P-363 PicoCube XYZピエゾスキャナー

プローブ顕微鏡スキャン用ハイダイナミクスナノポジショニングシステム

P-363 PicoCube XYZピエゾスキャナー
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  • AFM/SPM用超高パフォーマンスクローズドループスキャナー
  • バイオテクノロジー用小型マニピュレーションツール
  • 共振周波数 9.8kHz
  • 最高精度の静電容量センサー
  • ガイドエラー自動補正のための並列測定技術
  • 分解能 50ピコメートル
  • 移動範囲 5μm x 5μm x 5μm
  • 真空対応バージョンあり

応用分野

  • プローブ顕微鏡スキャニング
  • 原子顕微鏡
  • スキャニングとスクリーニング

静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能

 

静電容量性センサーはサブナノメートル分解能で接触することなく測定します。

優れた直線性の動き、長期安定性、帯域幅(kHz)を保証します

 

ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度

フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100%真空対応で、広い温度範囲で動作します

自動構成と高速コンポーネント交換

 

メカニクスとコントローラは必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。

すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのSub-DコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラのスイッチが入る度このデータを使用します。

 

平行位置測定によるナノメートル範囲の高いトラッキング精度

すべての自由度は、単一の固定基準に対して測定されます。他軸への望ましくない動作のクロストークは、リアルタイムで(帯域幅に応じて)積極的に補正することができます(アクティブガイド)。ダイナミック操作でも、ナノメートルの範囲で高いトラッキング精度が達成可能。

高度な真空アプリケーションに適しています

 

ピエゾシステムで使用されるすべてのコンポーネントは、真空での使用に適しています。

動作に潤滑油やグリースは不要 ポリマーを不使用のピエゾシステムによる低アウトガス率

 

仕様

Datasheet P-363 (英語)

日付 / バージョン
2018-05-08
日付 / バージョン
2018-05-08
日付 / バージョン
2018-06-08
日付 / バージョン
2018-06-08
ドキュメントの言語

ダウンロード

データシート

Datasheet P-363 (英語)

日付 / バージョン
2018-05-08
日付 / バージョン
2018-05-08
日付 / バージョン
2018-06-08
日付 / バージョン
2018-06-08
ドキュメントの言語

3D モデル

P-363 3-D model

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