3-D表面検査

白色光干渉計に組み込まれた高分解能カメラシステム

高度に開発された、接触なしの、そして非破壊的プロセスを使うことによって、表面の輪郭と粗面がリアルタイムでピコメートルの分解能で分析されます。そしてこれは多くの異なった材料に利用できます。この目的で、高分解能デジタル カメラ システムが白色光干渉計に結合されています。

レンズの速くて正確なポジショニングは個々の測定結果を分析してそれを意味のある画像に"assembly"組み立てる上で非常に重要な要件です。

レンズのポジションは個々の画像に合わせる必要があります。それができた場合にのみ、高精度の3D表面検査が可能になるのです。

レボルバー用位置決めシステム

この場合において、ピエゾベースのポジショニングシステムは優れた選択肢です。それは顕微鏡に直接取り付けることができ、レボルバ全体を可動するができます。それゆえ取付後でも様々なレンズをZ軸方向に高精度で移動させることができるのです。またそれは、バックラッシはもちろん、摩擦や摩耗もなく動作します。加えて最大10gまで加速することが可能なため、リアルタイム3D表面測定に必要とされる高周波数動作に適しています。

フォーカスの高安定性

高精度で、バックラッシュなしのフレクシャガイドは高い安定性を確保するので、ナノメーターの精度によるキネマティック運動を可能にします。力と運動の伝達に使用されるフレクシャガイドは摩耗しません。 容量性センサーは運動中のポジションの正確な測定のために使用されます。それは、動いている機械システムの部分を物理的接触無しで直接測定します (直接計測)。摩擦もヒステリシスも測定を妨げません。サブナノメートルの範囲にあるポジション分解能と結合することで、これは直線性のために非常に高い価値を達成します。

お問い合わせ

担当者よりお問合せにつきまして、すぐにご連絡をさせて頂きます。

ダウンロード

pdf
pdf

Success Story: Fast, High-Precision 3D Surface Inspection (英語)

Piezo Actuators Position Objectives
SUCCESS STORY pi1073E
SUCCESS STORY pi1073E