P-612.Z ピエゾZステージ

開口部つきのコンパクトなナノポジショナー

P-612.Z ピエゾZステージ
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  • 移動範囲 100μm
  • 分解能 ~0.2nm
  • リニアリティエラー 0.2 %
  • 小型:表面サイズ60mmx60xx
  • コストパフォーマンスのよいシステム(メカとコントローラ)
  • ゼロ点調整、高精度フレクシャガイドシステム
  • PICMAピエゾアクチュエータによる優れた寿命

応用分野

  • 干渉計
  • 顕微鏡検査
  • ナノポジショニング
  • バイオテクノロジー
  • 検査と品質保証
  • 半導体テクノロジー

ピエゾアクチュエータによる優れた寿命

特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。

ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度

フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100%真空対応で、広い温度範囲で動作します

仕様

Datasheet P-612.Z (英語)

日付 / バージョン
2018-05-08
日付 / バージョン
2018-05-08
日付 / バージョン
2018-06-14
日付 / バージョン
2018-07-12
ドキュメントの言語

ダウンロード

データシート

Datasheet P-612.Z (英語)

日付 / バージョン
2018-05-08
日付 / バージョン
2018-05-08
日付 / バージョン
2018-06-14
日付 / バージョン
2018-07-12
ドキュメントの言語

ドキュメント

User Manual PZ280

P-612 XY Nanopositioning Systems and Vertical Nanopositioning Stages
日付 / バージョン
1.0.0 2017-04-27
日付 / バージョン
1.0.0 2017-04-27
ドキュメントの言語

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