P-620.2 – P-629.2 PIHeraXYピエゾステージ

多様なトラベルレンジ対応可能な高精度XYナノポジショナー

P-620.2 – P-629.2 PIHeraXYピエゾステージ
製品について 仕様 ダウンロード 見積 / 発注
  • トラベルレンジ50~1800μm
  • 分解能 ~0.1nm
  • 位置決め精度 0.02 %
  • 静電容量センサーで直接計測
  • X, XY, Z, XYZ バージョン

応用分野

  • 干渉計
  • 顕微鏡検査
  • ナノポジショニング
  • バイオテクノロジー
  • 検査と品質保証
  • フォトニクス
  • ファイバー調整
  • 半導体テクノロジー

ピエゾアクチュエータによる優れた寿命

特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。

静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能

静電容量性センサーはサブナノメートル分解能で接触することなく測定します。

優れた直線性の動き、長期安定性、帯域幅(kHz)を保証します

ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度

フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100%真空対応で、広い温度範囲で動作します

ダイレクト計測による最大精度

モーションは、ドライブまたはガイド要素の影響を受けることなく、モーションプラットフォームで直接測定されます。

これにより最適な再現性、優れた安定性、堅牢で高速応答の制御が可能になります。

高度な真空アプリケーションに適しています

ピエゾシステムで使用されるすべてのコンポーネントは、真空での使用に適しています。

動作に潤滑油やグリースは不要 ポリマーを不使用のピエゾシステムによる低アウトガス率

仕様

Datasheet P-620.2 – P-629.2 (英語)

バージョン/日付
2018-04-16
バージョン/日付
2018-04-16
バージョン/日付
2018-05-17
バージョン/日付
2018-07-03
ドキュメントの言語

ダウンロード

データシート

Datasheet P-620.2 – P-629.2 (英語)

バージョン/日付
2018-04-16
バージョン/日付
2018-04-16
バージョン/日付
2018-05-17
バージョン/日付
2018-07-03
ドキュメントの言語

ドキュメント

User Manual PZ234 (英語)

P-620, P-621, P-622, P-625, P-628, P-629 PIHera Piezo Stages with Capacitive Sensors
バージョン/日付
2014-07-15
バージョン/日付
2014-07-15
ドキュメントの言語

Short Instructions PZ240EKDK (英語)

P-5xx, P-6xx, P-7xx Piezo Positionings Systems
バージョン/日付
4.0.0 2017-02-06

3D モデル

P-62x.2 STEP

見積 / 発注

要な数量、価格、およびリードタイムに関する無料の見積を依頼するか、必要な編集について説明します。オンラインで提供されるすべての製品は直接発注できます

D-subコネクターバージョン(m)

LEMOコネクタ搭載バージョン

位置センサーなしリニアポジショナー

リニアポジショナー 真空対応(10-9hPa)

お問い合わせ

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