原子間力顕微鏡用のAFMスキャナー

ピエゾベースのスキャン ステージが重要な役割を果たす

例えばモジュラー式で設計された顕微鏡システムは、共焦点ラーマン顕微鏡を原子力間顕微鏡(AFM)あるいは走査型近接場光顕微鏡(SNOM)に装備することが可能です。これらの極めて高分解能式な方式の基となるのは、動作における全3軸方向に対する試料の位置決めです。

非常に高い位置決め分解能とダイナミクス性を備えたポジショニング

空間的解像度を提供する位置決め系として、試料スキャナの分解能はサブナノメートルのレンジである必要があります。それと同時に、高ダイナミクスが要求されるため、X Y軸の位置決めが迅速であるほど、トポグラフィーがZ方向に高速に動けます。これは測定回数を削減すると共に、時間経過と共に増加する温度ドリフトを削減することが可能です。

スキャン ステージの重要な役割

標本の位置制御において、ピエゾステージは重要な役割を果たします。それはスキャン平面上の軸に対しては100または200 μmのストローク、Z軸に対しては30 μmのストロークを持ち、分解能は2 nm以上となるよう設計されています。 加えて、静電容量センサにより動作方向に対する直交方向の偏差を測定するアクティブガイドが、軌跡の再現性を高めます。これにより、動作上望ましくないクロストークは、検出およびリアルタイムにアクティブな補正を受けます。 最適な制御を行うデジタル電子機器も高サイクルレートで動作します。これは、ステージポジション値の精密な制御、およびカメラによる記録にとって、非常に重要です。

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