P-630 ハイダイナミクスピエゾナノポジショニングシステム

大きな開口部つきの1軸ステージ

P-630 ハイダイナミクスピエゾナノポジショニングシステム
製品について 仕様 ダウンロード 見積 / 発注
  • 共振周波数~3.25 kHz
  • トラベルレンジ~80μ m
  • 細長く薄型設計
  • 開口部30 mm径

応用分野

  • 光学アライメント
  • 顕微鏡検査
  • バイオテクノロジー
  • フォトニクス
  • ファイバー調整

ピエゾアクチュエータによる優れた寿命

特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。

静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能

静電容量性センサーはサブナノメートル分解能で接触することなく測定します。

優れた直線性の動き、長期安定性、帯域幅(kHz)を保証します

ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度

フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100%真空対応で、広い温度範囲で動作します

自動構成と高速コンポーネント交換

メカニクスとコントローラは必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。

すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのSub-DコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラのスイッチが入る度このデータを使用します。

ダイレクト計測による最大精度

モーションは、ドライブまたはガイド要素の影響を受けることなく、モーションプラットフォームで直接測定されます。

これにより最適な再現性、優れた安定性、堅牢で高速応答の制御が可能になります。

高度な真空アプリケーションに適しています

ピエゾシステムで使用されるすべてのコンポーネントは、真空での使用に適しています。

動作に潤滑油やグリースは不要 ポリマーを不使用のピエゾシステムによる低アウトガス率

仕様

Datasheet P-630 (英語)

バージョン/日付
2018-04-16
バージョン/日付
2018-04-13
バージョン/日付
2018-06-08
バージョン/日付
2018-06-08
ドキュメントの言語

ダウンロード

データシート

Datasheet P-630 (英語)

バージョン/日付
2018-04-16
バージョン/日付
2018-04-13
バージョン/日付
2018-06-08
バージョン/日付
2018-06-08
ドキュメントの言語

ドキュメント

User Manual PZ247 (英語)

P-630, P-631 Piezo Nanopositioning Systems with Aperture and Capacitive Sensor
バージョン/日付
2013-09-20
バージョン/日付
2013-09-20
ドキュメントの言語

Short Instructions PZ240EKDK (英語)

P-5xx, P-6xx, P-7xx Piezo Positionings Systems
バージョン/日付
4.0.0 2017-02-06

その他

TOPICS – the PI Magazine, Issue 49

Hexapod Automation Field Bus / G-Code; Magnetic Direct Drives PIMag Voice Coil and more ...
バージョン/日付
NUZ49
バージョン/日付
NUZ49
ドキュメントの言語

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