V-551 PIMag® Precision Linear Stage

磁気直接駆動により高速、高精度を実現

V-551 PIMag® Precision Linear Stage
製品の解説 仕様 ダウンロード 見積 / 発注
  • 最大トラベルレンジ230 mm
  • 最大速度0.5 m/秒
  • 分解能1 nmのアブソリュートエンコーダー
  • PIOneリニアエンコーダーで最大精度を発揮:最小インクリメンタルモーション0.5 nm
  • 高いガイドの精度
  • 幅160 mmのコンパクト設計

基準となるレベルのリニアステージ

クロスローラーベアリングを搭載した高精度リニアガイドにより滑らかな挙動を実現しているため、一定速度でのスキャンに特に適しています。保持器ずれ防止機能が保持器のずれを確実に防止します。どのような動作条件下でも、高い耐荷重と精度を発揮します。

PIMag磁気駆動ドライブ

3相の磁気ダイレクトドライブはドライブトレイン内で機械部品を使用しないため、駆動力を直接摩擦プラットフォームの動プラットフォームに伝達します。ドライブは高速度と加速度に到達します。 アイアンレスモーターは、永久磁石との望ましくない相互作用がないため、精度に対する要求が最も高い位置決め作業に特に適しています。これにより、最低速度でもスムーズな走行が可能になり、同時に高速度での振動がなくなります。制御動作の非線形性が回避され、どの位置でも簡単に制御できます。ドライブフォースは自由に設定できます。

直接位置計測

位置計測は、非直線性、機械的な遊び、弾性変形からの影響を受けないように、モーションプラットフォーム上にて最高の精度で直接行われます。

PI開発の高分解能エンコーダーであるPIOneと、適切な測定値処理方法を組み合わせることで、1ナノメートルよりはるかに小さな位置分解能を実現しています。PIOneは、干渉計の測定原理に基づいた光学式の非接触エンコーダーです。信号の周期が短く品質が高いため、PIOneエンコーダーの直線性誤差は1 %未満となっています。PIOneエンコーダーは、基準信号の評価時の方位センシングに対応しています。

アブソリュートエンコーダは、位置を即座に特定できるように明確な位置情報を提供するものです。このためスイッチを入れた際に基準位置を設定する必要がないため、操作中の効率と安全性が向上します。

応用分野

産業および研究用途 オートメーション、測定テクノロジー、フォトニクス、半導体やフラットパネルディスプレイ製造における高精度スキャン

仕様

データシート

Datasheet V-551

日付 / バージョン
2019-01-22
日付 / バージョン
2019-01-22
日付 / バージョン
2019-02-08
日付 / バージョン
2019-07-17
ドキュメントの言語

ダウンロード

データシート

データシート

Datasheet V-551

日付 / バージョン
2019-01-22
日付 / バージョン
2019-01-22
日付 / バージョン
2019-02-08
日付 / バージョン
2019-07-17
ドキュメントの言語

ドキュメント

ドキュメント

User Manual MP160

V-551.xD PIMag® Precision Translation Stage
日付 / バージョン
1.1.0 2018-02-28
日付 / バージョン
1.1.0 2018-02-28
ドキュメントの言語
ドキュメント

Short Instructions MP163EK

Positioners with PIMag® Drive: V-408 / V-508 / V-52x / V-551
日付 / バージョン
3.0.0 03/2019
ドキュメントの言語 英語
ドキュメント

User Manual MP147 (英語)

V-551 PIMag® Precision Translation Stage
日付 / バージョン
1.0.1 2017-09-05
日付 / バージョン
1.0.1 2017-06-22
ドキュメントの言語

3D モデル

3D モデル

V-551 3-D model

見積 / 発注

必要な数量、価格、およびリードタイムに関する無料の見積を依頼するか、必要な編集について説明します。オンラインで提供されるすべての製品は直接発注できます。

V-551.2D
PIMag高精度リニアステージ、幅160 mm、トラベルレンジ60 mm、耐荷重150 N、PIOne インクリメンタルエンコーダー(sin/cos signal transmission)、センサー信号ピリオド2 µm、コアレス3相リニアモーター
V-551.4D
PIMag高精度リニアステージ、幅160 mm、トラベルレンジ130 mm、耐荷重150 N、PIOne インクリメンタルエンコーダー(sin/cos signal transmission)、センサー信号ピリオド2 µm、コアレス3相リニアモーター
V-551.7D
PIMag高精度リニアステージ、幅160 mm、トラベルレンジ230 mm、耐荷重150 N、PIOne インクリメンタルエンコーダー(sin/cos signal transmission)、センサー信号ピリオド2 µm、コアレス3相リニアモーター

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