- 製品 製品PI社はモーション ポジショニング分野のソリューションに関して世界的な大手サプライヤーです。 PI社はリニア、回転、そして垂直動作や異なった軸の組み合わせを広範囲に開発し製作するだけではありません。顧客様の用途に合わせたモーション ポジショニングシステムもご提案しています。
- 新製品 新製品このサイトでは、弊社の新製品をご確認いただけます。詳しくは、弊社までお問い合わせください。できる限り速やかに、弊社セールスエンジニアが対応させていただきます。
- 製品検索 製品検索必要なモーションの軸によって指定される製品タイプを選択してください。選択する基準を増やすと結果のリストが長くなるか、短くなります。同時に2つ以上のフィルタを選択することで、より耐荷重が大きい位置決めステージを検索することができます。
- カスタマイズ製品 カスタマイズ製品PI社は、これまでにないソリューションを求められた場合でも、完全に自社対応します。これは研究分野にとどまりません。今日、ナノテクノロジーは標準的な産業プロセスにも存在します。
- ナノポジショニング ピエゾ フレクシャ ステージ ナノポジショニング ピエゾ フレクシャ ステージPI社のピエゾフレクシャステージでは、サブナノメーターの分解能と案内精度を、クロストークが最小となるように組み合わせています。このため、計測用途や超解像度の顕微鏡、干渉計、あるいは半導体チップ生産における検査システムなどに、特に適しています。
- 多軸ピエゾ フレクシャ ステージ 多軸ピエゾ フレクシャ ステージPI社の多軸ピエゾ フレクシャステージは、チップ、チルト、およびヨーのモーションを含む最大6軸まで、サブナノメーター精度でのポジショニングとスキャン動作が可能です。ラインナップには、最もコンパクトなキューブ型から、大開口、低背設計の製品までが含まれます。
- PIFOC、対物&PInano、顕微鏡用試料スキャナ PIFOC、対物&PInano、顕微鏡用試料スキャナPiezoフレクシャステージおよびPIFOC®/PInano®シリーズ対物スキャナは、ポジショニングとスキャン用途において、ダイナミクス性に優れた動作を提供します。
- リニア ピエゾ フレクシャ ステージ リニア ピエゾ フレクシャ ステージPI社のピエゾフレクシャステージでは、サブナノメーターの分解能と案内精度を、クロストークが最小となるように組み合わせています。このため、計測用途や超解像度の顕微鏡、干渉計、あるいは半導体チップ生産における検査システムなどに、特に適しています。
- XYピエゾ フレクシャ ステージ XYピエゾ フレクシャ ステージ最高の信頼性を持つ高精度2軸ナノポジショニングシステムは、PICMA®ピエゾアクチュエータで構成されています。同時に、高品質なナノ計測センサを用いることにより、再現性と高い安定性を持ったドリフトフリーな位置決めが可能となります。
- ピエゾフレクシャ チルトミラー ピエゾフレクシャ チルトミラーピエゾ フレクシャ ミラーの高い剛性は、高い動的性能と優れた位置決め安定性を実現します。このコンパクトなデバイスは、レーザー加工やレーザーステアリングにおけるビームの偏向に使用されます。 そのパラレルキネマティックデザインは、回転中心が固定かつ偏光方向に変化がなため、チップ軸とチルト軸で同じ性能を発揮します。
- 多軸ピエゾ フレクシャ ステージ
- 小型ステージ 小型ステージ小型ステージおよびマニピュレーターは、医療用や計測用の携帯デバイス用途や、産業用マイクロアセンブリ、超高真空や非磁性といった環境での研究において必要不可欠です。
- 小型リニア ステージ 小型リニア ステージ設置スペースが限られている場合、位置決めには小型ステージが適しています。Q-motion、PIline®、およびPiezoWalk®のようなピエゾ モータは、直接駆動原理によりほとんどのコンパクト ステージに対応可能なものとなっています。
- 小型回転ステージ 小型回転ステージピエゾモーター方式の回転ステージは、特にコンパクトなサイズが求められる用途に適しています。これらのコンパクトな回転ステージは、顕微鏡関連の用途で必要な開口部も備えており、光学用途、例えば高い信頼性と優れた繰り返し性が必要なフィルターの位置決めなどに適しています。
- 小型 ヘキサポッド 小型 ヘキサポッド最も小さい6自由度デバイスはQ-motionピエゾモータステージで構成されていますが、ブラシレスDCモータによる手のひらサイズのステージも存在します。このステージの動的設計においては個々の軸の動きが重要です。また、包括的な性能の均一性は、ヘキサポッド型デザインの採用により達成されています。
- 小型リニア ステージ
- リニアステージ リニアステージPI社では、半導体やフォトニクス、高度な研究など、高精度が求められる産業市場向けに、さまざまなモーター駆動リニアステージを提供しています。各種モデルの多くで、真空対応に対応したバージョンをご用意しております。アダプターブラケットまたは専用の上下駆動ステージと、対応する回転ステージにより多軸構成も可能です。
- PIMag®磁気ダイレクトドライブ リニアモータステージ PIMag®磁気ダイレクトドライブ リニアモータステージPIMag®磁気ダイレクトドライブ リニアモータステージ 摩擦の無い磁気ダイレクトドライブは、ダイナミックな用途のステージに非常に適しています。また、モータースピンドル方式のステージと比較した場合、磁気ダイレクトドライブは機構要素の数が少ないため摩擦やバックラッシュが減り、高精度を得ることができます。
- ステッピング、DC、ブラシレスDC(BLDC)対応ステージ ステッピング、DC、ブラシレスDC(BLDC)対応ステージレーザ加工などの製造プロセスにおける産業用アプリケーションは、位置決め用モータステージによる正確な位置決め精度の恩恵を受けます。その高さ方向のプロファイルが非常に薄い設計により、バリアブルステージシリーズは、テストシステムから精密自動化された生産ラインに至るまで、汎用的な用途に適しています。
- ステッパ、DC、およびブラシ不要のDC (BLDC) モータの上下駆動ステージ ステッパ、DC、およびブラシ不要のDC (BLDC) モータの上下駆動ステージ上下駆動ステージは、リニア ステージにアダプタなしで取り付けることができます。そして多軸ポジショニング システムの柔軟性のある組み合わせを可能にします。
- 小型リニア ステージ 小型リニア ステージ設置スペースが限られている場合、位置決めには小型ステージが適しています。Q-motion、PIline®、およびPiezoWalk®のようなピエゾ モータは、直接駆動原理によりほとんどのコンパクト ステージに対応可能なものとなっています。
- PIMag®磁気ダイレクトドライブ リニアモータステージ
- リニアアクチュエータ リニアアクチュエータ広範囲なテクノロジーの中から、貴社のご要望に最適な製品をお選びください。設定後に操作を行わない用途では、優れた長期安定性を持つピエゾモータが有効です。その特徴は真空または非磁性の環境においても保たれます。ステッパーモータとDCモータのソリューションは、産業および研究の両方において十分に確立されており、高い信頼性を有しています。
- 位置決めの長期安定性があるピエゾマイクアクチュエータ 位置決めの長期安定性があるピエゾマイクアクチュエータPiezoMikeリニアアクチュエータはピエゾ直接駆動による高分解能、保持力、そして絶対的に安定した位置決めを提供します。これはレーザーアプリケーションの光エレメントのポジショニングのように高精度の要件があるset-and-forget (設定するだけで後の操作は一切不要) 用途に理想的です。
- ステッパとDCサーボ モータの付いたリニア アクチュエータ ステッパとDCサーボ モータの付いたリニア アクチュエータ自動化されたリニア アクチュエータは、工業生産用途から研究所での調整用途などオートメーション ルーチンで不可欠なものです。
- PIMag - ボイス コイル アクチュエータ、ハイダイナミクス 力センサー搭載 PIMag - ボイス コイル アクチュエータ、ハイダイナミクス 力センサー搭載ボイス コイルドライブは高速なステップ アンド セトル動作を可能にします。摩耗のないフレクシャガイドあるいはメカニカルガイドが利用可能です。オプションの力コントロールはハプティクスデバイステストにおけるソリューションを可能にします。
- PiezoMoveレバーアクチュエータ PiezoMoveレバーアクチュエータ
- ナノポジショニングピエゾアクチュエータ ナノポジショニングピエゾアクチュエータPIezoMoveアクチュエータは、フレクシャガイド構造を持ち、ストロークは最大1 mmです。また、非常にコンパクトな外形寸法により組み込みが容易です。 PICMA®多層ピエゾをベースとしたナノポジショニングピエゾアクチュエータの特徴は、最大10000 Nの発生力と最大100 μmのストロークです。
- 高い発生力と安定性を持つPiezoWalkアクチュエータ 高い発生力と安定性を持つPiezoWalkアクチュエータPiezoWalk®アクチュエータは、システム統合を目的とした高度に特殊化された圧電アクチュエータです。半導体業界向けに設計されており、信頼性、位置分解能、長期安定性を向上させます。 本シリーズの特長としては、高発生力とコンパクトなサイズが挙げられます。また、ドライブ自体は磁場に強いのが強みです。
- PIRest Active Piezo Shims PIRest Active Piezo Shims
- 位置決めの長期安定性があるピエゾマイクアクチュエータ
- 回転ステージ 回転ステージPI社では、エアベアリング、トルクモータードライブ、ウォームギアとの組み合わせ、小型ピエゾステージ、直交組み合わせが可能な特殊ゴニオステージなど、あらゆる種類のドライブとガイドが選択できるステージ製品を提供しています。
- XYステージ XYステージPI社のXYステージ分野では、安定性、精度、およびダイナミクスが重要です。それらは高いスループット率と信頼できるオペレーションの基礎となります。PI社は、PIMag®磁気リニアーモーターとPIglideエアベアリングの分野での自社開発製品を利用しています。PI社の高荷重XYステージと平面スキャナーは、工業生産現場と品質管理に大きく貢献しています。
- ヘキサポッド ヘキサポッドヘキサポッドはコンパクト設計で、複数の自由度を提供します。アブソリュート計測センサ、ソフトウェアおよびモーションコントローラと組み合わせることで、最も複雑なモーションプロファイルを簡単に指令することが可能となり、PI社のへキサポッドは工業用途における要望にお答えします。
- エンジニアドシステム エンジニアドシステム高精度かつ複雑なモーションおよび位置決めのソリューションを実現するには、精密コンポーネント、安定した制御、そしてエンジニアリングにおける豊富な経験が欠かせません。PI社は、技術的に高度なドライブコンポーネントおよび高精度ポジショナーのサプライヤーであり、ターンキーソリューションに至るあらゆるレベルの統合も提供しています。
- 高速マルチチャネルフォトニクスアライメント 高速マルチチャネルフォトニクスアライメントシステムピエゾスキャナーは、耐久性、ダイナミクス、そして精度が重要である、高速で継続的なスキャンのタスクに対応します。XYZの組み合わせ、または6軸のヘキサポッドを用いることで、より大きなトラベルレンジを実現できます。統合されたルーチンにより、単軸アライメントから、複雑な多軸のファイバーアレイポジショニングまでを、最短時間で実行できます。
- モーションコントロールソフトウエア モーションコントロールソフトウエアPIが製造するすべてのデジタルコントローラーには、拡張ソフトウェアパッケージが付属しています。
- コンセプト コンセプトPI社はクロスプラットフォームとハードウェア非依存のコンセプトに基づいて、モーションコントロールソフトウェアを設計しています。
- ユーザープログラムとその機能 ユーザープログラムとその機能すべてのPIコントローラには、ユーザーがシステム全体を設定し、パラメーター化するのをサポートする拡張ソフトウェアパッケージが付属しています。
- ヘキサポッド向けソフトウェアツール ヘキサポッド向けソフトウェアツール
- プログラミング プログラミングお客様は、すべてのPIコントローラをアプリケーションとシームレスに統合できるように、独自のプログラムをプログラミングしたり適用したりできます。
- サードパーティサポート サードパーティサポート
- コンセプト
- コントローラー & ドライバ コントローラー & ドライバモーションコントローラの決定は、アプリケーションの状況によって異なります。設置スペースの制限や軸数または制御タイプなど、様々な基準が、どのコントローラが適切なのかを決定します。PI社では、コントローラおよび制御コンセプトに関する幅広い選択肢を提供いたします。
- ナノポジショニング ピエゾ コントローラ ナノポジショニング ピエゾ コントローラPI社では、あらゆる用途において最適な結果が得られるよう、多岐にわたるデジタルもしくはアナログのピエゾ制御を提供しています。すべてのピエゾシステム納品前に較正が行われ、操作可能な状態で納品されます。
- ピエゾ アクチュエータのオープン ループ動作用ピエゾ ドライバ ピエゾ アクチュエータのオープン ループ動作用ピエゾ ドライバPI社のピエゾ ドライバは、ベンチトップまたはラックマウントのソリューションとして利用可能ですが、電源を切り離してサイズを最小にすることで、OEMモジュールでも利用可能です。ピエゾ ドライバは様々な分野を得意とする高性能アンプをシステム化します。
- リニア、トルク、ステッパ、およびDCサーボ モータ用のモーションコントローラとドライバー リニア、トルク、ステッパ、およびDCサーボ モータ用のモーションコントローラとドライバードライブとアプリケーションの両方においてお客様のご要望に最適化できるよう、PI社ではモーションコントロールに関するソリューションを自社開発しています。通常、PI社のモーションコントローラは1チャンネルデバイスとして設計されており、ベンチトップ、ラックマウント、もしくはOEMバーションに対応可能です。
- ピエゾモータ用コントローラおよびドライバ ピエゾモータ用コントローラおよびドライバ
- 多軸および混合のドライブタイプ用のコントローラ システム 多軸および混合のドライブタイプ用のコントローラ システムモジュール式モーションコントローラ システムはシステムの軸数を柔軟に増やすソリューションを提供します。このシステムにより1つのユーザーインターフェースで異なったドライブタイプの使用を可能にします。利用可能なモデルの数は常に増え続けています。是非弊社にお問い合わせください。
- ヘキサポッド モーション コントローラ ヘキサポッド モーション コントローラヘキサポッドの構造と同様に、そのモーションコントローラもまたユニークな存在ですが、ユーザーがパラレルキネマティックのアルゴリズムを簡単かつ意識せずに使用できるように、コントローラは設計されています。すべてのターゲットポジションはデカルト座標系で指定することができ、オートメーション工程において最適となるべくEtherCATインターフェースでも利用することが可能です。
- ACS Motion Control 産業アプリケーション向けACS Motion Control弊社では、特に産業標準のオートメーションについて、弊社のパートナーであるACS Motion Controlのコントローラをお薦めしています。統合ソリューションについては、弊社までお問い合わせください。
- ナノポジショニング ピエゾ コントローラ
- ピエゾトランデューサとアクチュエータ ピエゾトランデューサとアクチュエータ圧電超音波トランデューサーにはディスク、プレート、チューブといったさまざまな形状があり、幅広い性能レベルを取りそろえています。各種のピエゾセラミック材料、電極、アセンブリテクノロジーを使用することによってアプリケーションの要件に対応できます。
- エアベアリングとステージ エアベアリングとステージエアベアリングステージは無振動の駆動が必要なとき、速度に安定性の必要があるとき、そして、最適な角度の再現性が要求されるとき使用されています。
- センサ、コンポーネント、およびアクセサリ センサ、コンポーネント、およびアクセサリ
- 新製品
- OEM OEM特定のお客様 アプリケーション向けの製品の開発は、PI社の成功の基礎になっています。 その為には、満たさなければならない仕様を理解する必要があり、また、その課題を解決する為の技術的なソリューションも見つけなければなりません。PI社は主要なテクノロジーをすべて社内で製造しており、テクノロジーと製品をうまく融合し、要求される仕様を満たすことができます。
- 応用事例
応用事例 & マーケットPI社の位置決めシステムは、産業界 研究分野において最先端の技術が要求される箇所で採用されています。例えば、半導体製造装置、医療機器、バイオロジー製品、製造工場、表面計測機、そして天文分野が挙げられます。- 自動車 自動車製造現場、品質管理プロセスにおいて多軸で高精度のロボットのニーズが増大しているため、産業界では新しいタイプのロボットを求めています。PI社は、これらのニーズに対してパラレルキネマティックヘキサポッドを提供しています。
- 科学計測 科学計測「科学計測」という言葉は、顕微鏡からビームライン、様々な分野のラボラトリーオウトメーションまで幅広い事例を示します。
- ALMA向けヘキサポッドシステム ALMA向けヘキサポッドシステムアタカマ砂漠の過酷な条件の中で、PIのヘキサポッドは、ALMA電波望遠鏡の副反射鏡を主反射鏡に合わせて動かしています。
- 二結晶モノクロメータ 二結晶モノクロメータPI社のビームライン装置部門は、用途に基づくソリューションを提供しています。例としては、X線スペクトロメータ用の分光器があります。
- 高真空下での材料研究 高真空下での材料研究PI社は、高エネルギーX線による材料研究用に、高真空対応の標準およびカスタム位置決めシステムを提供しています。
- ピエゾアクチュエータを利用したアクティブ除振装置 ピエゾアクチュエータを利用したアクティブ除振装置アクティブ除振装置を利用すると整定時間が減少し、計測および生産工程における精度が向上し、生産性を上げることができます。
- ELT用の駆動テクノロジー ELT用の駆動テクノロジー欧州超大型望遠鏡(E-ELT)は電磁波放射を科学的に評価するための地上最大望遠鏡です。
- ALMA向けヘキサポッドシステム
- 半導体テクノロジー 半導体テクノロジーリソグラフィプロセスにより、チップサイズがますます縮小され、シリコンウエハ上に微細構造を作ることが出来ます。 ピエゾドライブは、こうした技術を性能 信頼性を含めて進歩させました。
- 顕微鏡検査 顕微鏡検査画像処理は医用工学から薬学研究および半導体製造まで、多くの分野全体で効率を向上させます。
- 共焦点顕微鏡 共焦点顕微鏡での焦点面の調整共焦点顕微鏡は、焦点面を移動することにより試料表面の構造を検出するため、皮膚科などで使用されます。
- 高速顕微鏡 品質管理用の高速顕微鏡原子間力顕微鏡用のAFMスキャナーの試料の位置決めは、重要な役割をはたすピエゾベーススキャニングステージで行われます。
- 原子間力顕微鏡 原子間力顕微鏡用のAFMスキャナ原子間力顕微鏡用AFMスキャナにおける標本の位置決めは、ピエゾベースのスキャンステージで行わるため、それらステージは重要な役割を担います。
- 白色光干渉計 3D表面検査用PI社製ピエゾベースポジショニングシステムピコメートルの分解能をもつ3D表面検査用に、高分解能カメラが白色干渉計に組み込まれます。
- 共焦点顕微鏡
- シリコン フォトニクス シリコン フォトニクスシリコンフォトニクスは、データ転送速度をテラバイト/秒にすることが可能です。それ故、できるだけ早い通信速度を要求するコンピュータサービスに適しています。
- フォトニクスパッケージング 自動化されたフォトニクス パッケージング自動化された組立及びアライメントシステムはシリコン フォトニクスの製造プロセスを数分に短縮することができます。しかし、デリケートな導波管の取扱い、光源の組み込み、光の入出経路の接続は非常に難しく、大きな課題となっています。
- 光ファイバーアライメント シリコンフォトニクスでの光学コンポーネントの同時試験シリコンフォトニクスには、コンポーネントの製造、ウエハテスト、ウエハスライスなど新しい課題が存在しています。
- フォトニクスパッケージング
- 医療工学 医療工学製薬研究、診断、治療の進歩は、高性能で精密な位置決めシステムを必要とします。 そして、高精度な位置に加え、ドライバには、コンパクトサイズ、低消費電力、スピード そして高い信頼性が要求されます。
- 内視鏡 ミニチュアドライブ搭載電子スコープ内視鏡ピエゾモータとミニチュア磁気ドライブを使用すると、電子スコープ内視鏡のフォーカス及びズーム機能を向上させることができます。
- 眼科 眼科手術のための高精度ドライブ眼科手術でのレーザービームの位置調整やフォーカシングには、ピエゾ駆動のチップ/チルトミラーシステムのような正確なポジショニングシステムが必要です。
- 磁気共鳴治療機用 磁気共鳴トモグラフィ用ドライブピエゾドライブは強力な磁場からの影響を受けないため、磁気共鳴治療に最適です。
- オプティカルコヒーレンストモグラフィー ピエゾテクノロジーとオプティカルコヒーレンストモグラフィー (OCT)ピエゾアクチュエータとドライブ (PILine® OEMモータ) は、オプティカルコヒーレンストモグラフィー (OCT) に必要な高い精度と位置の安定性を保証します。
- ピペット ピペット及びナノディスペンサー用ピエゾモータピエゾモータは、デバイスとサンプルが狭いピペットに最適で、ピペットを垂直方向に動かすことができます。
- 高精度分注 ナノディスペンサーによる高精度分注用ダイナミックドライブピエゾアクチュエータはナノディスペンサーによる高精度の分注に最適です。バルブを直接切り替えることも、閉鎖用バネに対しても動作することができます。
- マイクロポンプ 圧電マイクロポンプ – コンパクト設計 で高性能圧電マイクロダイヤフラムポンプは、コンパクトで高いパフォーマンスを発揮します。定常流量の供給をしたり、流量の調整をすることもできます。
- 画像安定化 ピエゾスキャナーによる画像安定化とマイクロスキャニングピエゾベースの高速スキャナーは、画像安定化およびマイクロスキャニングのためにビデオ周波数レンジに見合った速度で動作します。
- 柔軟なダイヤフラムポジショニング 柔軟なダイヤフラムポジショニング放射線治療では、健康な組織を放射線からの保護するために個別のリーフが調整されます。
- 内視鏡
- 材料研究 材料研究効率性は、昨今重要なキーワードになりました。材料研究は、プロセス工程の最適化に重要な貢献しました。表面のナノメーター精度検査もまた、価値ある貢献をしてきました。X線、レーザー、白色光干渉計などの手法では、検査する試料 及び 光学装置、ビーム制御に高精度な位置決めが必要とされます。
- 材料研究向けパラレルキネマティック 材料研究向け高荷重パラレルキネマティックビームラインの高エネルギーX線は、溶接の継ぎ目の観察など材料研究に大きな貢献をしています。
- レーザービーム制御 レーザービーム制御用ピエゾドライブレーザーは多くの応用分野があるツールです。同時に、レーザービームの制御には、精度、ダイナミクス、信頼性が要求されます。
- 材料研究向けパラレルキネマティック
- メカニカルエンジニアリング メカニカルエンジニアリングメカニカルエンジニアリングや製造技術には高速で信頼性のある、しかも省エネルギーのドライバが必要です。その領域はピエゾアクチュエータから、直接CNC制御ができる6軸パラレルキネマティックまで広がっています。
- 放電加工 ピエゾアクチュエータによる放電加工精密微細構造部品の大量生産は、通常放電加工により製造されます。振動用アクチュエータはこれに大きく貢献しています。
- メカニカルエンジニアリング用ヘキサポッド メカニカルエンジニアリング用ヘキサポッドPIのヘキサポッド6軸ポジショニングシステムは、2 kgから数トンの荷重を扱うことができます。高精度のメカニカルエンジニアリング用途に最適です。
- 放電加工
- オートメーション オートメーションピエゾドライブ、磁気ダイレクトドライブ、そしてヘキサポッドは、現在オートメーションには不可欠な技術となっています。過酷な条件下において高精度と信頼性で動作することで自らの能力を実証しています。
- より高性能モーションな位置調整 より高性能モーションな位置調整組立、半導体製造、メカニカルエンジニアリング、レーザー加工、検査システムで使用される産業オートメーション、または積層造形の位置調整とモーションのタスクには、ロボスト性と信頼性の高いソリューションが求められます。
- マイクロプロダクション用ヘキサポッド マイクロプロダクション用ヘキサポッドフォトニクス、モバイルデバイス、高級腕時計で使用されている光学部品、ガラスファイバーに共通する項目は何でしょうか?
- 品質保証用ヘキサポッド 品質保証用ヘキサポッド組立現場と品質保証現場において、マイクロプロダクションテクノロジーでは高精度のポジショニングシステムが必要不可欠なものとなっています。
- 磁気ダイレクトドライブ 磁気ダイレクトドライブボイスコイルアクチュエータとリニアドライブを総称した磁気ダイレクトドライブは、多くの理由で最適なソリューションとなります。
- ヘキサポッドによるモーションシミュレーション ヘキサポッドによるモーションシミュレーションCIPA認証済のPI社 のヘキサポッドによるモーションシミュレーション – 振動テーブルは、耐振動評価に使用されます。
- 寸法測定における柔軟性 オートメーション用ヘキサポッドモーションロボティクスに必要な空間を最小化することにより、ヘキサポッドはインラインオートメーションシステムの様々な例において優れた柔軟性をもたらします。
- ヘキサポッドによるモーション補正 ヘキサポッドによるモーション補正ピエゾドライブを使用したダイナミックヘキサポッド:モーション補正に最適です。
- 高速ピエゾ超音波ドライブ先進技術 高速ピエゾ超音波ドライブ先進技術応用事例により高い要件が求められる場合、超音波ピエゾモータは良い代替品となり、様々な方法で使用できます。
- Laser Material Processing Laser Material ProcessingPI offers automation platforms for high-precision and high-throughput laser material processing, such as laser marking, laser cutting and micromachining.
- より高性能モーションな位置調整
- ビームライン装置
- トモグラフィー装置 トモグラフィー装置
- シンクロトン放射光電子分光 シンクロトン放射光電子分光
- 光学ハッチ 光学ハッチ
- トモグラフィーとホログラフィー トモグラフィーとホログラフィー
- 光学顕微鏡 光学顕微鏡
- 加速器技術 加速器技術XFEL加速器でのローレンツ力のダイナミック補正: DESY (ドイツ電子シンクロトロン研究所) のXFEL粒子加速器は、超電導加速構造、いわゆる共振器またはキャビティに基づく加速技術を利用しています。
- トモグラフィー装置
- 積層造形 積層造形ピエゾアクチュエータは、その高いダイナミクスと圧縮力により、積層造形用のマシンでの使用に最適です。
- テクノロジー
経験 知識 & テクノロジーPI社は、メカニクス、エレクトロニクス、センサ、そしてソフトウエア分野での知識とマイクロ ナノポジショニングテクノロジーに関する長年の経験を融合させ、お客様に最先端のドライブテクノロジーとソリューションを提供いたします。- ピエゾテクノロジー ピエゾテクノロジーPICeamic社はピエゾセラミック素材、コンポーネント、アクチュエータ製造において経験豊富です。ピエゾセラミック材料は、後のピエゾ素子として用途に完璧に適合するよう個々に調整することができます。
- ピエゾ技術の基本 ピエゾ技術の基本ピエゾの圧電効果と電気機械特性に関する物理的基礎と解説
- ピエゾアクチュエータの特性 ピエゾアクチュエータの特性ピエゾセラミックアクチュエータの特性: 変位モード、発生力と剛性、ダイナミクス、環境条件。
- ピエゾセラミック材料 ピエゾセラミック材料PICeramic社は、鉛フリーの材料を含め、様々な圧電材料を提供しています。
- 製造技術 製造技術PICeramic社では、プレス、テープ技術、組立技術、検査技術と広範囲における製造技術を自社に保有しています。
- PICMA® テクノロジー PICMA® テクノロジー特許取得済みの多層アクチュエータの製造技術は、高い信頼性と長寿命をお約束いたします。
- 一体型ピエゾアクチュエータ 一体型ピエゾアクチュエータ引張応力を回避するため、これらのピエゾ素子には、容器内における機械的プリロード、もしくはフレクシャジョイントが備えられています。
- DuraActパッチトランスデューサテクノロジー DuraActパッチトランスデューサテクノロジー製造、機能原理、およびDuraActパッチトランスデューサの典型的な加工パラメーターにより、可能な力の発生および偏向について説明。
- PIRestアクチュエータ PIRestアクチュエータ長期の安定性とナノメートル分解能のアクティブシム。
- ピエゾ技術の基本
- ピエゾドライブ ピエゾドライブ構成と制御方法に応じて、ピエゾセラミックアクチュエータは、並進運動を生み出したり、モータとしてほぼ無制限のストロークを生み出すことができます。駆動方式は、用途による要求事項により選択されます。
- ピエゾアクチュエータ ガイド機構あり、無しのピエゾアクチュエータピエゾアクチュエータは、サブナノメートルの分解能と非常に短い応答時間を有するため、高いダイナミクスでのナノメートル精度の位置決めに最適です。
- PiezoWalk® ステッピングドライブ PiezoWalk® ステッピングドライブPiezoWalk® ドライブは、高い信頼性、高い位置分解能、長期安定性が要求される半導体業界向けに10年程前に開発されました。
- PILine® 超音波ピエゾモータ PILine® 超音波ピエゾモータ超音波ピエゾモータは従来の回転モータ/ギヤ/ネジの組み合わせに起因する機械的複雑さを排除し、結果としてコスト削減と信頼性を高めています。
- ピエゾ慣性ドライブ ピエゾ慣性ドライブ慣性(イナーシャ)ドライブは、省スペースで低コストのピエゾベースドライブであり、比較的高い保持力と、ランナー長によってのみ制限されるトラベルレンジを備えています。
- PiezoMikeリニアアクチュエータ PiezoMikeリニアアクチュエータ慣性駆動(スティックスリップ)方式は、コンパクトで低コストです。このドライブは、静止状態ではセルフロックし、電流を必要とせず、発熱しません。また自身の最大の力で位置を保持します。
- 比較: ピエゾモーター とドライブテクノロジー 比較: ピエゾモーター とドライブテクノロジーPI社のドライブテクノロジーの比較: ピエゾモータ、ステッピングドライブ、超音波ドライブ、ピエゾ慣性ドライブ。
- ピエゾアクチュエータ
- 電磁駆動 電磁駆動DCモータやステッピングモータなどの電動回転モータは、ネジまたはウォーム駆動と連結して使用されます。高分解能エンコーダー搭載のステッピングモータシステムは、10nmの最小インクリメンタルモーションを実行可能であり、高い信頼性と再現性を有しています。
- 回転電動モータ PI社の回転電動モータDCモータやステッピングモータなどの回転電動モータは、ネジまたはウォーム駆動と連結して使用されます。
- PIMag® 磁気ダイレクトドライブ PIMag® 磁気ダイレクトドライブ特に摩耗やダイナミクス関して、磁気ダイレクトドライブは、スピンドルベースのテクノロジーと比較してメリットがあります。
- PIMag® 6D磁気浮上 6自由度でのPIMag® 6D磁気浮上PIMag® 6Dは電磁ポジショニングシステムであり、パッシブなプラットフォームが磁界の上を浮上し、また、磁界でアクティブにガイドされます。
- ハイブリッドコンセプト ピエゾ & モータハイブリッドシステムハイブリッドシステムとは、DCサーボモータ(長トラベルレンジ)とピエゾドライブ(ナノメートル精度)を組み合わせてたステージです。
- 回転電動モータ
- パラレルキネマティック パラレルキネマティックパラレルキネマティック多軸システムでは、すべてのアクチュエータは単一の可動プラットフォームに作用します。 これは、すべての軸を全く同じ動的特性であるとして設計できることを意味します。結果として、運動する質量を大きく減らせることが出来ます。ヘキサポッドは、6軸方向(3つの直進軸と3つの回転軸)に移動および高精度の位置決めに使用されます。
- パラレルキネマティック パラレルキネマティックピエゾ位置決めシステムパラレルキネマティック多軸システムでは、すべてのアクチュエータは、ただ一つの可動プラットフォームに対して、ダイレクトに動作します。
- 多軸位置決めシステム 多軸位置決めシステムとスチュワートプラットフォームヘキサポッドプラットフォームは、搭載物の6軸方向、つまり3つの直動軸と3つの回転軸に沿った高精度位置決め、および搭載物の位置調整のために使用されます。
- ヘキサポッドによるモーションシュミレーション ヘキサポッドによるモーションシュミレーションモーションシミュレータ(加振器)には高いモーションダイナミクス仕様が求められます。
- パラレルキネマティック
- センサ技術 センサ技術最高の分解能を持つ測定装置を無くして、直進性や再現性の達成は成し得ません。数ナノメートル以下のレンジにおける精度には、このレンジでモーション検出できる位置測定方法が必要です。
- 静電容量センサ 静電容量ナノセンサ静電容量センサは、もっとも要求事項の厳しいナノポジショニング用途に適した計測システムです。
- インクリメンタルセンサ ナノ計測 & ナノポジショニング用リニアスケールエンコーダーPI社では、約1mmから始まる長いトラベルレンジを測定するインクリメンタル測定システムを採用しています。これらのセンサは、ほとんどの場合光学センサですが、ピコメートルレンジまでの位置分解能を実現します。
- PIOne光学式ナノ計測エンコーダ PIOne光学式ナノ計測エンコーダPI社で開発されたPIOne高分解能リニアセンサは、適した測定解析により1nm以下の位置分解を保証します。
- 比較: 位置センサ技術 比較: ナノ位置決めセンサ技術数ナノメートル又はそれ以下のレンジの精度がある位置決めシステムは、このレンジでの動きを検出できる位置測定技術を必要とします。
- 静電容量センサ
- コントローラ & ソフトウェア コントローラ & ソフトウェアすばやい整定、極めてスムーズな低速動作、高い位置安定性、高分解能、ハイダイナミクス動作とピエゾシステムへの要求事項は様々なため、そのドライバ 制御系には幅広い自由度が求められます。
- デジタル & アナログインターフェイス デジタル & アナログインターフェイスPI社のデジタルコントローラの標準インタフェイスは、高速USB, TCP/IP, RS-232です。 更にPI社は、デジタル又はアナログのリアルタイム対応インターフェイスを提供しています。
- PI社製品とEtherCATとの接続性 PI社製品とEtherCATとの接続性PIでは、EtherCATスレーブとして使用できる高精度のドライブを提供するほか、マスターや既存のアーキテクチャの第2マスターとして、ACSモーションコントローラーをそのドライブと一体化させることもできます。
- ピエゾアクチュエータの制御 ピエゾコントローラー& ナノポジショニングシステムのドライバピエゾアクチュエータの特性には、高発生力と高速応答が含まれます。ピエゾアクチュエータは電圧のわずかな変化でもモーションとして反応するため、制御におけるノイズやドリフトを避ける必要があります。
- デジタルモーションコントローラ デジタルモーションコントローラデジタルテクノロジーにより、従来のアナログ技術にはなかった制御工学使い、パフォーマンスを改善する可能性があります。
- デジタル & アナログインターフェイス
- ガイドシステム & 力の伝達 ガイドシステム & 力の伝達フレクシャジョイントか、機械的ガイドコンポーネントか、あるいは磁気ベアリングか? PI社がその製品に対してどのガイドシステムを採用するかは、トラベルレンジ、要求精度、荷重、寿命、環境条件によって決まります。
- 従来のガイドシステム 比較: 従来のガイドシステムと力の伝達数ミリメートルから1メートルまでのストロークを持つポジショナーは、通常、ボールベアリングなど、従来からある機械的ガイドコンポーネントを用います。
- フレクシャガイドシステム ナノポジショニング& ピエゾアクチュエータ用のフレクシャガイドシステムPI社のフレクシャガイドは、ナノポジショニングの世界においてその価値を証明しています。フレクシャガイドはピエゾをガイドし、傾きや横方向へのズレがない直進性を保証します。
- 磁気ベアリング ナノポジショニング用磁気浮上 & 高精度ベアリング磁気浮上システムは、平面内の直進性と回転に対して優れたガイド機能があります。
- PIglideエアベアリングテクノロジー PIglideエアベアリングテクノロジーナノメートル精度、かつ摩擦のない多軸モーション
- 従来のガイドシステム
- 真空 真空対応リニア & 回転ステージ、超高真空位置決めシステム慎重な取り扱いと確かな根拠: PIは、原材料やコンポーネント、最終製品の品質保証に必要な設備だけでなく、長年にわたる高真空および超高真空ポジショニングシステムに関する経験を有しています。
- 用語集 技術用のPI用語集PI用語集では、技術用語の説明を確認することができます。
- ニュース & イベント
ニュース & イベント当社の製品を実際に拝見して頂き、お客様の用途やお困りの点についてご相談いただける絶好の機会となります。是非お立ち寄り下さい。- PIジャパンニュースレター購読 PIジャパンニュースレター購読
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PI 社についてPI社はテクノロジーとお客様のお役に立つことへの情熱に基づき、高精度ポジショニングおける卓越した技術と継続的進歩をお約束します。PIグループの目標は、この市場と技術的リーダーシップを更に発展させ、競争におけるお客様の決定的優位性を確かなものにすることです。- モーションコントロール テクノロジーセンター モーションコントロール テクノロジーセンターテクノロジーセンターには、オフィススペースだけでなく、アプリケーションラボや計測ラボのスペース、真空チャンバーや低温チャンバーのクリーンルームもあります。
- PI社のフラクタル生産体制 PI社のフラクタル生産体制高効率 高品質な生産方法
- 計測 計測PI社は外部計測装置を以て製品を認定しています。これらは部分的に校正され、国家基準に対してトレースすることが可能です。PIOneインクリメンタルエンコーダと静電容量センサを使用し、PI社はPI社製品に含まれる一部として、独自の計測を行っています。
- PI社のクリーンルームで製造 PI社のクリーンルームで製造PI社は、クリーンルームという条件のもとでの製品の製造や認定に対応しており、市場のニーズに応じて拡張や改良を続けています。
- 高荷重用スペース 数トンのポジショニングシステムのための高耐荷重スペースPI社は、2トンのヘキサポットから10グラムのナノポジショニングシステムまで製造し、性能確認を行っています。 PI社は、ドイツカールスルーエに耐高荷重施設を建設し、重量5トンまでの製品の組み立て、計測をしています。
- 品質保証 品質保証PI社は、品質、安全、環境保護において、高水準を世界中にお届けすることを目標にしています。この理念は統合管理システムに反映されています。
- PIグループ PIグループPI社は高精度のポジショニングにおいて、優れた技術とたゆまぬ進化をお約束します。この根底にあるのは、テクノロジーへの情熱と、テクノロジーをお客様の用途に役立てたいという情熱です。
- PI miCosについて PI miCosについてPIのグループ企業であるPI miCosは、フィールドエンジニアシステムに多大な貢献をしており、磁気駆動型ポジショニングシステムの専門知識が結集する場となっています。
- PIグループの事業拠点 PIグループの事業拠点PIグループの世界中の事業拠点が表示されます。お近くのPI社についてはこちらから詳細をご確認できます。
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Sample Manipulators in High-Vacuum
Pulsed Laser Deposition (PLD) In-situ Characterization Using Synchrotron Beams
At the NANO Beamline of the ANKA Synchrotron Radiation Facility (Karlsruhe, Germany), X-ray diffraction and reflections of the synchrotron radiation can be used to investigate the structural properties of thin films under high-vacuum conditions as part of modern material research.
For direct use in the beamline, an all-in-one system has been developed where pulsed laser light is used to take the solid target to the gas phase and then deposit it as a layer on a substrate. One characteristic of the beamline PLD system is the laser heating, which can heat the substrates up to 1200 °C, and the simple loading. A special feature is the sample manipulator, which allows due to its small size a wide angle range of the X-rays even at low substrate heights.
Hexapod in the Sample Manipulator
In the sample manipulator, a Hexapod, designed by PI for use in high vacuum, positions the samples, i.e. 10 mm × 10 mm substrates, relative to the incident X-rays. This allows the sample to be tilted by ±5° around the X and Y axes at a resolution of 0.001°. In addition, to compensate for different layer thicknesses, it can be moved in the direction of the Z axis, i.e., vertically to the sample surface, by up to 3 mm. Motions of ±6 mm in the X and Y directions allow scans at different positions of the sample surface. The Hexapod is mounted on a rotary stage, which can perform further positioning tasks if required.
- 応用事例