- 製品 - Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG

高精度および速度のエアベアリング平面スキャナ

  PI (Physik Instrumente)社 の無摩擦エアベアリングXYポジショニングシステム:   A-322 は、速度1000 mm/sにおいて1 nmの分解能を実現します。                    

平面スキャナは高分解が必要とされ、高スループットが要求されるようなクリーンルーム環境の検査装置には最適なステージです。

フレクシャ機構によりクロスビームで上下軸を連結することにより、システムの剛性を損なうことなく、ヨーイングの最適化を行えませます。コアレスリニアモータは、スムーズなモーションでコギングのない優れた発生力を生み出します。


PIglide平面スキャナは、3つの高精度リニアエンコーダを搭載しています。1つは上軸用で、2つは下軸用です。インクリメンタルエンコーダとアブソリュートエンコーダの両方のオプションをご利用いただけます。


A-322は、デジタルコントローラで制御します。このデジタルコントローラは、ダイナミックな動作を改善したり、ガイド誤差を改善したりする高度なアルゴリズムを提供します。また、幅広いソフトウエアを開発するツールも同時に提供しております。

データシート: A-322 PIglideTM HSエアベアリングステージ

 

 

 

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プレス情報キット - A-322