P-611.Z ピエゾZステージ

コンパクトなナノポジショナー

P-611.Z ピエゾZステージ
製品について 仕様 ダウンロード 見積 / 発注
  • 小型:表面サイズ44 mmx44 mm
  • 移動範囲 100μm
  • 分解能~0.2nm
  • コストパフォーマンスのよいシステム(メカとコントローラ)
  • ゼロ点調整、高精度フレクシャガイドシステム
  • PICMAピエゾアクチュエータによる優れた寿命
  • X、XY、XZ、XYZバージョン

応用分野

  • マイクロ機械加工
  • フォトニクス
  • ファイバー調整
  • 検査と品質保証

ピエゾアクチュエータによる優れた寿命

特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。

ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度

フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100%真空対応で、広い温度範囲で動作します

仕様

Datasheet P-611.Z (英語)

バージョン/日付
2018-08-14
バージョン/日付
2018-08-14
バージョン/日付
2018-06-13
バージョン/日付
2018-07-18
ドキュメントの言語

ダウンロード

データシート

Datasheet P-611.Z (英語)

バージョン/日付
2018-08-14
バージョン/日付
2018-08-14
バージョン/日付
2018-06-13
バージョン/日付
2018-07-18
ドキュメントの言語

ドキュメント

User Manual PZ253 (英語)

P-611 Nanopositioning Systems with Strain Gauge Sensors / without Sensor
バージョン/日付
2014-07-24
バージョン/日付
2014-07-24
ドキュメントの言語

Technical Note P611T0006 (英語)

Unpacking and Handling of P-611 Nanopositioning Systems
バージョン/日付
2018-01-24
ドキュメントの言語 英語

3D モデル

P-611.Z 3-D model

見積 / 発注

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