P-611.1 リニアピエゾポジショニングシステム
コストパフォーマンスがよく、コンパクトなリニアポジショニングシステム
- コンパクト設計: 表面サイズ 44x44mm角
- 移動範囲 120μm
- 分解能 ~0.2nm
- コストパフォーマンスのよいシステム(メカとコントローラ)
- PICMAピエゾアクチュエータによる優れた寿命
- Zステージ XY、XZ、XYZバージョンあり
応用分野
- 顕微鏡検査
- ナノポジショニング
- バイオテクノロジー
- テストアプリケーション
- 半導体テクノロジー
- フォトニクス
- ファイバー調整
ピエゾアクチュエータによる優れた寿命
特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。
ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度
フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100%真空対応で、広い温度範囲で動作します
仕様
仕様
P-611.1S | P-611.10 | 単位 | 公差 | |
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駆動軸 | X | X | ||
動作および位置決め | ||||
内蔵センサー | SGS | - | ||
オープンループトラベル -20~+120V | 120 | 120 | µm | +20 % / -0 % |
トラベルレンジ(クローズドループ時) | 100 | - | µm | |
分解能(オープンループ時) | 0.2 | 0.2 | nm | 標準 |
分解能(クローズドループ時) | 2 | - | nm | 標準 |
リニアリティエラー(クローズドループ時) | 0.1 | - | % | 標準 |
再現性 | <10 | - | nm | 標準 |
ピッチング | ±5 | ±5 | µrad | 標準 |
ヨーイング | ±20 | ±20 | µrad | 標準 |
平坦度 | 10 | 10 | nm | 標準 |
機械特性 | ||||
動作方向の剛性 | 0.2 | 0.2 | N/µm | ±20 % |
無負荷時共振周波数 | 400 | 400 | Hz | ±20 % |
共振周波数@30g時 | 300 | 300 | Hz | ±20 % |
共振周波数@100g時 | 195 | 195 | Hz | ±20 % |
動作方向でのプッシュ/プルフォース | 15 / 10 | 15 / 10 | N | 最大 |
負荷容量 | 15 | 15 | N | 最大 |
駆動特性 | ||||
セラミックタイプ | PICMA P-885 | PICMA P-885 | ||
静電容量 | 1.5 | 1.5 | µF | ±20 % |
その他 | ||||
動作温度範囲 | -20~80 | -20~80 | °C | |
材料 | アルミニウム、鋼鉄 | アルミニウム、鋼鉄 | ||
寸法 | 44 mm x 44 mm x 17 mm | 44 mm x 44 mm x 17 mm | ||
質量 | 0.135 | 0.135 | kg | ±5 % |
ケーブル長さ | 1.5 | 1.5 | m | ±10 mm |
電圧接続部 | LEMO | LEMO | ||
センサー接続 | LEMO | - | ||
推奨コントローラ | E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-665, E-836 | E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-665, E-836 |
ダウンロード
製品についての注意事項
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
データシート
ドキュメント
User Manual PZ253 (英語)
P-611 Nanopositioning Systems with Strain Gauge Sensors / without Sensor
Unpacking Instructions P611T0006
Unpacking and Handling of P-611 Positioners
3D モデル
P-611.1x 3-D model
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