P-587 6軸精密ピエゾステージ

ロングストローク ダイレクト位置計測

P-587 6軸精密ピエゾステージ
製品について 仕様 ダウンロード 見積 / 発注
  • X Y Z θXYZスキャニング 位置決め用途
  • リニアストローク:800 μmx800 μmx200 μm
  • 最大1mradの回転レンジ
  • パラレル制御による高速応答時間と多軸の精密制御
  • 静電容量センサーによる高リニアリティを実現
  • PICMAピエゾアクチュエータによる優れた寿命
  • ゼロ点調整、高精度フレクシャガイドシステム
  • 6 軸すべてのアクティブ軌道制御

応用分野

  • 干渉計
  • 計測
  • ナノポジショニング
  • 半導体検査
  • 半導体製造

ピエゾアクチュエータによる優れた寿命

特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。

静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能

静電容量性センサーはサブナノメートル分解能で接触することなく測定します。

優れた直線性の動き、長期安定性、帯域幅(kHz)を保証します

ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度

フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100%真空対応で、広い温度範囲で動作します

自動構成と高速コンポーネント交換

メカニクスとコントローラは必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。

すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのSub-DコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラのスイッチが入る度このデータを使用します。

ダイレクト計測による最大精度

モーションは、ドライブまたはガイド要素の影響を受けることなく、モーションプラットフォームで直接測定されます。

これにより最適な再現性、優れた安定性、堅牢で高速応答の制御が可能になります。

高度な真空アプリケーションに適しています

ピエゾシステムで使用されるすべてのコンポーネントは、真空での使用に適しています。

動作に潤滑油やグリースは不要 ポリマーを不使用のピエゾシステムによる低アウトガス率

仕様

Datasheet P-587 (英語)

バージョン/日付
2018-05-08
バージョン/日付
2018-05-08
バージョン/日付
2018-06-07
バージョン/日付
2018-07-18
ドキュメントの言語

ダウンロード

データシート

Datasheet P-587 (英語)

バージョン/日付
2018-05-08
バージョン/日付
2018-05-08
バージョン/日付
2018-06-07
バージョン/日付
2018-07-18
ドキュメントの言語

ドキュメント

User Manual PZ251 (英語)

P-587.6CD 6-Axis Nanopositioning System with Capacitive Sensors
バージョン/日付
2014-03-27
バージョン/日付
2014-03-27
ドキュメントの言語

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