ナノポジショニング ピエゾ フレクシャ ステージ

PI社のピエゾフレクシャステージでは、サブナノメートルの分解能とガイド精度を、クロストークが最小となるように組み合わせています。このため、計測用途や高解像度の顕微鏡、干渉計、あるいは半導体チップ生産における検査システムなどに、特に適しています。ピエゾフレクシャステージは、最大6自由度にて、整定時間がミリ秒単位の精密位置決めおよび数百ヘルツの動的なスキャンに対応しています。

自社開発のセンサー設計、摩擦のないフレクシャガイド、長寿命のPICMA®ピエゾアクチュエータという他に類のない組み合わせにより、頑丈で卓越した構造を実現しています。ピエゾモーションコントローラーは位置決めおよびスキャンの性能最適化に対応しており、デジタルまたはアナログのインターフェイスと簡単なプログラミングにより容易に統合できます。