V-551.2B
高精度リニアステージ、幅：160 mm、トラベルレンジ：60 mm、最大荷重：150 N、アブソリュートエンコーダー、センサー分解能：1 nm、アイアンレス3相リニアモーター
V-551 高精度ステージ
High Velocity and Precision due to Magnetic Direct Drive
- トラベルレンジ：最大230 mm
- 速度：最大0.5 m/s
- 高いガイド精度
- 幅160 mmのコンパクト設計
V-551、下面図および側面図、寸法（mm）
V-551, 上面図および側面図、寸法（mm）
トラベルレンジ130 mmの改良型V-551 リニアステージによるXY構成（オプションでケーブルベアに対応）
60 mmのトラベルレンジを持つ V-551リニアステージ3台で構成したXYZアセンブリ。 Z軸は改良されており、自重による荷重を磁気的に補償します。
V-551 高精度ステージ
製品の解説
仕様
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基準クラスのリニアポジショナー
スムーズな走行を実現するクロスローラーベアリング採用の高精度リニアガイドにより、本リニアポジショナーは、一定速度でのスキャニング用途に特に適しています。 アンチクリープシステムにより、ケージのクリープを確実に防止します。 これらのガイドは、あらゆる動作条件下で高い耐荷重性能と高精度を維持します。
リニアモーター
リニアモーターは電磁式のダイレクトドライブです。 駆動系の機械部品を必要とせず、駆動力をモーションプラットフォームに直接かつ摩擦なく伝達します。 ドライブは高速度と高加速度に達します。 コアレスモーターは、永久磁石との望ましくない相互作用がないため、精度への要求が最も厳しい位置決め作業に特に適しています。 これにより、最低速度時でもスムーズな稼働が可能になり、高速度域でも振動がありません。 制御動作時の非線形性が回避され、どの位置でも簡単にコントロールできます。 駆動力も柔軟に設定できます。
直接位置測定
位置測定はモーションプラットフォーム上で直接、高い精度で行われるため、非線形性、機械的なガタ、弾性変形が位置測定に影響を及ぼすことはありません。 位置測定はモーションプラットフォーム上で直接、高い精度で行われるため、非線形性、機械的なガタ、弾性変形が位置測定に影響を及ぼすことはありません。 テージにはアブソリュートエンコーダーを搭載しています。 現在位置を直接把握できる絶対位置情報を出力するため、位置を即座に特定できます。 これにより、電源投入時にリファレンシングが不要となり、運用中の効率と安全性を向上させます。
応用分野
産業および研究。 オートメーション。 計測技術。 半導体・フラットパネルディスプレイ製造におけるフォトニクスおよび高精度スキャニング用途。
仕様
仕様
Select a travel range:
| Motion | V-551.2B | V-551.4B | V-551.7B | Tolerance |
|---|---|---|---|---|
| Active axes | X | X | X | |
| Travel range in X | 60 mm | 130 mm | 230 mm | |
| Maximum velocity in X, unloaded | 500 mm/s | 500 mm/s | 500 mm/s | |
| Straightness error in Y (straightness) | ± 1 µm | ± 1 µm | ± 2 µm | typ. |
| Straightness error in Z (flatness) | ± 2 µm | ± 2 µm | ± 2 µm | typ. |
| Angular error around Y (pitch) | ± 50 µrad | ± 100 µrad | ± 100 µrad | typ. |
| Angular error around Z (yaw) | ± 50 µrad | ± 50 µrad | ± 50 µrad | typ. |
| Positioning | V-551.2B | V-551.4B | V-551.7B | Tolerance |
| Minimum incremental motion in X | 0.002 µm | 0.002 µm | 0.002 µm | typ. |
| Unidirectional repeatability in X | ± 0.01 µm | ± 0.01 µm | ± 0.01 µm | typ. |
| Bidirectional repeatability in X | 0.1 µm | 0.1 µm | 0.1 µm | typ. |
| Reference switch | — | — | — | |
| Limit switches | Hall effect, N/O contact, 5 V, TTL | Hall effect, N/O contact, 5 V, TTL | Hall effect, N/O contact, 5 V, TTL | |
| Integrated sensor | Absolute linear encoder | Absolute linear encoder | Absolute linear encoder | |
| Sensor signal | BiSS-C | BiSS-C | BiSS-C | |
| Sensor signal period | — | — | — | |
| Sensor resolution | 1 nm | 1 nm | 1 nm | |
| Drive properties | V-551.2B | V-551.4B | V-551.7B | Tolerance |
| Drive type | Ironless 3-phase linear motor | Ironless 3-phase linear motor | Ironless 3-phase linear motor | |
| Nominal voltage | 48 V | 48 V | 48 V | |
| Nominal current, RMS | 1.5 A | 1.5 A | 1.5 A | typ. |
| Peak current, RMS | 10 A | 10 A | 10 A | typ. |
| Drive force in X | 27 N | 27 N | 27 N | typ. |
| Peak force in X | 180 N | 180 N | 180 N | |
| Force constant | 18 N/A | 18 N/A | 18 N/A | |
| Resistance phase-phase | 5.4 Ω | 5.4 Ω | 5.4 Ω | typ. |
| Inductance phase-phase | 1.8 mH | 1.8 mH | 1.8 mH | |
| Back EMF | 16 V·s/m | 16 V·s/m | 16 V·s/m | max. |
| Pole pitch N-N | 30 mm | 30 mm | 30 mm | |
| Mechanical properties | V-551.2B | V-551.4B | V-551.7B | Tolerance |
| Permissible push force in Y | 50 N | 50 N | 50 N | max. |
| Permissible push force in Z | 150 N | 150 N | 150 N | max. |
| Moved mass in X, unloaded | 2200 g | 2700 g | 4900 g | |
| Guide | Crossed roller guide | Crossed roller guide | Crossed roller guide | |
| Overall mass | 4200 g | 5500 g | 9700 g | |
| Material | アルミニウム、黒アルマイト加工 | アルミニウム、黒アルマイト加工 | アルミニウム、黒アルマイト加工 | |
| Miscellaneous | V-551.2B | V-551.4B | V-551.7B | Tolerance |
| Operating temperature range | 5 ～ 40 °C | 5 ～ 40 °C | 5 ～ 40 °C | |
| Connector | HD D-sub 26 (m) | HD D-sub 26 (m) | HD D-sub 26 (m) | |
| Sensor connector | D-sub 15 (f) | D-sub 15 (f) | D-sub 15 (f) | |
| Recommended controllers/drivers | C-891, C-885（C-891.10C885と組み合わせた場合）、A-811.CE, G-901 | C-891, C-885（C-891.10C885と組み合わせた場合）、A-811.CE, G-901 | C-891, C-885（C-891.10C885と組み合わせた場合）、A-811.CE, G-901 |
センサー分解能に関する注記：コントローラーによる内部補間後の値
最小インクリメンタルモーションに関する注記：ACS NanoPWM使用時
接続ケーブルは同梱されていませんので、別途ご注文ください。
PI では、技術データは 22 ±3 ℃ において規定されています。 記載がない限り、数値は負荷のない条件のもとにあります。 一部の特性は相互に依存しています。 「typ.」の表記は、特性の統計的な平均値を示すものであり、供給されるすべての製品に対して保証値を示すものではありません。 製品の最終検査では、すべての特性ではなく、選択された特性のみが分析されます。 一部の製品特性は、使用時間の増加に伴って劣化する可能性がある点にご注意ください。
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データシート
ドキュメント
ドキュメント
ユーザーマニュアル MP160
V-551.xD 高精度リニアステージ
日付 / バージョン
1.1.3 2020-06-12
pdf - 2 MB
日付 / バージョン
1.1.3 2020-06-12
pdf - 2 MB
ドキュメント
ユーザーマニュアル MP147
V-551.xB 高精度リニアステージ
日付 / バージョン
1.0.4 2020-06-12
pdf - 2 MB
日付 / バージョン
1.0.4 2020-06-12
pdf - 2 MB
３D モデル
３D モデル
V-551 3Dモデル
zip - 6 MB
見積 / 発注
必要な数量、価格、およびリードタイムに関する無料の見積を依頼するか、必要な編集について説明します。オンラインで提供されるすべての製品は直接発注できます。
V-551.4B
高精度リニアステージ、幅：160 mm、トラベルレンジ：130 mm、最大荷重：150 N、アブソリュートエンコーダー、センサー分解能：1 nm、アイアンレス3相リニアモーター
V-551.7B
高精度リニアステージ、幅：160 mm、トラベルレンジ：230 mm、最大荷重：150 N、アブソリュートエンコーダー、センサー分解能：1 nm、アイアンレス3相リニアモーター
