ヘキサポッドによるモーション補正

小さな動作によって大きな影響が生じることがあります。例えば、ガイドの誤差による不正確な動作や機械加工プロセスは、生産中の精密機器に影響し、その結果使用できないものを生産してしまうもしれません。 製品の品質や性能に対する継続的な要求の高まりは、この類の問題を排除するよう促しています。もし動作が補正されなければ、製造誤差は制御できなくなり、最悪の場合、不良品が生産されるかもしれません。

何を補正する性能が必要なのか?

システムのモーション補正については高条件が求められます。リニア軸 回転軸に対して同じダイナミクスと精度で再現性の高い動作が必要です。これはつまり、対応するダイナミクスで高精度軌道を描くことになります。したがって、多軸、精密、ダイナミックな位置決めシステムが必要となります。

ピエゾドライブによるダイナミックヘキサポッド

パラレルキネマティック設計のおかげで、ヘキサポッドはこの目的に対し最高の状況を提供します。例えば積み重ね方式のシステムのようなシリアル型と比較し、そのアドバンテージは、経路精度、繰り返し精度、そして平坦度が優れている点です。加えて可動質量が小さいため、すべての動作軸において、より良好な動的パフォーマンスが可能です。 また、ケーブルが可動しないため、ケーブルの引き回しの問題が無くなりますし、システムが非常にコンパクトなデザインになっていることも特徴です。高精度かつあらかじめ定義された動きに対する動的補正のために、PI社は、ピエゾベースのドライバを使うことでナノメーターレンジでの繰り返し精度を実行可能なヘキサポッドシステムを提供します。1kHzの共振周波数が高速な位置制御を保証します。省スペースの面では、パラレルキネマティック設計により全高が低く抑えられています。これにより、ガイドエラーの補正もしくは適切な動作が必要な装置にヘキサポッドは組み込み可能です。ピエゾドライブは摩耗が発生せず、強磁場環境下や真空環境下でも動作します。

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