PIMag®磁気ダイレクトドライブ リニアモータステージ

摩擦のない磁気ダイレクトドライブによって、ハイダイナミクスステージを実現できます。また、モータースピンドル方式のステージと比較した場合、磁気ダイレクトドライブは機械コンポーネントの数が少ないため摩擦やバックラッシュが減り、より高い精度が得られます。

PI社のPIglideステージは、極めて正確にプリロードされたエアベアリングと磁気ダイレクトドライブの組み合わせにより、さらに性能を高めています。