P-561 • P-562 • P-563 PIMarsナノポジショニングステージ

3軸対応可能な高精密ナノポジショニングシステム

P-561 • P-562 • P-563 PIMarsナノポジショニングステージ
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  • パラレル制御による高速応答時間と多軸の精密制御
  • トラベルレンジ300x300x300μm
  • 静電容量センサーによる高リニアリティ
  • ゼロ点調整、高精度フレクシャガイドシステム
  • 比類なきスキャニング平坦度
  • ハイダイナミクスなXYZバージョンをご用意。
  • 開口部66 mmx66mm
  • PICMAピエゾアクチュエータによる優れた寿命
  • UHVバージョン10-9hPa

応用分野

  • 顕微鏡のスキャニング
  • マスク/ウエハー位置決め
  • 干渉計
  • 計測技術
  • バイオテクノロジー
  • スキャニングとスクリーニング

ピエゾアクチュエータによる優れた寿命

特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。

静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能

静電容量性センサーはサブナノメートル分解能で接触することなく測定します。

優れた直線性の動き、長期安定性、帯域幅(kHz)を保証します

ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度

フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100%真空対応で、広い温度範囲で動作します

自動構成と高速コンポーネント交換

メカニクスとコントローラは必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。

すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのSub-DコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラのスイッチが入る度このデータを使用します。

平行位置測定によるナノメートル範囲の高いトラッキング精度

すべての自由度は、単一の固定基準に対して測定されます。他軸への望ましくない動作のクロストークは、リアルタイムで(帯域幅に応じて)積極的に補正することができます(アクティブガイド)。ダイナミック操作でも、ナノメートルの範囲で高いトラッキング精度が達成可能。

高度な真空アプリケーションに適しています

ピエゾシステムで使用されるすべてのコンポーネントは、真空での使用に適しています。

動作に潤滑油やグリースは不要 ポリマーを不使用のピエゾシステムによる低アウトガス率

仕様

Datasheet P-561 • P-562 • P-563 (英語)

日付 / バージョン
2018-05-08
日付 / バージョン
2018-05-08
日付 / バージョン
2018-06-20
日付 / バージョン
2018-07-02
ドキュメントの言語

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データシート

Datasheet P-561 • P-562 • P-563 (英語)

日付 / バージョン
2018-05-08
日付 / バージョン
2018-05-08
日付 / バージョン
2018-06-20
日付 / バージョン
2018-07-02
ドキュメントの言語

ドキュメント

Short Instructions PZ240

P-5xx, P-6xx, P-7xx Piezo Positionings Systems
日付 / バージョン
5.0.0

User Manual PZ248 (英語)

P-561, P-562, P-563 PIMars XYZ Nanopositioning Systems
日付 / バージョン
2013-11-22
日付 / バージョン
2013-11-22
ドキュメントの言語

3D モデル

P-56x 3-D model

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