P-562.6CD PIMars6軸ピエゾステージシステム

6軸対応可能な高精密ナノポジショニングシステム

P-562.6CD PIMars6軸ピエゾステージシステム
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  • 6動作軸:3xリニア 3x回転
  • トラベルレンジ~200μmリニア軸 チップ/チルト角 ~1 mrad
  • パラレル制御による高速応答時間と多軸の精密制御
  • 静電容量センサーによる高リニアリティ
  • ゼロ点調整、高精度フレクシャガイドシステム
  • 比類なきスキャニング平坦度
  • 開口部66 mmx66 mm
  • PICMAピエゾアクチュエータによる優れた寿命
  • UHV-compatible to 10-9hPa

応用分野

  • 顕微鏡のスキャニング
  • 高分解能顕微鏡
  • バイオテクノロジー
  • マスク/ウエハー位置決め
  • サンプル位置決め
  • 干渉計
  • 計測

ピエゾアクチュエータによる優れた寿命

特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。

静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能

静電容量性センサーはサブナノメートル分解能で接触することなく測定します。

優れた直線性の動き、長期安定性、帯域幅(kHz)を保証します

ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度

フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100%真空対応で、広い温度範囲で動作します

平行位置測定によるナノメートル範囲の高いトラッキング精度

すべての自由度は、単一の固定基準に対して測定されます。他軸への望ましくない動作のクロストークは、リアルタイムで(帯域幅に応じて)積極的に補正することができます(アクティブガイド)。ダイナミック操作でも、ナノメートルの範囲で高いトラッキング精度が達成可能。

高度な真空アプリケーションに適しています

ピエゾシステムで使用されるすべてのコンポーネントは、真空での使用に適しています。

動作に潤滑油やグリースは不要 ポリマーを不使用のピエゾシステムによる低アウトガス率

仕様

Datasheet P-562.6CD (英語)

バージョン/日付
2018-05-08
バージョン/日付
2018-05-08
バージョン/日付
2018-06-07
バージョン/日付
2018-07-19
ドキュメントの言語

ダウンロード

データシート

Datasheet P-562.6CD (英語)

バージョン/日付
2018-05-08
バージョン/日付
2018-05-08
バージョン/日付
2018-06-07
バージョン/日付
2018-07-19
ドキュメントの言語

3D モデル

P-562.6CD 3-D model

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