材料研究、プロセス、表面計測テクノロジー

効率性」は重要なキーワードになりました。材料研究は、プロセス工程の最適化に重要な貢献をしました。表面のナノメーター精度検査もまた、価値ある貢献をしてきました。X線、レーザー、白色干渉計などの手法では、検査する試料および光学装置、ビーム制御に高精度な位置決めが要求されます。

白色光干渉のためのナノメートル精度のドライブソリューション
表面検査用のピエゾ
ナノインデンテーション用の高精度スキャニング