ファームウェア (Firmware)

コントローラーにはソフトウェアが付属しています。

FMPA

「Fast Multichannel Photonic Alignment」の略。

平坦度 (Flatness)

フレクシャガイド (Flexure Guides)

固体の動作は弾性変形に基づいており、静的、転がり、または滑り摩擦が回避されます。フレクシャやガイドシステムなどのソリッドボディ要素は、高剛性と高負荷容量によって区別され、衝撃や振動にほとんど影響されません。摩耗やメンテナンスが不要で、真空に対応し広い温度範囲で機能し潤滑を必要としません。