P-612.2 XYピエゾナノポジショニングシステム

小型 開口部付き

P-612.2 XYピエゾナノポジショニングシステム
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  • 小型:表面サイズ60mmx60xx
  • トラベルレンジ:100μmx100μm(クローズドループ時)/130μmx130μm(オープンループ時)
  • コスト重視のアプリケーション向け
  • 開口部20mmx20mm
  • パラレル制御による高速応答時間と多軸の精密制御
  • PICMAピエゾアクチュエータによる優れた寿命
  • 小型バージョンも対応可能

応用分野

  • 顕微鏡のスキャニング
  • 高速スループット顕微鏡
  • 高分解能顕微鏡
  • マスク/ウエハー位置決め
  • 干渉計
  • 計測技術
  • バイオテクノロジー
  • マイクロマニピュレーション

ピエゾアクチュエータによる優れた寿命

特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。

ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度

フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100%真空対応で、広い温度範囲で動作します

仕様

Datasheet P-612.2 (英語)

バージョン/日付
2018-04-16
バージョン/日付
2018-04-16
バージョン/日付
2018-06-13
バージョン/日付
2018-07-11
ドキュメントの言語

ダウンロード

データシート

Datasheet P-612.2 (英語)

バージョン/日付
2018-04-16
バージョン/日付
2018-04-16
バージョン/日付
2018-06-13
バージョン/日付
2018-07-11
ドキュメントの言語

ドキュメント

User Manual PZ280

P-612 XY Nanopositioning Systems and Vertical Nanopositioning Stages
バージョン/日付
1.0.0 2017-04-27
バージョン/日付
1.0.0 2017-04-27
ドキュメントの言語

見積 / 発注

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