P-752 高精密ナノポジショニングステージ

高精度なガイドがついた高ダイナミクスで安定性の高いピエゾスキャナー

P-752 高精密ナノポジショニングステージ
製品について 仕様 ダウンロード 見積 / 発注
  • 分解能 0.1nm
  • 高速応答
  • 移動範囲~35μm
  • 静電容量センサーによる高リニアリティ
  • フレクシャガイドにより摩擦のない直進性の高い動きを実現
  • PICMAピエゾアクチュエータによる優れた寿命

応用分野

  • 顕微鏡のスキャニング
  • 計測技術
  • 検査と品質保証
  • フォトニクス
  • ファイバー調整

ピエゾアクチュエータによる優れた寿命

特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。

静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能

静電容量性センサーはサブナノメートル分解能で接触することなく測定します。

優れた直線性の動き、長期安定性、帯域幅(kHz)を保証します

ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度

フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100%真空対応で、広い温度範囲で動作します

自動構成と高速コンポーネント交換

メカニクスとコントローラは必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。

すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのSub-DコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラのスイッチが入る度このデータを使用します。

ダイレクト計測による最大精度

モーションは、ドライブまたはガイド要素の影響を受けることなく、モーションプラットフォームで直接測定されます。

これにより最適な再現性、優れた安定性、堅牢で高速応答の制御が可能になります。

仕様

Datasheet P-752 (英語)

バージョン/日付
2018-04-16
バージョン/日付
2018-04-13
バージョン/日付
2018-06-08
バージョン/日付
2018-06-08
ドキュメントの言語

ダウンロード

データシート

Datasheet P-752 (英語)

バージョン/日付
2018-04-16
バージョン/日付
2018-04-13
バージョン/日付
2018-06-08
バージョン/日付
2018-06-08
ドキュメントの言語

3D モデル

P-752 STEP

バージョン/日付
2017-10-12

見積 / 発注

要な数量、価格、およびリードタイムに関する無料の見積を依頼するか、必要な編集について説明します。オンラインで提供されるすべての製品は直接発注できます