原子間力顕微鏡 (AFM) 用の高精度スキャン

原子間力顕微鏡 (AFM) は、原子レベルの高い分解能で表面測定が可能で、光学顕微鏡では既に識別できない領域です。この新しいAFMシステムは、通常AFMを校正する際に使用する標準サンプルのテラスを測定することも可能です。

 

ピエゾベース ポジショニング システム

ピエゾベースの6軸ナノポジショニングシステムはスキャン用途に適しています。移動範囲は3つの直動軸上で12 µmになるように設計されています。3つの回転軸が寄生的なズレを補正します。0.1 nm以下の位置決めが可能です。AFMは定量測定に使用されるため、再現性だけではなく絶対精度も重要です。

高い共振周波数とデジタル コントロール

また高い位置決め精度は、システム全体が1.4kHz以上の高い共振周波数であることにも支えられています。そのため測定は、外部からの音波振動から確実に分断されます。デジタルピエゾコントローラは各軸を制御し、内部(静電容量)と外部(干渉計)の実績値キャプチャを切り替えることが可能です。

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Success Story: High-Accuracy and Traceable AFM Measurements on Semiconductors and Step Standards

Positioning in Sub-Nanometer Resolution
日付 / バージョン
pi1110
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