リニア ピエゾ フレクシャ ステージ

PI社のナノポジショニングステージとスキャナーでは、ナノメートルの精度の分解能とガイド精度を、クロストークが最小となるように組み合わせています。このため、計測の基準としての用途や微細プロセス、干渉計、あるいは半導体チップ生産における検査システムなどに、特に適しています。

PICMA®ピエゾアクチュエータドライブおよびフレクシャガイド搭載のリニアピエゾステージでは、最大1.5 mmのトラベルレンジに対応できます。

ピエゾフレクシャリニアステージ

P-753 LISA Linear Actuator and Positioning Stage

Dynamic and Stable in Position

P-752 High-Precision Nanopositioning Stage

Highly Dynamic and Stable Piezo Scanner with Extremely Accurate Guiding

P-750 Piezo Nanopositioner

High-Load Piezo-Driven Nanopositioner with Direct Position Measuring

P-611.1 Linear Piezo Positioner

Inexpensive, Compact Linear Stage

P-620.1 • P-629.1 PIHera Linear Precision Positioner

Variable Travel Ranges and Axis Configuration

ピエゾフレクシャ上下駆動ステージ

P-620.Z - P-622.Z PIHera Vertical Precision Positioner

Variable Travel Ranges and Axis Configuration

P-733.Z High Dynamics Z Nanopositioning Stage

Direct Position Measuring and Clear Aperture

P-612.Z Piezo Z Stage

Compact Nanopositioner with Aperture

P-611.Z Piezo Z Stage

Compact Nanopositioner