- 製品 - Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG

ピエゾモータ搭載N-565リニアステージシリーズ

高精度制御可能な52 mmトラベルレンジ                  

PI社は、N-565リニアステージシリーズにピエゾステッピングドライブを採用しています。この駆動原理により、ひとつのコンパクトなユニットで数ナノメートルレンジの再現性、高い案内精度と大きな力を可能にしています。このため、リニアステージは、顕微鏡の試料、光学装置、機械コンポーネントや、半導体産業、レーザーのセットアップや真空での事例など、重要な位置決め要件を実現します。

コンパクトでナノメートル精度

ステージの幅は65 mm、高さはたった20 mmで、トラベルレンジ13、26、52 mmで動作します。トラベルレンジに応じて、長さは80、110、160 mmとなります。位置制御のための測定システムとして、PI社は内蔵のマッハ ツェンダー干渉計をベースにした社内開発の光学リニアエンコーダを採用しています。この測定原理は、0.5 nmの分解能と最小インクリメンタルモーション2 nmを実現します。

ピエゾドライブはセルフロックします。目標位置に到達するか、システムのスイッチが切れると、ポジショニングユニットは、電流を使わず、発熱もせせず、その位置を維持します。ポジショニングステージの保持力は10 Nであり、最高速度は10 mm/sです。高いガイド精度は、強制的にガイドするクロスローラーベアリングによって達成されます。

完璧な一致: ネットワーク可能なコントローラとソフトウェア

リニアステージは、コンパクトなE-861コントローラーを使って、高い精度で簡単に運用できます。これはピエゾステッピングドライブのさまざまな動作をサポートし、機械的な要件に合わせて動作します。ネットワーク機能を備えており、単一のコンピューターインターフェースから同時に最大16台のコントローラを制御することができます。パラメータはすべて、ソフトウェアを通じて設定、確認することができます。起動およびシステム設定については、PIMikroMoveプログラムが提供範囲に含まれており、LabViewドライバやDLLを通じてカスタムソフトウェアに接続することが可能です。

データシート: N-565 最高精度リニアポジショナー

 

 

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プレス情報キット - N-565