電気モーター内蔵チルトプラットフォーム

PiezoWalk®ドライブは、非常に高い信頼性、位置分解能、長期安定性が要求される半導体業界向けに10年余り前に開発されました。このPiezoWalk®テクノロジーにより、弊社は2005年にSEMI Technology Innovation Showcase賞を受賞しました。本ドライブの開発は現在も進められており、さまざまな用途向けに多くのバージョンをご用意しております。