高真空下での薄層成長のIn-situ 調査

シンクロトロン放射光において、X線回析とX線反射は薄膜形成プロセスで薄膜の構造解析をするために使われています。パラレルキネマティックヘキサポッドは、サンプルの位置決めを高精度に行うためには最適です。

ヘキサポッドによるサンプルマニピュレーション

コンパクトなPLD (Pulsed Laser Deposition) システムにおいて、高真空ヘキサポッドは、入射X線に対してサンプルを位置決めするのに使われます。サンプルはXY方向に分解能0.001°で±5°に傾けることができます。 加えて、薄膜の厚みを補正するためにZ軸方向に動かすことができ、最大3 mm調整することができます。また、XおよびY方向には±6 mm動かすことができ、サンプル表面を幅広くスキャンすることができます。直径はたった130 mmのコンパクトなヘキサポッドは、高さはわずか115 mmに過ぎません。

お問い合わせ

担当者よりお問合せにつきまして、すぐにご連絡をさせて頂きます。

ダウンロード

pdf
pdf
pdf

Success Story: Hexapods Proven and Tested in Particle Accelerators (英語)

Applying Extremely Thin Layers in a Vaccum Chamber
SUCCESS STORY pi1118
SUCCESS STORY pi1118
SUCCESS STORY pi1118