステストのスタンドアロンソリューションを実現できます。
- PiezoMoveレバーアクチュエータPiezoMoveレバーアクチュエータ
- ナノポジショニングピエゾアクチュエータナノポジショニングピエゾアクチュエータPIezoMoveアクチュエータは、フレクシャガイド構造を持ち、ストロークは最大1 mmです。また、非常にコンパクトな外形寸法により組み込みが容易です。 PICMA®多層ピエゾをベースとしたナノポジショニングピエゾアクチュエータの特徴は、最大10000 Nの発生力と最大100 μmのストロークです。
- 高発生力、高安定性のPiezoWalk®アクチュエータ高発生力、高安定性のPiezoWalk®アクチュエータPiezoWalk®アクチュエータは、システム統合を目的として高度に特殊化されたピエゾベースのドライブです。半導体業界向けに設計されており、信頼性、位置分解能、長期安定性を向上させます。本シリーズの特徴としては、高発生力とコンパクトなサイズが挙げられます。また、ドライブ自体が耐磁性を備えています。
- PIRestアクティブピエゾシムPIRestアクティブピエゾシム
- 位置決めの長期安定性があるピエゾマイクアクチュエータ
- 回転ステージ回転ステージPI社では、エアベアリング、トルクモータードライブ、ウォームギアとの組み合わせ、小型ピエゾステージ、直交組み合わせが可能な特殊ゴニオステージなど、あらゆる種類のドライブとガイドが選択できるステージ製品を提供しています。
- XYステージXYステージPI社のXYステージ分野では、安定性、精度、およびダイナミクスが重要です。それらは高いスループット率と信頼できるオペレーションの基礎となります。PI社は、PIMag®磁気リニアーモーターとPIglideエアベアリングの分野での自社開発製品を利用しています。PI社の高荷重XYステージと平面スキャナーは、工業生産現場と品質管理に大きく貢献しています。
- ヘキサポッドヘキサポッドヘキサポッドはコンパクト設計で、複数の自由度を提供します。アブソリュート計測センサ、ソフトウェアおよびモーションコントローラと組み合わせることで、最も複雑なモーションプロファイルを簡単に指令することが可能となり、PI社のへキサポッドは工業用途における要望にお答えします。
- 高速マルチチャネルフォトニクスアライメント高速マルチチャネルフォトニクスアライメントシステムピエゾスキャナーは、耐久性、ダイナミクス、そして精度が重要である、高速で継続的なスキャンのタスクに対応します。XYZの組み合わせ、または6軸のヘキサポッドを用いることで、より大きなトラベルレンジを実現できます。統合されたルーチンにより、単軸アライメントから、複雑な多軸のファイバーアレイポジショニングまでを、最短時間で実行できます。
- モーションコントロールソフトウエアモーションコントロールソフトウエアPIが製造するすべてのデジタルコントローラーには、拡張ソフトウェアパッケージが付属しています。
- コンセプトコンセプトPI社はクロスプラットフォームとハードウェア非依存のコンセプトに基づいて、モーションコントロールソフトウェアを設計しています。
- ユーザープログラムとその機能ユーザープログラムとその機能すべてのPIコントローラには、ユーザーがシステム全体を設定し、パラメーター化するのをサポートする拡張ソフトウェアパッケージが付属しています。
- ヘキサポッド向けソフトウェアツールヘキサポッド向けソフトウェアツール
- プログラミングプログラミングお客様は、すべてのPIコントローラをアプリケーションとシームレスに統合できるように、独自のプログラムをプログラミングしたり適用したりできます。
- サードパーティサポートサードパーティサポート
- ソフトウェアソフトウェアPI社のコントローラとドライバには、完全な機能を確保するための便利なソリューションとインターフェイスを提供する広範なソフトウェアパッケージが付属しています。
- コンセプト
- コントローラー & ドライバコントローラー & ドライバモーションコントローラの決定は、アプリケーションの状況によって異なります。設置スペースの制限や軸数または制御タイプなど、様々な基準が、どのコントローラが適切なのかを決定します。PI社では、コントローラおよび制御コンセプトに関する幅広い選択肢を提供いたします。
- ナノポジショニング ピエゾ コントローラナノポジショニング ピエゾ コントローラPI社では、デジタルおよびアナログのピエゾ制御に関する幅広いコンセプトを活用して、あらゆる用途で最適な結果を実現しています。すべてのピエゾシステムは納品前に較正が行われ、すべてのシステムは操作可能な状態で納品されます。
- ピエゾ アクチュエータのオープン ループ動作用ピエゾ ドライバピエゾ アクチュエータのオープン ループ動作用ピエゾ ドライバPI社のピエゾドライバーは、ベンチトップまたはラックマウントのソリューションとして利用可能ですが、電源を切り離し小型化することで、OEMモジュールでも利用可能です。ピエゾドライバーにより、さまざまな分野に特化した高性能アンプが完成します。
- リニア、トルク、ステッパ、およびDCサーボ モータ用のモーションコントローラとドライバーリニア、トルク、ステッパ、およびDCサーボ モータ用のモーションコントローラとドライバードライブとアプリケーションの両方においてお客様のご要望に最適化できるよう、PI社ではモーションコントロールに関するソリューションを自社開発しています。通常、PI社のモーションコントローラは1チャンネルデバイスとして設計されており、ベンチトップ、ラックマウント、もしくはOEMバーションに対応可能です。
- ピエゾモータ用コントローラおよびドライバピエゾモータ用コントローラおよびドライバ
- 多軸および混合のドライブタイプ用のコントローラ システム多軸および混合のドライブタイプ用のコントローラ システムモジュール式モーションコントローラーシステムにより、システムの軸数を柔軟に増やすことができるソリューションが実現します。1つのユーザーインターフェースで、さまざまなドライブタイプを使用できます。利用可能なモデル数は現在も増加中です。専用のコントローラーをご希望の方はぜひお問い合わせください。
- ヘキサポッド モーション コントローラヘキサポッド モーション コントローラヘキサポッドの構造と同様にユニークなモーションコントローラーは、ユーザーがパラレルキネマティックのアルゴリズムを可能な限り簡単かつ意識せずに使用するように設計されています。すべてのターゲット位置は直交座標系で指令します。オートメーションプロセスに最適に組み込めるように、ヘキサポッドモーションコントローラーは産業用EtherCATインターフェースで利用できます。
- ナノポジショニング ピエゾ コントローラ
- ピエゾトランデューサとアクチュエータピエゾトランデューサとアクチュエータ圧電超音波トランデューサーにはディスク、プレート、チューブといったさまざまな形状があり、幅広い性能レベルを取りそろえています。各種のピエゾセラミック材料、電極、アセンブリテクノロジーを使用することによってアプリケーションの要件に対応できます。
- ディスク、ロッド、シリンダーピエゾセラミックディスク、ロッド、シリンダー
- プレートとブロックピエゾセラミックプレートとブロック
- リングアクチュエータピエゾセラミックリングアクチュエータ
- チューブピエゾセラミックチューブ
- 球体および半球体ピエゾセラミック球体および半球体
- 曲げ素子ピエゾセラミック曲げ素子
- チューブアクチュエータピエゾチューブアクチュエータ半径方向および軸方向に収縮するピエゾチューブは、ダイナミックなスキャン動作やファイバーの伸張に使用されます。
- PICMA® ピエゾリニアアクチュエータPICMA® ピエゾリニアアクチュエータPICMA® 積層アクチュエータは従来の積層ピエゾアクチュエータと比較して10倍の寿命と稼動時間です。
- PICMA® ピエゾベンダーアクチュエータPICMA® ピエゾベンダーアクチュエータ多層ベンディングアクチュエータ：大変位、ハイダイナミクス。バイモルフ構造により2方向の変位が可能です。
- PICAピエゾ積層アクチュエータPICAピエゾ積層アクチュエータ動作最大電圧1000 Vの積層ピエゾアクチュエータ：高信頼性、大変位、高発生力
- PICA剪断アクチュエータPICA剪断アクチュエータ多軸アクチュエータと剪断アクチュエータを積み上げた構造のアクチュエータは、低電力消費で優れたダイナミック性を備えています。
- DuraActピエゾトランデューサDuraActピエゾトランデューサDuraActトランデューサは電圧と力学的エネルギーを相互変換します。アクチュエータとして、センサとして発電機としても使用可能です。
- Picoactuator® 圧電性結晶Picoactuator® 圧電性結晶Picoactuator® ピエゾ決晶の動作は非常にリニアリティが高くヒステリシスがないため、ハイダイナミクスが要求されるアプリケーションに最適です。
- ディスク、ロッド、シリンダー
- エアベアリングとステージエアベアリングとステージエアベアリングステージは無振動の駆動が必要なとき、速度に安定性の必要があるとき、そして、最適な角度の再現性が要求されるとき使用されています。
- センサ、コンポーネント、およびアクセサリセンサ、コンポーネント、およびアクセサリ
- VacuumProduct Series with Vacuum-Ready ItemsPI offers specific catalogue items for selected product series that are already suitable for high vacuum (HV) or ultra-high vacuum (UHV).
- 新製品
- OEMOEM特定のお客様 アプリケーション向けの製品の開発は、PI社の成功の基礎になっています。 その為には、満たさなければならない仕様を理解する必要があり、また、その課題を解決する為の技術的なソリューションも見つけなければなりません。PI社は主要なテクノロジーをすべて社内で製造しており、テクノロジーと製品をうまく融合し、要求される仕様を満たすことができます。
- 応用事例
応用事例 & マーケットPI社の位置決めシステムは、産業界 研究分野において最先端の技術が要求される箇所で採用されています。例えば、半導体製造装置、医療機器、バイオロジー製品、製造工場、表面計測機、そして天文分野が挙げられます。- 自動車自動車製造現場、品質管理プロセスにおいて多軸で高精度のロボットのニーズが増大しているため、産業界では新しいタイプのロボットを求めています。PI社は、これらのニーズに対してパラレルキネマティックヘキサポッドを提供しています。
- 科学計測科学計測「科学計測」という言葉は、顕微鏡からビームライン、様々な分野のラボラトリーオウトメーションまで幅広い事例を示します。
- ALMA向けヘキサポッドシステムALMA向けヘキサポッドシステムアタカマ砂漠の過酷な条件の中で、PIのヘキサポッドは、ALMA電波望遠鏡の副反射鏡を主反射鏡に合わせて動かしています。
- 二結晶モノクロメータ二結晶モノクロメータPI社のビームライン装置部門は、用途に基づくソリューションを提供しています。例としては、X線スペクトロメータ用の分光器があります。
- 高真空下での材料研究高真空下での材料研究PI社は、高エネルギーX線による材料研究用に、高真空対応の標準およびカスタム位置決めシステムを提供しています。
- ピエゾアクチュエータを利用したアクティブ除振装置ピエゾアクチュエータを利用したアクティブ除振装置アクティブ除振装置を利用すると整定時間が減少し、計測および生産工程における精度が向上し、生産性を上げることができます。
- ELT用の駆動テクノロジーELT用の駆動テクノロジー欧州超大型望遠鏡（E-ELT）は電磁波放射を科学的に評価するための地上最大望遠鏡です。
- ALMA向けヘキサポッドシステム
- 半導体テクノロジー半導体テクノロジーリソグラフィプロセスにより、チップサイズがますます縮小され、シリコンウエハ上に微細構造を作ることが出来ます。 ピエゾドライブは、こうした技術を性能 信頼性を含めて進歩させました。
- 顕微鏡検査顕微鏡検査画像処理は医用工学から薬学研究および半導体製造まで、多くの分野全体で効率を向上させます。
- 共焦点顕微鏡共焦点顕微鏡での焦点面の調整共焦点顕微鏡は、焦点面を移動することにより試料表面の構造を検出するため、皮膚科などで使用されます。
- 全内部反射蛍光顕微鏡(TIRFM)のポジショニングソリューション全内部反射蛍光顕微鏡(TIRFM)のポジショニングソリューションリニアステージはTIRF顕微鏡のレーザー光を調節します。2つのXYステージを組み合わせることでサンプルの正確なポジショニングが可能になります。
- 高速顕微鏡品質管理用の高速顕微鏡原子間力顕微鏡用のＡＦＭスキャナーの試料の位置決めは、重要な役割をはたすピエゾベーススキャニングステージで行われます。
- 原子間力顕微鏡原子間力顕微鏡用のAFMスキャナ原子間力顕微鏡用AFMスキャナにおける標本の位置決めは、ピエゾベースのスキャンステージで行わるため、それらステージは重要な役割を担います。
- 白色光干渉計3D表面検査用PI社製ピエゾベースポジショニングシステムピコメートルの分解能をもつ３D表面検査用に、高分解能カメラが白色干渉計に組み込まれます。
- 共焦点顕微鏡
- シリコン フォトニクスシリコン フォトニクスシリコンフォトニクスは、データ転送速度をテラバイト/秒にすることが可能です。それ故、できるだけ早い通信速度を要求するコンピュータサービスに適しています。
- フォトニクスパッケージング自動化されたフォトニクス パッケージング自動化された組立及びアライメントシステムはシリコン フォトニクスの製造プロセスを数分に短縮することができます。しかし、デリケートな導波管の取扱い、光源の組み込み、光の入出経路の接続は非常に難しく、大きな課題となっています。
- 光ファイバーアライメントシリコンフォトニクスでの光学コンポーネントの同時試験シリコンフォトニクスには、コンポーネントの製造、ウエハテスト、ウエハスライスなど新しい課題が存在しています。
- フォトニクスパッケージング
- 医療工学医療工学製薬研究、診断、治療の進歩は、高性能で精密な位置決めシステムを必要とします。 そして、高精度な位置に加え、ドライバには、コンパクトサイズ、低消費電力、スピード そして高い信頼性が要求されます。
- 内視鏡ミニチュアドライブ搭載電子スコープ内視鏡ピエゾモータとミニチュア磁気ドライブを使用すると、電子スコープ内視鏡のフォーカス及びズーム機能を向上させることができます。
- 眼科眼科手術のための高精度ドライブ眼科手術でのレーザービームの位置調整やフォーカシングには、ピエゾ駆動のチップ/チルトミラーシステムのような正確なポジショニングシステムが必要です。
- 磁気共鳴治療機用磁気共鳴トモグラフィ用ドライブピエゾドライブは強力な磁場からの影響を受けないため、磁気共鳴治療に最適です。
- オプティカルコヒーレンストモグラフィーピエゾテクノロジーとオプティカルコヒーレンストモグラフィー (OCT)ピエゾアクチュエータとドライブ (PILine® OEMモータ) は、オプティカルコヒーレンストモグラフィー (OCT) に必要な高い精度と位置の安定性を保証します。
- ピペットピペット及びナノディスペンサー用ピエゾモータピエゾモータは、デバイスとサンプルが狭いピペットに最適で、ピペットを垂直方向に動かすことができます。
- 高精度分注ナノディスペンサーによる高精度分注用ダイナミックドライブピエゾアクチュエータはナノディスペンサーによる高精度の分注に最適です。バルブを直接切り替えることも、閉鎖用バネに対しても動作することができます。
- マイクロポンプ圧電マイクロポンプ – コンパクト設計 で高性能圧電マイクロダイヤフラムポンプは、コンパクトで高いパフォーマンスを発揮します。定常流量の供給をしたり、流量の調整をすることもできます。
- 画像安定化ピエゾスキャナーによる画像安定化とマイクロスキャニングピエゾベースの高速スキャナーは、画像安定化およびマイクロスキャニングのためにビデオ周波数レンジに見合った速度で動作します。
- 柔軟なダイヤフラムポジショニング柔軟なダイヤフラムポジショニング放射線治療では、健康な組織を放射線からの保護するために個別のリーフが調整されます。
- ゲノム全体のシーケンシングゲノム全体のシーケンシングゲノム分析が始まって以降、速度と精度が向上する一方で、同時にコストが継続的に削減されています。現在の主要な手法である「sequencing-by-synthesis」は、蛍光顕微鏡によるシグナル検出に基づいています。顕微鏡の対物およびサンプルステージ向けポジショニングソリューションは、この手法で決定的な役割を果たします。
- 内視鏡
- 材料研究材料研究効率性は、昨今重要なキーワードになりました。材料研究は、プロセス工程の最適化に重要な貢献しました。表面のナノメーター精度検査もまた、価値ある貢献をしてきました。Ｘ線、レーザー、白色光干渉計などの手法では、検査する試料 及び 光学装置、ビーム制御に高精度な位置決めが必要とされます。
- 材料研究向けパラレルキネマティック材料研究向け高荷重パラレルキネマティックビームラインの高エネルギーＸ線は、溶接の継ぎ目の観察など材料研究に大きな貢献をしています。
- レーザービーム制御レーザービーム制御用ピエゾドライブレーザーは多くの応用分野があるツールです。同時に、レーザービームの制御には、精度、ダイナミクス、信頼性が要求されます。
- 材料研究向けパラレルキネマティック
- メカニカルエンジニアリングメカニカルエンジニアリングメカニカルエンジニアリングや製造技術には高速で信頼性のある、しかも省エネルギーのドライバが必要です。その領域はピエゾアクチュエータから、直接CNC制御ができる6軸パラレルキネマティックまで広がっています。
- 放電加工ピエゾアクチュエータによる放電加工精密微細構造部品の大量生産は、通常放電加工により製造されます。振動用アクチュエータはこれに大きく貢献しています。
- メカニカルエンジニアリング用ヘキサポッドメカニカルエンジニアリング用ヘキサポッドPIのヘキサポッド6軸ポジショニングシステムは、2 kgから数トンの荷重を扱うことができます。高精度のメカニカルエンジニアリング用途に最適です。
- 放電加工
- オートメーションオートメーションピエゾドライブ、磁気ダイレクトドライブ、そしてヘキサポッドは、現在オートメーションには不可欠な技術となっています。過酷な条件下において高精度と信頼性で動作することで自らの能力を実証しています。
- より高性能モーションな位置調整より高性能モーションな位置調整組立、半導体製造、メカニカルエンジニアリング、レーザー加工、検査システムで使用される産業オートメーション、または積層造形の位置調整とモーションのタスクには、ロボスト性と信頼性の高いソリューションが求められます。
- マイクロプロダクション用ヘキサポッドマイクロプロダクション用ヘキサポッドフォトニクス、モバイルデバイス、高級腕時計で使用されている光学部品、ガラスファイバーに共通する項目は何でしょうか？
- 品質保証用ヘキサポッド品質保証用ヘキサポッド組立現場と品質保証現場において、マイクロプロダクションテクノロジーでは高精度のポジショニングシステムが必要不可欠なものとなっています。
- 磁気ダイレクトドライブ磁気ダイレクトドライブボイスコイルアクチュエータとリニアドライブを総称した磁気ダイレクトドライブは、多くの理由で最適なソリューションとなります。
- ヘキサポッドによるモーションシミュレーションヘキサポッドによるモーションシミュレーションCIPA認証済のPI社 のヘキサポッドによるモーションシミュレーション – 振動テーブルは、耐振動評価に使用されます。
- 寸法測定における柔軟性オートメーション用ヘキサポッドモーションロボティクスに必要な空間を最小化することにより、ヘキサポッドはインラインオートメーションシステムの様々な例において優れた柔軟性をもたらします。
- ヘキサポッドによるモーション補正ヘキサポッドによるモーション補正ピエゾドライブを使用したダイナミックヘキサポッド：モーション補正に最適です。
- 高速ピエゾ超音波ドライブ先進技術高速ピエゾ超音波ドライブ先進技術応用事例により高い要件が求められる場合、超音波ピエゾモータは良い代替品となり、様々な方法で使用できます。
- レーザー加工レーザー加工PI社では、レーザーマーキング、レーザー切断、微細加工などの高精度、高出力のレーザー加工向けのオートメーションプラットフォームを提供しています。
- 光学計測用ヘキサポッドヘキサポッドが非球面の正確な測定をサポート非球面形状の正確性のテストでは、ナノメートル範囲の最小偏差の測定と、短時間の測定およびセットアップが必要となります。これを解決するのが、計測システム企業Mahrが提供する新しい干渉計です。このヘキサポッドはシステム全体の一部として、レンズと較正球のポジショニングを行います。
- より高性能モーションな位置調整
- ビームライン装置
- トモグラフィー装置トモグラフィー装置
- シンクロトン放射光電子分光シンクロトン放射光電子分光
- 光学ハッチ光学ハッチ
- トモグラフィーとホログラフィートモグラフィーとホログラフィー
- 光学顕微鏡光学顕微鏡
- 加速器技術加速器技術XFEL加速器でのローレンツ力のダイナミック補正: DESY (ドイツ電子シンクロトロン研究所) のXFEL粒子加速器は、超電導加速構造、いわゆる共振器またはキャビティに基づく加速技術を利用しています。
- トモグラフィー装置
- 積層造形積層造形ピエゾアクチュエータは、その高いダイナミクスと圧縮力により、積層造形用のマシンでの使用に最適です。
- アクティブアライメントアクティブアライメントスマートフォンカメラやレーザーキャビティーの対物レンズのような複雑な光学システムの組み立てには、高度な正確性がますます必要となっています。アクティブアライメントは、結果として生じるニーズに対応し、周期を2桁以上短縮するのに役立ちます。
- テクノロジー
経験 知識 & テクノロジーPI社は、メカニクス、エレクトロニクス、センサ、そしてソフトウエア分野での知識とマイクロ ナノポジショニングテクノロジーに関する長年の経験を融合させ、お客様に最先端のドライブテクノロジーとソリューションを提供いたします。- ピエゾテクノロジーピエゾテクノロジーPICeamic社はピエゾセラミック素材、コンポーネント、アクチュエータ製造において経験豊富です。ピエゾセラミック材料は、後のピエゾ素子として用途に完璧に適合するよう個々に調整することができます。
- ピエゾ技術の基本ピエゾ技術の基本ピエゾの圧電効果と電気機械特性に関する物理的基礎と解説
- ピエゾアクチュエータの特性ピエゾアクチュエータの特性ピエゾセラミックアクチュエータの特性: 変位モード、発生力と剛性、ダイナミクス、環境条件。
- ピエゾセラミック材料ピエゾセラミック材料PICeramic社は、鉛フリーの材料を含め、様々な圧電材料を提供しています。
- 製造技術製造技術PICeramic社では、プレス、テープ技術、組立技術、検査技術と広範囲における製造技術を自社に保有しています。
- PICMA® テクノロジーPICMA® テクノロジー特許取得済みの多層アクチュエータの製造技術は、高い信頼性と長寿命をお約束いたします。
- 一体型ピエゾアクチュエータ一体型ピエゾアクチュエータ引張応力を回避するため、これらのピエゾ素子には、容器内における機械的プリロード、もしくはフレクシャジョイントが備えられています。
- DuraActパッチトランスデューサテクノロジーDuraActパッチトランスデューサテクノロジー製造、機能原理、およびDuraActパッチトランスデューサの典型的な加工パラメーターにより、可能な力の発生および偏向について説明。
- PIRestアクチュエータPIRestアクチュエータ長期の安定性とナノメートル分解能のアクティブシム。
- ピエゾ技術の基本
- ピエゾドライブピエゾドライブ構成と制御方法に応じて、ピエゾセラミックアクチュエータは、並進運動を生み出したり、モータとしてほぼ無制限のストロークを生み出すことができます。駆動方式は、用途による要求事項により選択されます。
- ピエゾアクチュエータガイド機構あり、無しのピエゾアクチュエータピエゾアクチュエータは、サブナノメートルの分解能と非常に短い応答時間を有するため、高いダイナミクスでのナノメートル精度の位置決めに最適です。
- PiezoWalk® ステッピングドライブPiezoWalk® ステッピングドライブPiezoWalk® ドライブは、高い信頼性、高い位置分解能、長期安定性が要求される半導体業界向けに10年程前に開発されました。
- PILine® 超音波ピエゾモータPILine® 超音波ピエゾモータ超音波ピエゾモータは従来の回転モータ/ギヤ/ネジの組み合わせに起因する機械的複雑さを排除し、結果としてコスト削減と信頼性を高めています。
- ピエゾ慣性ドライブピエゾ慣性ドライブ慣性（イナーシャ）ドライブは、省スペースで低コストのピエゾベースドライブであり、比較的高い保持力と、ランナー長によってのみ制限されるトラベルレンジを備えています。
- PiezoMikeリニアアクチュエータPiezoMikeリニアアクチュエータ慣性駆動（スティックスリップ）方式は、コンパクトで低コストです。このドライブは、静止状態ではセルフロックし、電流を必要とせず、発熱しません。また自身の最大の力で位置を保持します。
- 比較: ピエゾモーター とドライブテクノロジー比較: ピエゾモーター とドライブテクノロジーPI社のドライブテクノロジーの比較: ピエゾモータ、ステッピングドライブ、超音波ドライブ、ピエゾ慣性ドライブ。
- ピエゾアクチュエータ
- 電磁駆動電磁駆動DCモータやステッピングモータなどの電動回転モータは、ネジまたはウォーム駆動と連結して使用されます。高分解能エンコーダー搭載のステッピングモータシステムは、10nmの最小インクリメンタルモーションを実行可能であり、高い信頼性と再現性を有しています。
- 回転電動モータPI社の回転電動モータDCモータやステッピングモータなどの回転電動モータは、ネジまたはウォーム駆動と連結して使用されます。
- PIMag® 磁気ダイレクトドライブPIMag® 磁気ダイレクトドライブ特に摩耗やダイナミクス関して、磁気ダイレクトドライブは、スピンドルベースのテクノロジーと比較してメリットがあります。
- PIMag® 6D磁気浮上6自由度でのPIMag® 6D磁気浮上PIMag® 6Dは電磁ポジショニングシステムであり、パッシブなプラットフォームが磁界の上を浮上し、また、磁界でアクティブにガイドされます。
- ハイブリッドコンセプトピエゾ & モータハイブリッドシステムハイブリッドシステムとは、DCサーボモータ（長トラベルレンジ）とピエゾドライブ（ナノメートル精度）を組み合わせてたステージです。
- 回転電動モータ
- パラレルキネマティックパラレルキネマティックパラレルキネマティック多軸システムでは、すべてのアクチュエータは単一の可動プラットフォームに作用します。 これは、すべての軸を全く同じ動的特性であるとして設計できることを意味します。結果として、運動する質量を大きく減らせることが出来ます。ヘキサポッドは、6軸方向（3つの直進軸と3つの回転軸）に移動および高精度の位置決めに使用されます。
- パラレルキネマティックパラレルキネマティックピエゾ位置決めシステムパラレルキネマティック多軸システムでは、すべてのアクチュエータは、ただ一つの可動プラットフォームに対して、ダイレクトに動作します。
- 多軸位置決めシステム多軸位置決めシステムとスチュワートプラットフォームヘキサポッドプラットフォームは、搭載物の６軸方向、つまり3つの直動軸と3つの回転軸に沿った高精度位置決め、および搭載物の位置調整のために使用されます。
- ヘキサポッドによるモーションシュミレーションヘキサポッドによるモーションシュミレーションモーションシミュレータ（加振器）には高いモーションダイナミクス仕様が求められます。
- パラレルキネマティック
- センサ技術センサ技術最高の分解能を持つ測定装置を無くして、直進性や再現性の達成は成し得ません。数ナノメートル以下のレンジにおける精度には、このレンジでモーション検出できる位置測定方法が必要です。
- 静電容量センサ静電容量ナノセンサ静電容量センサは、もっとも要求事項の厳しいナノポジショニング用途に適した計測システムです。
- インクリメンタルセンサナノ計測 & ナノポジショニング用リニアスケールエンコーダーPI社では、約1mmから始まる長いトラベルレンジを測定するインクリメンタル測定システムを採用しています。これらのセンサは、ほとんどの場合光学センサですが、ピコメートルレンジまでの位置分解能を実現します。
- PIOne光学式ナノ計測エンコーダPIOne光学式ナノ計測エンコーダPI社で開発されたPIOne高分解能リニアセンサは、適した測定解析により1nm以下の位置分解を保証します。
- 比較: 位置センサ技術比較: ナノ位置決めセンサ技術数ナノメートル又はそれ以下のレンジの精度がある位置決めシステムは、このレンジでの動きを検出できる位置測定技術を必要とします。
- 静電容量センサ
- コントローラ & ソフトウェアコントローラ & ソフトウェアすばやい整定、極めてスムーズな低速動作、高い位置安定性、高分解能、ハイダイナミクス動作とピエゾシステムへの要求事項は様々なため、そのドライバ 制御系には幅広い自由度が求められます。
- デジタル & アナログインターフェイスデジタル & アナログインターフェイスPI社のデジタルコントローラの標準インタフェイスは、高速USB, TCP/IP, RS-232です。 更にPI社は、デジタル又はアナログのリアルタイム対応インターフェイスを提供しています。
- PI社製品とEtherCATとの接続性PI社製品とEtherCATとの接続性PIでは、EtherCATスレーブとして使用できる高精度のドライブを提供するほか、マスターや既存のアーキテクチャの第2マスターとして、ACSモーションコントローラーをそのドライブと一体化させることもできます。
- ピエゾアクチュエータの制御ピエゾコントローラー& ナノポジショニングシステムのドライバピエゾアクチュエータの特性には、高発生力と高速応答が含まれます。ピエゾアクチュエータは電圧のわずかな変化でもモーションとして反応するため、制御におけるノイズやドリフトを避ける必要があります。
- デジタルモーションコントローラデジタルモーションコントローラデジタルテクノロジーにより、従来のアナログ技術にはなかった制御工学使い、パフォーマンスを改善する可能性があります。
- アクティブアライメントアクティブアライメント幅広い分野で、さまざまな装置をナノメートルの精度で1列に揃える必要性が増しています。小型カメラのレンズやレンズアセンブリといった光学部品や、さらにはCCDチップ自体などを、これまで以上の精度で配置しなければなりません。
- デジタル & アナログインターフェイス
- ガイドシステム & 力の伝達ガイドシステム & 力の伝達フレクシャジョイントか、機械的ガイドコンポーネントか、あるいは磁気ベアリングか？ PI社がその製品に対してどのガイドシステムを採用するかは、トラベルレンジ、要求精度、荷重、寿命、環境条件によって決まります。
- 従来のガイドシステム比較: 従来のガイドシステムと力の伝達数ミリメートルから1メートルまでのストロークを持つポジショナーは、通常、ボールベアリングなど、従来からある機械的ガイドコンポーネントを用います。
- フレクシャガイドシステムナノポジショニング& ピエゾアクチュエータ用のフレクシャガイドシステムPI社のフレクシャガイドは、ナノポジショニングの世界においてその価値を証明しています。フレクシャガイドはピエゾをガイドし、傾きや横方向へのズレがない直進性を保証します。
- 磁気ベアリングナノポジショニング用磁気浮上 & 高精度ベアリング磁気浮上システムは、平面内の直進性と回転に対して優れたガイド機能があります。
- PIglideエアベアリングテクノロジーPIglideエアベアリングテクノロジーナノメートル精度、かつ摩擦のない多軸モーション
- 従来のガイドシステム
- 真空真空対応リニア & 回転ステージ、超高真空位置決めシステム慎重な取り扱いと確かな根拠: PIは、原材料やコンポーネント、最終製品の品質保証に必要な設備だけでなく、長年にわたる高真空および超高真空ポジショニングシステムに関する経験を有しています。
- 用語集技術用のPI用語集PI用語集では、技術用語の説明を確認することができます。
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ニュース & イベント当社の製品を実際に拝見して頂き、お客様の用途やお困りの点についてご相談いただける絶好の機会となります。是非お立ち寄り下さい。- PIジャパンニュースレター購読PIジャパンニュースレター購読
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- PI 社について
PI 社についてPI社はテクノロジーとお客様のお役に立つことへの情熱に基づき、高精度ポジショニングおける卓越した技術と継続的進歩をお約束します。PIグループの目標は、この市場と技術的リーダーシップを更に発展させ、競争におけるお客様の決定的優位性を確かなものにすることです。- モーションコントロール テクノロジーセンターモーションコントロール テクノロジーセンターテクノロジーセンターには、オフィススペースだけでなく、アプリケーションラボや計測ラボのスペース、真空チャンバーや低温チャンバーのクリーンルームもあります。
- PI社のフラクタル生産体制PI社のフラクタル生産体制PI社は、フラクタルと呼ばれる自治的な組織単位で生産を行っています。フラクタルはそれぞれ、担当の製品ラインに対する責任を持ち、必要なスキルと生産装置をすべて備えています。
- 計測計測PI社は外部計測装置を使用して製品の性能確認を行っています。これらは部分的に校正され、国家標準とのトレーサビリティが確保されています。 PIOneインクリメンタルエンコーダーと静電容量センサーを使用し、PI社はPI社製品に含まれる一部として、独自の計測を行っています。
- PI社のクリーンルームで製造PI社のクリーンルームで製造PI社は、クリーンルームという条件のもとでの製品の製造や認定に対応しており、市場のニーズに応じて拡張や改良を続けています。
- 高荷重用スペース数トンのポジショニングシステムのための高耐荷重スペースPI社は、2トンのヘキサポットから10グラムのナノポジショニングシステムまで製造し、性能確認を行っています。 PI社は、ドイツカールスルーエに耐高荷重施設を建設し、重量5トンまでの製品の組み立て、計測をしています。
- 品質保証品質保証PI社は、品質、安全、環境保護において、高水準を世界中にお届けすることを目標にしています。この理念は統合管理システムに反映されています。
- PIグループPIグループPI社は高精度のポジショニングにおいて、優れた技術とたゆまぬ進化をお約束します。この根底にあるのは、テクノロジーへの情熱と、テクノロジーをお客様の用途に役立てたいという情熱です。
- PI miCosについてPI miCos GmbH(ドイツ)PIのグループ企業であるPI miCosは、フィールドエンジニアシステムに多大な貢献をしており、磁気駆動型ポジショニングシステムの専門知識が結集する場となっています。
- ACS Motion Control社についてACS Motion Control社についてACS Motion Controlは、半導体製造、レーザー加工、積層造形、フラットパネルディスプレイ製造、電子アセンブリ、ライフサイエンスなどの分野のハイテクシステム向けのモーションコントローラーおよびドライブソリューションのOEM中心のサプライヤーです。イスラエルに本社を置くACSは、米国、ドイツ、中国、および韓国にテクニカルセールスおよびサポートオフィスがあります。ACSは、PIがACS Motion Controlの過半数株主となった2017年1月にPIグループに参加しました。
- PIグループの事業拠点PIグループの事業拠点PIグループの世界中の事業拠点が表示されます。お近くのPI社についてはこちらから詳細をご確認できます。
- ピーアイ ジャパン株式会社へのアクセス 日本ピーアイ ジャパン株式会社へのアクセス 日本
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標準製品の計測技術詳細
ナノメートル単位まで位置を正確に測定するレーザー干渉計 性能確認のほか、最終承認テストも、対応する生産フラクタルで行われます。PI社では、製品の性能確認に、キャリブレーション済みの測定機器を使っているため、標準までトレースバックできます。
- PI社では、パスおよび長さを正確に測定するため、数ナノメートルの精度を持つ、一流メーカーの高分解能干渉計を使用しています。
- 角度の測定には、角度の範囲に応じて、オートコリメーター、傾斜計、インクリメンタル型ロータリーエンコーダ、または干渉計を使用します。
- 耐用年数テストおよび荷重テストは、製品ラインごとに設計し、適切な環境で実施します。
- 精密な測定は、振動から隔離されたハニカムテーブルで行っています。測定環境とセットアップは、対応する製品ラインの要件に適合しています。
ナノ計測ラボラトリー
隔離率6倍のナノ計測ラボラトリーの外観。性能確認は、このコントロールされた環境条件の下、完全オートメーションで行われます ナノ計測技術には、安定性と精密さが極めて重要です。
- 数時間にわたり、位置の安定性をナノメートル未満の単位で測定しなければならない長期測定は、環境の安定した特別な部屋で行われます。
- 振動や電磁気、熱から隔離されたテストラボラトリーでは、24時間にわたって誤差0.25 ℃以内の温度安定性が保証されます。これにより、ピコメートル単位の正確な測定が可能になり、ナノポジショニング製品の測定標準となります。
お客様の要件に応じた測定
用途に応じて、製品の測定および性能確認を行う持ち上げ/傾動装置。この場合、荷重のかかったヘキサポッドは干渉計で測定されます - 位置精度は、通常、モーションプラットフォームで記録されます。また、用途によって設定した任意の時点(例：荷重が急増した時点)でテストすることもできます。これはこの目的に適合したテスト機器です。
- 耐荷重5トンの持ち上げ傾動装置では、その用途専用のアライメントおよび荷重を用い、任意の角度でポジショニングシステムの性能を確認できます。詳細
- さまざまなトリガーオプションを使って、同時にデータを記録できます(例：複数の干渉計を同時に使用)
- 特別な環境条件での性能確認のため、次のようにさまざまな測定場所を用意しております
- クライオチャンバー(低温室)。−196 ℃(液体窒素)までの測定が可能です
- ドライチャンバー(グローブボックス…)
- 真空から10-11 hPaまで 詳細
測定レポートとログ
クローズドループナノポジショニングシステムの典型的な測定ログ。ポジショニング精度、直線性誤差、整定挙動、およびノイズに関するデータと図が記録されているため、 お客様は常に期待どおりの成果が得られていることを確認できます PI社にとって、測定や性能確認ひとつひとつが品質保証の手段です。これにより、保証された仕様に準拠したポジショニングシステムだけを施設から送り出すことができます。測定はすべて、高分解能干渉計のように、検証可能な外部の測定機器を使って行われます。
性能確認データは、製品ごとに検証できます。測定データはデータベースにまとめられ、プロセスコントロールに使用されます。大規模な生産工程では、製品レベルの再トレーサビリティが特に関心の的です。
測定ログは、ヘキサポッドやピエゾシステムなど、多数のシステムで提供されます。したがって、お客様は発送の前に、測定データを見て、システムのパフォーマンスを検証すると同時に、同梱されるシステムコンポーネントを確認することができます。
計測技術の標準
PI社製品の性能確認は、以下に基づいて行われます。
- DIN ISO 230-2
「マシンツール用テストコード パート2：数値でコントロールされた軸のポジショニングにおける精度と再現性の決定」
- VDI/DGQ 3441
マシンツールの動作およびポジショニング精度の統計的テスト
- 応用事例
