P-611.1 リニアピエゾポジショニングシステム

コストパフォーマンスがよく、コンパクトなリニアポジショニングシステム

P-611.1 リニアピエゾポジショニングシステム
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  • コンパクト設計: 表面サイズ 44x44mm角
  • 移動範囲 120μm
  • 分解能 ~0.2nm
  • コストパフォーマンスのよいシステム(メカとコントローラ)
  • PICMAピエゾアクチュエータによる優れた寿命
  • Zステージ XY、XZ、XYZバージョンあり

応用分野

  • 顕微鏡検査
  • ナノポジショニング
  • バイオテクノロジー
  • テストアプリケーション
  • 半導体テクノロジー
  • フォトニクス
  • ファイバー調整

ピエゾアクチュエータによる優れた寿命

特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。

ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度

フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100%真空対応で、広い温度範囲で動作します

仕様

Datasheet P-611.1 (英語)

日付 / バージョン
2018-04-16
日付 / バージョン
2018-04-13
日付 / バージョン
2018-06-08
日付 / バージョン
2018-06-08
ドキュメントの言語

ダウンロード

データシート

Datasheet P-611.1 (英語)

日付 / バージョン
2018-04-16
日付 / バージョン
2018-04-13
日付 / バージョン
2018-06-08
日付 / バージョン
2018-06-08
ドキュメントの言語

ドキュメント

User Manual PZ253 (英語)

P-611 Nanopositioning Systems with Strain Gauge Sensors / without Sensor
日付 / バージョン
2014-07-24
日付 / バージョン
2014-07-24
ドキュメントの言語

Technical Note P611T0006 (英語)

Unpacking and Handling of P-611 Nanopositioning Systems
日付 / バージョン
2018-01-24
ドキュメントの言語 英語

3D モデル

P-611.1x 3-D model

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