ピエゾモータドライブ駆動小型リニアステージ

ピエゾモーターは、ピエゾセラミックアクチュエータ特有の高い剛性および位置分解能と、理論的には無限大のトラベルレンジを兼ね備えています。本製品は、各用途で従来使用されていたモータースピンドル方式や磁気ダイレクトドライブに代わるものであり、設置スペースが限られている場合や、高い分解能が求められる場合に特に適しています。目下の課題に応じ、弊社では最大速度が500 mm/秒のものや最大発生力が800 Nのものなど、各種のピエゾモーターテクノロジー製品を開発しています。