P-726 PIFOC重量物用対物スキャナー

ロングトラベルレンジの重量物用ハイダイナミクススキャニングシステム

P-726 PIFOC重量物用対物スキャナー
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  • 大きな対象物用のハイダイナミクスポジショニングおよびスキャニング
  • 共振周波数 1120 Hz、210 gの対象物は560 Hz
  • ステップ&整定は約6 ms (設計値)
  • 移動範囲 100μm
  • 静電容量センサーによる最高の直線性、安定性、制御ダイナミクス
  • 分解能 0.3nm
  • ゼロ点調整、高精度フレクシャガイドシステム優れた焦点の安定性

応用分野

  • 高分解能顕微鏡
  • ライトディスク顕微鏡
  • 走査型顕微鏡
  • 3Dイメージング
  • スクリーニング
  • 干渉計
  • 計測技術
  • オートフォーカスシステム
  • バイオテクノロジー
  • 半導体検査

ピエゾアクチュエータによる優れた寿命

特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。

静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能

静電容量性センサーはサブナノメートル分解能で接触することなく測定します。

優れた直線性の動き、長期安定性、帯域幅(kHz)を保証します

ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度

フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100%真空対応で、広い温度範囲で動作します

自動構成と高速コンポーネント交換

メカニクスとコントローラは必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。

すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのSub-DコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラのスイッチが入る度このデータを使用します。

ダイレクト計測による最大精度

モーションは、ドライブまたはガイド要素の影響を受けることなく、モーションプラットフォームで直接測定されます。

これにより最適な再現性、優れた安定性、堅牢で高速応答の制御が可能になります。

仕様

Datasheet P-726

日付 / バージョン
2018-04-16
日付 / バージョン
2018-04-16
日付 / バージョン
2018-10-24
日付 / バージョン
2018-06-14
ドキュメントの言語

ダウンロード

データシート

Datasheet P-726

日付 / バージョン
2018-04-16
日付 / バージョン
2018-04-16
日付 / バージョン
2018-10-24
日付 / バージョン
2018-06-14
ドキュメントの言語

ドキュメント

User Manual P726T0002

P-726.1CD PIFOC® High-Load Objective Scanner
日付 / バージョン
2017-07-06
ドキュメントの言語 英語

Technical Note P726T0001

P-726 PIFOC® QuickLock Thread Option
日付 / バージョン
2017-03-04
ドキュメントの言語 英語

3D モデル

P-726 3-D model

日付 / バージョン
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