アクティブ除振台を利用すると整定時間を短くすることが出来、計測工程、生産工程で精度が向上し、高い生産性を得ることができます。このメリットを利用できるシステムとしては、ラボのセットアップ、レーザー技術、機械エンジニアリング、光学計測、顕微鏡、微細加工などが挙げられます。
アクティブ除振台は、まず加速度センサーで振動を検出し、その振動を打ち消す振動がリアルタイムデジタル信号プロセッサにより制御されたピエゾアクチュエータにより生成されます。このプロセッサは高速反応が必要となる除振を可能にしています。
その独自の特性により、ピエゾアクチュエータは数ミリ秒の応答時間とサブナノメートルの分解能で動作し、アイソレータとして使用することができます。同時に10,000 g以上、最大数トンの負荷移動が可能です。
ピエゾ効果は電界に基づいており、ピエゾアクチュエータは磁界を生成せず、また磁界からの影響を受けません。ピエゾの動作は結晶性固体効果に基づいているため、環境の温度変化による影響はなく、機械的な磨耗もありません。