- 製品 - Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG

長期の高安定性を備えたポジショニングシステム

最大6の自由度によるコンポーネントおよびサンプルの高精度なアラインメント。 半導体業界やフォトニクスアプリケーションでは、多くの場合、1回の処理段階ごとにコンポーネントを正確に位置決めし、安定した位置に確実に保持する必要があります。同様に、同じことがX線検査中の例にも当てはまります。PI(Physik Instrumente)社は、SpaceFab Q-845によって、これらのタイプや同様のアプリケーション向けに実践的なソリューションを提供します。

きわめて正確なパラレルキネマティック・ポジショニングシステムは、最大1 kg の荷重をナノメートル精度で自由度6で配置するだけでなく、長期にわたって安定したポジションに維持できます。この基礎は6つのリニアステージから成っており、それぞれがモーションプラットフォーム上で動作する3つの90度オフセットのダブルスタックでアレンジされています。これにより、XおよびY方向は±7mm、Z方向は±5mmの最大トラベルレンジが達成されます。3つの回転軸の回転範囲は、最大で±7度(θX、θY)または±8度(θZ)です。圧電慣性ドライブがリニアステージの駆動力となっています。静止状態の保持トルクのおかげで、ターゲットポジションで保持する間にエネルギーは消費されず、熱は生成されません。これは、ポジショニングシステムが真空でのアプリケーションにも適していることを意味します(
to 10-6 hPaまでの真空対応)。

空間的配置での取り付け

あらゆる空間的配置において、長期的に安定したポジショニングシステムの取り付けが可能です。プリロードのカルダンベアリングおよびリニアベアリングの品質によって、「さかさま」または「側面にぶら下がった」アプリケーションで同様のパフォーマンスが可能になります。この構造により、それぞれの荷重条件への適応が可能になりますが、他の顧客要件もきわめて短期間のうちに実現できます。制御にはC-886多軸コントローラをお勧めします。このコントローラはPIMikroMoveソフトウェアのサポートによってシステムに簡単に統合でき、使いやすい制御が可能になります。対応するソフトウェアモジュールは、MatlabやNI LabViewなどの外部アプリケーションへの統合で使用できます。必要な場合は、コントローラはアドオンカードを通じて2つの追加軸のドライブを制御できます。

詳細については、以下を参照してください。

Q-845 Q-Motion® SpaceFAB

PI社について

高品質な製品で知られるPI(Physik Instrumente)社は、高精度ポジショニングテクノロジの世界市場において長年にわたってリーダーの一員であり続けています。PI社は40年以上にわたり、ピエゾドライブまたはモータドライブによる標準製品およびOEM製品を開発し、製造しています。ドイツの4拠点のほかに、PIグループには15の販売およびサービスの海外拠点があります。

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プレス情報キット - Q-845