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"レーザービームを制御するために、ピエゾ駆動チップ/チルトミラーシステムは、必要とされる精度だけでなく、高加速度と100Hzを超える非常にダイナミックなバンド幅も提供します。このシステムはコンパクトでより高レベルのシステムに組み込むことができます。光偏向角度は最大6° で、応答速度は極めて速く (ミラー付きで10 ms~1 ms)、ナノラジアンレベルの位置分解能を有します。 複数の動作軸を持つチップ/チルトミラーでは、ピエゾドライブがパラレルキネマティックポジショニングに使われています。従来システムとは違い、ただ一つの回転中心を持ち、かつ、可動プラットフォームが一つだけのシステムです。高分解能位置センサーを組み込むことで、全トラベル領域で0.25%以上の直線性が得られ、通常5 µradの繰り返し精度を実現しています。"