- 製品 - Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG

ナノメートルの分解能と長期の安定性を実現するアクティブシム:ピエゾベースの「シム」による調節

半導体製造や測定、検査システムなどにおいて高精度マシン内の2コンポーネント間の目標寸法や実寸法が変化した場合、再調整が必要になります。たとえば、お客様の作業場所でマシンを起動する際には、設置後に初期設定やドリフト、公差の変化を補正しなくてはなりません。所定の寸法に合わせて厳密に研磨されている従来のシムのデメリットは、機械的に挿入しなければならないということです。さらに、微調整に制約が生じることもあるほか、たいていの場合一度寸法を決定した後では、変更は非常に困難です。PI (Physik Instrumente)社はこの問題の完全な解決策を見つけ、ピエゾベースの「シム」であるPIRestを開発しました。このアクティブシムをマシンへ取り付けると、2つのコンポーネント間の隙間をいつでも、しかもナノメートルの精度で再調整できるようになります。

このピエゾベースのシムはマシンの製造時に組み込まれており、当社の他のピエゾアクチュエータとまったく同じように、実質的にあらゆる形状やサイズが用意されています。電圧をかけることで、このアクチュエータで静的な隙間を設けられます。当社では、マッチングを制御しながらこの調節プロセスを行うことのできる使いやすい電源をご用意しています。調節後は電圧をかけなくても所定の位置に安定して留まるため、電源を取り外せます。標準的な製品では変位の上限は35 µmですが、アクティブシムをうまく組み合わせることにより最大で6方向にわたり調節を行えるようになります。

このシムはピエゾベースであり数トンもの荷重を支えることができるため、手の届かない場所でもはるかに簡単に調整を行えます。また、必要に応じて従来のピエゾアクチュエータと組み合わせることで、動的な振動補償などにも対応可能です。一般的な用途としては、測定プロセスや走査プロセス中の焦点面の再調節、測定や材料加工でのレーザー光の制御などが挙げられます。

詳しくは、次を参照してください。

PIRestアクチュエータ

PI社について

PI (Physik Instrumente)社は製品が高品質なことで知られており、長年にわたって世界的な高精度ポジショニング技術の市場において中心的な役割を担っています。40年にわたり、ピエゾドライブやモータードライブを使用した標準製品やOEM製品の開発、製造を行っています。多軸高精度駆動システム向けに世界的にトップレベルのモジュール式モーションコントローラーの開発、製造を行っているACS Motion Control社の主要株主となることで、当社は非常に高い精度やダイナミクスが求められる業界用途に対応した完全なシステムの実現に向けて大きな一歩を踏み出しました。PIグループはドイツ国内の4か所に加えて、世界各地で販売サービスを手がける15の子会社で構成されています。

www.pi.ws

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プレス情報キット - PIRest