特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。
フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100％真空対応で、広い温度範囲で動作します
駆動軸
X
内蔵センサー
SGS
-
オープンループトラベル -20～+120V
120
µm
+20 % / -0 %
トラベルレンジ（クローズドループ時）
100
分解能（オープンループ時）
0.2
nm
標準
分解能（クローズドループ時）
2
リニアリティエラー(クローズドループ時）
0.1
%
再現性
10
ピッチング
±5
µrad
ヨーイング
±20
平坦度
動作方向の剛性
N/µm
±20 %
無負荷時共振周波数
400
Hz
共振周波数@30g時
300
共振周波数@100g時
195
動作方向でのプッシュ/プルフォース
15 / 10
N
最大
負荷容量
15
セラミックタイプ
PICMA P-885
静電容量
1.5
µF
動作温度範囲
-20～80
°C
材料
アルミニウム、鋼鉄
寸法
44 mm x 44 mm x 17 mm
質量
0.135
kg
±5 %
ケーブル長さ
m
±10 mm
電圧接続部
LEMO
センサー接続
推奨コントローラ
E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-665, E-836
P-611 Nanopositioning Systems with Strain Gauge Sensors / without Sensor
Unpacking and Handling of P-611 Positioners
Piezo Positioning Systems: P-5xx / P-6xx / P-7xx
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特許取得済みの多層アクチュエータの製造技術は、高い信頼性と長寿命をお約束いたします。
PI社のフレクシャガイドは、ナノポジショニングの世界においてその価値を証明しています。フレクシャガイドはピエゾをガイドし、傾きや横方向へのズレがない直進性を保証します。
