- 製品 - Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG

ハイダイナミクス、広い移動範囲、荷重補償を備えた新しい垂直位置決めシステム。光学フォーカシング、スキャニング、あるいはセンターにあるセンサーの高さ調整

ゲノムシーケンス、多光子蛍光顕微鏡、深部組織検査、レーザー材料加工、ウェーハ検査、研究用磁気ピンセットなど...大きな移動範囲、高いダイナミクスと精度を備えた垂直位置決めシステムは、顕微鏡や産業界の数多くのアプリケーションで必要とされています。新V308ボイスコイルPIFOCは、これらの要求をすべて満たす磁気ダイレクトドライブベースのソリューションを提供します。

V-308 PIFOCのコアエレメントは、ベースボディに配置された高精度クロスローラガイドを備えた1軸スライダーです。スライダーの駆動には、ハイダイナミクス用に特別に開発された中央のPIMag®ボイスコイルモーターが使用されています。7mmの大きな移動範囲は、ユーザーが調整可能なハードストップで上下方向を制限することができます。加速度は最大 8 m/s²、最大速度は 200 mm/sです。これにより、100nmおよび250nmのステップサイズで ±15nmのエラーバンドの場合、ステップ&静定時間は 15msec以下です。よって、フォーカスユニットの超高速位置決め、超高速データ取得、高い生産性を実現します。

この高精度を実現するために、高分解能のオプティカル式PIOneリニアエンコーダが使われています。最小10nmのインクリメンタル モーションと25nmの双方向再現性(100nmトラベル時)を実現しています。

磁力荷重補償

新しいV-308 PIFOCの特徴は、マグネットによる荷重補正です。これにより、電源がOFFでもスライダーと搭載物が確実に浮上するので、停電時やコントローラーの電源を切ったときの制御不能な衝突を防ぐことができます。対物レンズを交換する場合など、軸を柔軟に使用するために、ユーザーは打ち消す力を調整し、最大1kgまでの全体荷重(対物レンズとホルダー)を補償することができます。これにより、垂直方向に使用しても、水平方向の軸として機能します。

コンパクトなデザインと豊富なアクセサリーで容易に組み込み

87×77×30mm(H/W/D)サイズで非常にコンパクト。アダプタープレートにより、メートル法またはインペリアル法の穴パターンを持つ光学ベンチまたはプレートに取り付けることができます。また、2種類の対物レンズホルダー(縦置き、横置き)と、M32×0.75までの異なる直径の対物レンズに対応するアダプターリングも用意されています。

V-308 PIFOCは、特別開発されたC-414コントローラーを標準で提案します。あるいは、EtherCAT機能を内蔵したACSコントローラでの動作も可能です。ユーザーは、サーボ制御パラメータを積極的に制御でき(ゲイン スケジューリング)、さらにServoBoostなどのACSの他の機能と組み合わせることで、性能をさらに向上させることができます。

PI社概要

PI社は、ドイツ カールスルーエに本社を持ち、ライフサイエンス、半導体製造、フォトニクス、産業オートメーションなどのハイテクビジネスセクターでの高精度ポジショニングの市場およびテクノロジーリーダーです。世界中のお客様と緊密に連携し、50年間PIのスペシャリスト(約1,300人)は、技術的に可能なものの境界を何度も押し広げ、カスタマイズされたソリューションをゼロから開発してきました。350を超える付与済みおよび申請中の特許は、イノベーションに対する同社の主張を強調しています。PI社は 6つの製造拠点、15の営業支店をヨーロッパ, 北アメリカ, アジアに構えています。

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Press information kit – New Vertical Positioning System