P-753 LISAリニアアクチュエータとステージ

ダイナミックで安定した位置決め

P-753 LISAリニアアクチュエータとステージ
製品について 仕様 ダウンロード 見積 / 発注
  • 同時にガイドされたアクチュエータとステージ
  • 移動範囲~38 μm
  • 分解能0.05 nm
  • 非磁性バージョンも可能
  • 直接駆動による速応答
  • 静電容量センサーによる高リニアリティ

応用分野

  • 顕微鏡のスキャニング
  • 計測技術
  • 検査と品質保証
  • フォトニクス
  • ファイバー調整

ピエゾアクチュエータによる優れた寿命

特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。

静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能

静電容量性センサーはサブナノメートル分解能で接触することなく測定します。

優れた直線性の動き、長期安定性、帯域幅(kHz)を保証します

ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度

フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100%真空対応で、広い温度範囲で動作します

ダイレクト計測による最大精度

モーションは、ドライブまたはガイド要素の影響を受けることなく、モーションプラットフォームで直接測定されます。

これにより最適な再現性、優れた安定性、堅牢で高速応答の制御が可能になります。

高度な真空アプリケーションに適しています

ピエゾシステムで使用されるすべてのコンポーネントは、真空での使用に適しています。

動作に潤滑油やグリースは不要 ポリマーを不使用のピエゾシステムによる低アウトガス率

PICMA直接駆動による高剛性とダイナミクス

PICMA直接駆動のピエゾナノポジショナーは、機械的な並進を伴わない。これによりピエゾ駆動範囲での最高剛性とダイナミクスと同様に、応答速度が速くなります。

仕様

Datasheet P-753 (英語)

バージョン/日付
2018-04-16
バージョン/日付
2018-04-13
バージョン/日付
2018-06-08
バージョン/日付
2018-06-08
ドキュメントの言語

ダウンロード

データシート

Datasheet P-753 (英語)

バージョン/日付
2018-04-16
バージョン/日付
2018-04-13
バージョン/日付
2018-06-08
バージョン/日付
2018-06-08
ドキュメントの言語

ドキュメント

User Manual PZ254 (英語)

P-753 LISA High-Dynamics Piezo Nanopositioning Systems
バージョン/日付
2014-10-13
バージョン/日付
2014-10-13
ドキュメントの言語

3D モデル

P-753 STEP

見積 / 発注

要な数量、価格、およびリードタイムに関する無料の見積を依頼するか、必要な編集について説明します。オンラインで提供されるすべての製品は直接発注できます

D-subコネクターバージョン(m)

LEMOコネクタ搭載バージョン

リニアポジショナー 真空対応(10-9hPa)

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