PI社のクリーンルームで製造

機能と容量

PI社の数ある生産拠点では、クリーンルーム環境で製品の製造や認定を行うことができます。この機能は市場のニーズに応じて、継続的に拡張、改善されています。

それぞれの拠点のプロセスに応じて、PI社、またはパートナーは、規則に従って、各拠点で部品や製品をクリーニングし、クリーニングの結果から粒子による汚染を確認します。また、必要に応じて、ほかの種類の汚染もチェックします。

PI社は、校正済みの粒子測定装置を使用し、ISO 14644-1に従って、クリーンルームの品質を監視することができます。 また、運用条件下で自社の製品から発生する粒子の量を測定することもできます。

クリーンルームの品質を監視することができます。 また、運用条件下で自社の製品から発生する粒子の量を測定することもできます。

標準

2001年以降、クリーンルームの分類は、US FED STD 209Eではなく、ISO 14644-1に従って行われています。次の表は、これら2つの規格におけるクリーンルームの分類をまとめたものです。

 

Cleanroom Classification According to ISO14644-1

Particles per m³

Class0.1 µm0.2 µm0.3 µm0.5 µm1.0 µm5.0 µm
ISO 5100,00023,70010,2003,520832 
ISO 61,000,000237,000102,00035,2008,320293
ISO 7   352,00083,2002,930
ISO 8   3,520,000832,000 

Cleanroom Classification According to US FED STD 209E

5Particle per m3

Class0.2 µm0.3 µm0.5 µm5.0 µm
10026,486105,9943,531 
1,000  35,315247
10,000  353,1472,472
100,000  3,531,47024,720

利用可能なクリーンルーム/超清浄な作業場

クリーンルームに加えて、PI社は、クリーンルームの内部または外部に設置できる、超清浄な作業場も所有しています。その目的は、ある処理ステップでの粒子による汚染を、その環境よりもさらに減らすことにあります。

ここでは、既存の施設および計画中の施設の概要を拠点別に説明します。

PI本社 カールスルーエ

PIカールスルーエは、PIグループ最大の生産および開発拠点です。ここでは、主にピエゾベースのポジショニングシステムおよびヘキサポッドの分野に属する規格品およびカスタム製品のセットアップと性能確認が行われています。入荷検査を含むPI miCosの組み立てエリアは、ISOクラス8クリーンルームです。

さらに、PI Karlsruheには、新しく作成されたISOクラス5クリーンルームがあり、EUVアプリケーションに適用されるすべての規格も考慮されています。特殊製品フラクタルは、ISOクラス7および8に分類されるクリーンルームや、ISOクラス5の超清浄な作業場を持っています。開発部門には、ISOクラス7のラボがあります。

Cleanroom classificationAvailable space in m2
ISO 5250
ISO 6 - 
ISO 7600
ISO 83,000

クリーンルーム



PI Ceramic, Lederhose

テープ成形を始めとする多層加工のプロセスチェーン全体が、PI Ceramicのクラス7クリーンルームで行われます。ピエゾコンポーネントとセンサーのセットアッププロセスも、クラス7および8のクリーンルームで行われます。プロセス要件に応じて、ISOクラス7〜9のクリーンルームは、スパッタリング、スクリーン印刷、ディスペンスなど、さらに厳選されたプロセスで利用できます。

Cleanroom classificationAvailable space in m2
ISO 6310
ISO 7720
ISO 8620
ISO 9340

PI Ceramicのクリーンルーム incl. building extension (completion in Q3/2020)

PI miCos, Eschbach

入荷検査を含むPI miCosの組み立てエリアは、ISOクラス8クリーンルームです。これらのクリーンルームの一部には、ISOクラス5の超清浄作業場が含まれています。エンジニアドシステム部門には、ISOクラス7クリーンルームもあります。

Cleanroom classificationAvailable space in m2
ISO 510
ISO 6 - 
ISO 760
ISO 8650

PI miCosのクリーンルーム

PI USA, Hopkinton

PI USAには、生産エリアに、クリーンルーム条件下で、測定機能、クリーニング、パッケージングを提供するISOクラス8のセットアップアイランドがあります。


ホワイトペーパー
PI社のクリーンルームで製造
機能と容量

>> ダウンロード