PI社の計測技術

標準製品、カスタム製品、およびOEM製品に適合

標準製品の計測技術詳細

性能確認のほか、最終承認テストも、対応する生産フラクタルで行われます。PI社では、製品の性能確認に、キャリブレーション済みの測定機器を使っているため、標準までトレースバックできます。

  • PI社では、パスおよび長さを正確に測定するため、数ナノメートルの精度を持つ、一流メーカーの高分解能干渉計を使用しています。 
  • 角度の測定には、角度の範囲に応じて、オートコリメーター、傾斜計、インクリメンタル型ロータリーエンコーダ、または干渉計を使用します。 
  • 耐用年数テストおよび荷重テストは、製品ラインごとに設計し、適切な環境で実施します。 
  • 精密な測定は、振動から隔離されたハニカムテーブルで行っています。測定環境とセットアップは、対応する製品ラインの要件に適合しています。 

PI社は、PIOneインクリメンタル型エンコーダー静電容量センサーを使い、独自の計測技術を生み出しています。このセンサー技術は、主にPI製品への取り付けを前提にしていますが、生産や性能確認に使用される装置用の測定機器にも使用できます。 

ナノ計測ラボラトリー

ナノ計測技術には、安定性と精密さが極めて重要です。

  • 数時間にわたり、位置の安定性をナノメートル未満の単位で測定しなければならない長期測定は、環境の安定した特別な部屋で行われます。
  • 振動や電磁気、熱から隔離されたテストラボラトリーでは、24時間にわたって誤差0.25 ℃以内の温度安定性が保証されます。これにより、ピコメートル単位の正確な測定が可能になり、ナノポジショニング製品の測定標準となります。

お客様の要件に応じた測定

  • 位置精度は、通常、モーションプラットフォームで記録されます。また、用途によって設定した任意の時点(例:荷重が急増した時点)でテストすることもできます。これはこの目的に適合したテスト機器です。
  • 耐荷重5トンの持ち上げ傾動装置では、その用途専用のアライメントおよび荷重を用い、任意の角度でポジショニングシステムの性能を確認できます。詳細
  • さまざまなトリガーオプションを使って、同時にデータを記録できます(例:複数の干渉計を同時に使用)
  • 特別な環境条件での性能確認のため、次のようにさまざまな測定場所を用意しております 
  • クライオチャンバー(低温室)。−196 ℃(液体窒素)までの測定が可能です
  • ドライチャンバー(グローブボックス…)
  • 真空から10-11 hPaまで詳細

特殊な測定装置

  • ウォブルや逸脱の測定には、静電容量の測定原理に準拠した測定場所が用意されています。
  • PI社は、材料研究において、表面トポロジーを測定するための白色光干渉計を所有しています。
  • ヘキサポッドなど、複数軸システムの性能確認には、3-D座標測定系および6-Dレーザートラッカーを使用できます。
  • 高ダイナミクスのスキャニング振動計は、動作中にピエゾ素子の運動特性を測定します。これは、変位モデルの確認と望ましい励起状態の検証に役立ちます。
  • 振動計は、ポジショニングシステムの速度および振動特性を最高25 kHzまで測定します。

測定レポートとログ

PI社にとって、測定や性能確認ひとつひとつが品質保証の手段です。これにより、保証された仕様に準拠したポジショニングシステムだけを施設から送り出すことができます。測定はすべて、高分解能干渉計のように、検証可能な外部の測定機器を使って行われます。 

性能確認データは、製品ごとに検証できます。測定データはデータベースにまとめられ、プロセスコントロールに使用されます。大規模な生産工程では、製品レベルの再トレーサビリティが特に関心の的です。 

測定ログは、ヘキサポッドやピエゾシステムなど、多数のシステムで提供されます。したがって、お客様は発送の前に、測定データを見て、システムのパフォーマンスを検証すると同時に、同梱されるシステムコンポーネントを確認することができます。 


計測技術の標準

PI社製品の性能確認は、以下に基づいて行われます。

  • DIN ISO 230-2

「マシンツール用テストコード パート2:数値でコントロールされた軸のポジショニングにおける精度と再現性の決定」

  • VDI/DGQ 3441

マシンツールの動作およびポジショニング精度の統計的テスト

ダウンロード

Whitepaper: Controlling PI Positioners with External Zygo Interferometers

日付 / バージョン
WP4017E 2018-11
日付 / バージョン
WP4017D 2018-11
ドキュメントの言語

Whitepaper: This is how PI Does Measuring - Part I

Measuring Environment / Measuring Equipment Portfolio / Data Evaluation
日付 / バージョン
WP4011E 2018-04
日付 / バージョン
WP40111D 2018-04
ドキュメントの言語

Whitepaper: Manufacturing in Cleanrooms at PI (Physik Instrumente)

Capabilities and Capacity
日付 / バージョン
WP4008
日付 / バージョン
WP4008
ドキュメントの言語