レーザービーム制御用ピエゾドライブ

レーザーは多くのアプリケーションで使用できる多目的ツールです。レーザービームの高精度位置決めは非常に重要です。 また、同時にレーザービームステアリングとフォーカシングは、ダイナミック、信頼性、小型であることが必要とされます。ピエゾベースの位置決めシステムは、こういった用途に最適です。

ダイナミックで正確

圧電効果を利用したアクチュエータは、サブナノメートルの分解能とミリ秒以下の応答時間で動作します。これにより走査周波数が最大1000Hzのダイナミックな操作が出来ます。 メンテナンスは不要で静的な動作ではエネルギーは不要です。

材料加工とレーザースキャニング用精密ソリューション

例えば電子部品生産用途などで使用されるチップチルトミラーシステムやピエゾベースのスキャニングステージでは、ピエゾドライブが、パラレルキネマティックポジションシステムとして使用されます。このシステムでは、可動ステージは1つだけで、共通の回転中心も1つです。加えてこのシステムは、2つの単動軸を切り替えて実現される精度よりも高精度を実現可能で、例えば一般的にガルバノスキャナーなどで使用されます。
また同システムは超高分解能顕微鏡の計測にも使用されます。チルトステージにおいて、摩擦が発生しないピエゾドライブとフレクシャガイドは従来のドライブよりも高い加速度が可能であり、最大3°までのチップチルト角の位置制御動作において、100Hz以上のスキャン周波数を実現します。

セラミックPILine® 超音波モータはレーザービーム制御において、興味深い可能性を広げます。このモータは非常に高い速度および加速度、そしてコンパクトな寸法を特長とします。特許取得済みであるドライブは、静止状態においてセルフロックを実現します。

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Success Story: Laser Beam Steering in Materials Processing, Laser Scanning Microscopy and Ophthalmology (英語)

Piezoelectric Drive Components and their Possibilities
SUCCESS STORY pi1100E
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