PI社のクリーンルームで製造

機能と容量

PI社の数ある生産拠点では、クリーンルーム環境で製品の製造や認定を行うことができます。この機能は市場のニーズに応じて、継続的に拡張、改善されています。

それぞれの拠点のプロセスに応じて、PI社、またはパートナーは、規則に従って、各拠点で部品や製品をクリーニングし、クリーニングの結果から粒子による汚染を確認します。また、必要に応じて、ほかの種類の汚染もチェックします。

PI社は、校正済みの粒子測定装置を使用し、ISO 14644-1に従って、クリーンルームの品質を監視することができます。

また、運用条件下で自社の製品から発生する粒子の量を測定することもできます。

標準

2001年以降、クリーンルームの分類は、US FED STD 209Eではなく、ISO 14644-1に従って行われています。次の表は、これら2つの規格におけるクリーンルームの分類をまとめたものです。

 

ISO14644-1によるクリーンルームの分類

1立方メートルあたりの粒子数

等級0.1 µm0.2 µm0.3 µm0.5 µm1.0 µm5.0 µm
ISO 5100,00023,70010,2003,520832
ISO 61,000,000237,000102,00035,2008,320293
ISO 7352,00083,2002,930
ISO 83,520,000832,000

 

US FED STD 209Eによるクリーンルームの分類

1立方メートルあたりの粒子数

等級  0.2 µm0.3 µm0.5 µm5.0 µm
10026,486105,9943,531
1,00035,315247
10,000353,1472,472
100,0003,531,47024,720

 

 


利用可能なクリーンルーム/超清浄な作業場

クリーンルームに加えて、PI社は、クリーンルームの内部または外部に設置できる、超清浄な作業場も所有しています。その目的は、ある処理ステップでの粒子による汚染を、その環境よりもさらに減らすことにあります。

ここでは、既存の施設および計画中の施設の概要を拠点別に説明します。

PI(ドイツ、カールスルーエ)

PIカールスルーエは、PIグループ最大の生産および開発拠点です。ここでは、主にピエゾベースのポジショニングシステムおよびヘキサポッドの分野に属する規格品およびカスタム製品のセットアップと性能確認が行われています。入荷検査エリアを含め、連続生産用エリアはすべて、ISOクラス8のクリーンルームです。さらに、これらのクリーンルームの中には、内部にISOクラス5の超清浄な作業場が付属するものもあります。特殊製品フラクタルは、ISOクラス7および8に分類されるクリーンルームや、ISOクラス5の超清浄な作業場を持っています。現在、ISOクラス6に分類される生産クリーンルームの準備中です。開発部門には、ISOクラス7のラボがあります。

PI Ceramic(ドイツ、レーダーホーゼン)

テープ成形を始めとする多層加工のプロセスチェーン全体が、PI Ceramicのクラス7クリーンルームで行われます。ピエゾコンポーネントとセンサーのセットアッププロセスも、クラス7および8のクリーンルームで行われます。プロセスの要件に応じて、スパッタリング、スクリーン印刷、ディスペンシングなど、さらに厳選されたプロセスで、クラス7から9のクリーンルームを使用できます。

PI miCos(ドイツ、エシャッハ)

入荷検査エリアを含め、PI miCosのセットアップエリアはすべて、ISOクラス8のクリーンルームです。これらのクリーンルームの中には、内部にISOクラス5の超清浄な作業場が付属するものもあります。設計システムエリアにも、ISOクラス7のクリーンルームがあります。

PI USA(米国、ホプキントン)

PI USAには、生産エリアに、クリーンルーム条件下で、測定機能、クリーニング、パッケージングを提供するISOクラス8のセットアップアイランドがあります。

ダウンロード

Whitepaper: Manufacturing in Cleanrooms at PI (Physik Instrumente)

Capabilities and Capacity
日付 / バージョン
WP4008
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WP4008
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