P-541.Z • P-541.T Z/チップ/チルトピエゾフレクシャステージ

薄型 大型開口部付

P-541.Z • P-541.T Z/チップ/チルトピエゾフレクシャステージ
製品の解説 仕様 ダウンロード 見積 / 発注
  • 薄型 組み込みが簡単 16.5mm
  • 開口部80 mmx80 mm
  • 移動範囲~150μm
  • チップ/チルト角 ~1.2mrad
  • パラレル制御による高速応答時間と多軸の精密制御
  • センサー選択が可能:歪みゲージ(低価格)または静電容量センサー(高性能)
  • PICMAピエゾアクチュエータによる優れた寿命
  • ロングストロークの顕微鏡ステージとの組み合わせ可能

応用分野

  • 顕微鏡のスキャニング
  • 高分解能顕微鏡
  • バイオテクノロジー
  • マスク/ウエハー位置決め
  • サンプル位置決め
  • 干渉計
  • 計測

ピエゾアクチュエータによる優れた寿命

特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。

静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能

 

静電容量性センサーはサブナノメートル分解能で接触することなく測定します。

優れた直線性の動き、長期安定性、帯域幅(kHz)を保証します

 

ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度

フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100%真空対応で、広い温度範囲で動作します

自動構成と高速コンポーネント交換

 

メカニクスとコントローラは必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。

すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのSub-DコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラのスイッチが入る度このデータを使用します。

 

平行運動による高ダイナミック多軸動作

平行運動学的多軸システムでは、すべてのアクチュエータが共通のプラットフォーム上で動作します。すべての軸の最小質量慣性および同一設計により、高速、動的、およびそれにもかかわらず精密運動が可能です。

仕様

データシート

Datasheet P-541.Z

日付 / バージョン
2018-05-08
日付 / バージョン
2018-05-08
日付 / バージョン
2018-06-06
日付 / バージョン
2018-07-10
ドキュメントの言語

ダウンロード

データシート

データシート

Datasheet P-541.Z

日付 / バージョン
2018-05-08
日付 / バージョン
2018-05-08
日付 / バージョン
2018-06-06
日付 / バージョン
2018-07-10
ドキュメントの言語

ドキュメント

ドキュメント

Technical Note P541T0001

Operating Instructions for the P-541.T0L Open-Loop Stage
日付 / バージョン
2012-03-08
ドキュメントの言語 英語
ドキュメント

Short Instructions PZ240EK

P-5xx / P-6xx / P-7xx Piezo Positioning Systems
日付 / バージョン
5.0.0 09/2018
ドキュメントの言語 英語

3D モデル

3D モデル

P-541.Z 3-D model

見積 / 発注

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