LMS-180 Precision Linear Stage

LMS-180 Precision Linear Stage
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  • Travel ranges to 508 mm (20")
  • Velocity to 500 mm/s
  • Incremental encoder with 15 nm resolution

Reference-class linear stage

High travel accuracy with recirculating ball bearings. Inductive limit switches. High position resolution due to incremental encoder with analog signal transmission (sin/cos, 1 Vpp).

Multi-axis combinations with the directly driven rotation stages of the UPR series.

Versions with DC servo or stepper motors are available with the same footprint.

 

Magnetic direct drive

Ironless magnetic direct drive for high velocity and acceleration. High position resolution.

Fields of application

Industry and research. Metrology, precision scanning in semiconductor or electronics manufacturing.

Specifications

Datasheet LMS-180

バージョン/日付
2017-04-19
バージョン/日付
2017-04-19
バージョン/日付
2017-08-08
ドキュメントの言語

Downloads

データシート

Datasheet LMS-180

バージョン/日付
2017-04-19
バージョン/日付
2017-04-19
バージョン/日付
2017-08-08
ドキュメントの言語

ドキュメント

User Manual LMS-180

Precision Linear Stage
バージョン/日付
MAN_LMS-180_9_EN_01.PDF
バージョン/日付
2017-04-21
ドキュメントの言語

3D モデル

LMS-180 STEP

バージョン/日付
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