A-123 PIglideAT3エアベアリングリニアステージ

ハイパフォーマンスナノポジショニングステージ

A-123 PIglideAT3エアベアリングリニアステージ
製品の解説 仕様 ダウンロード 見積 / 発注
  • 適した用途:スキャン、あるいは高精度ポジショニング
  • クリーンルームに対応
  • モーションプラットフォームのサイズ210 mmx210 mm
  • トラベルレンジ50 mm~750 ㎜
  • 分解能~1nm

製品概要

PIglide内のステージには、プリロードされたエアベアリングを備えたサーボドライブリニアモータと内蔵リニアエンコーダが装備されています。これらの非接触部品の組み合わせは、最高の性能、品質、そして長寿命を提供する摩擦のないモーションプラットフォームを実現します。

強力なリニアモーターでステージを数ミリ秒以内に最高速度まで駆動でき、大容量ベアリングで最大60 kgのペイロードをサポートできます。このモデルでは、横方向に対向する予圧されたエアベアリング設計により、任意の向きに取り付けることができます。

アクセサリーとオプション

  • エンコーダー
  • PIglideフィルターおよびエア供給ユニット
  • 単軸および多軸のモーションコントローラー
  • XYセットアップと個々の設定
  • ケーブルトラックバリエーション
  • 垂直(Z)方向のカウンターウェイト付きオプション
  • カスタマイズも可能
  • 振動緩和システム

応用分野

PIglide位置決めシステムは、計測学、フォトニクス、半導体製造やフラットパネルディスプレイ製造における精密スキャンなど、多くの高精度アプリケーションに最適です。

動作時摩擦が発生せず粒子が形成されないため、PIGlideシリーズはクリーンルームでの使用に最適です。

仕様

データシート

Datasheet A-123

日付 / バージョン
2019-01-31
日付 / バージョン
2019-01-31
日付 / バージョン
2019-02-07
日付 / バージョン
2019-07-18
ドキュメントの言語

ダウンロード

製品についての注意事項

製品についての注意事項

Product Change Notification A-xxx.*C1

日付 / バージョン
2018-08-02
ドキュメントの言語 英語

データシート

データシート

Datasheet A-123

日付 / バージョン
2019-01-31
日付 / バージョン
2019-01-31
日付 / バージョン
2019-02-07
日付 / バージョン
2019-07-18
ドキュメントの言語

ドキュメント

ドキュメント

User Manual A123D0001

A-123 PIglide AT3 Series Linear Air Bearing Stage, Linear Motor Driven with Encoder Feedback
日付 / バージョン
2016-12-02
ドキュメントの言語 英語

3D モデル

3D モデル

A-123 3-D model

見積 / 発注

必要な数量、価格、およびリードタイムに関する無料の見積を依頼するか、必要な編集について説明します。オンラインで提供されるすべての製品は直接発注できます。

A-123.050A1
PIglide AT3 リニアステージ エアベアリング 50mm トラベルレンジ インクリメンタルインクリメンタルエンコーダー(sin/cos signal transmission) 20μm センサー信号ピリオド コアレス3相リニアモーター 48 V
A-123.050B1
PIglide AT3 リニアステージ エアベアリング 50mm トラベルレンジ BiSS-C信号伝送を備えたアブソリュートリニアエンコーダ 1nm センサー分解能 コアレス3相リニアモーター 48 V
A-123.100A1
PIglide AT3 リニアステージ エアベアリング 100mm トラベルレンジ インクリメンタルインクリメンタルエンコーダー(sin/cos signal transmission) 20μm センサー信号ピリオド コアレス3相リニアモーター 48 V
A-123.100B1
PIglide AT3 リニアステージ エアベアリング 100mm トラベルレンジ BiSS-C信号伝送を備えたアブソリュートリニアエンコーダ 1nm センサー分解能 コアレス3相リニアモーター 48 V
A-123.150A1
PIglide AT3 リニアステージ エアベアリング 150mm トラベルレンジ インクリメンタルインクリメンタルエンコーダー(sin/cos signal transmission) 20μm センサー信号ピリオド コアレス3相リニアモーター 48 V
A-123.150B1
PIglide AT3 リニアステージ エアベアリング 150mm トラベルレンジ BiSS-C信号伝送を備えたアブソリュートリニアエンコーダ 1nm センサー分解能 コアレス3相リニアモーター 48 V
A-123.200A1
PIglide AT3 リニアステージ エアベアリング 200mm トラベルレンジ インクリメンタルインクリメンタルエンコーダー(sin/cos signal transmission) 20μm センサー信号ピリオド コアレス3相リニアモーター 48 V
A-123.200B1
PIglide AT3 リニアステージ エアベアリング 200mm トラベルレンジ BiSS-C信号伝送を備えたアブソリュートリニアエンコーダ 1nm センサー分解能 コアレス3相リニアモーター 48 V
A-123.350A1
PIglide AT3 リニアステージ エアベアリング 350mm トラベルレンジ インクリメンタルインクリメンタルエンコーダー(sin/cos signal transmission) 20μm センサー信号ピリオド コアレス3相リニアモーター 48 V
A-123.350B1
PIglide AT3 リニアステージ エアベアリング 350mm トラベルレンジ BiSS-C信号伝送を備えたアブソリュートリニアエンコーダ 1nm センサー分解能 コアレス3相リニアモーター 48 V
A-123.500A1
PIglide AT3 リニアステージ エアベアリング 500mm トラベルレンジ インクリメンタルインクリメンタルエンコーダー(sin/cos signal transmission) 20μm センサー信号ピリオド コアレス3相リニアモーター 48 V
A-123.500B1
PIglide AT3 リニアステージ エアベアリング 500mm トラベルレンジ BiSS-C信号伝送を備えたアブソリュートリニアエンコーダ 1nm センサー分解能 コアレス3相リニアモーター 48 V
A-123.750A1
PIglide AT3 リニアステージ エアベアリング 750mm トラベルレンジ インクリメンタルインクリメンタルエンコーダー(sin/cos signal transmission) 20μm センサー信号ピリオド コアレス3相リニアモーター 48 V
A-123.750B1
PIglide AT3 リニアステージ エアベアリング 750mm トラベルレンジ BiSS-C信号伝送を備えたアブソリュートリニアエンコーダ 1nm センサー分解能 コアレス3相リニアモーター 48 V

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