H-824 6-Axis Hexapod

Compact and Precise

H-824 6-Axis Hexapod
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  • Load capacity to 10 kg, self-locking version
  • Travel ranges to 45 mm / 25°
  • Min. incremental motion to 0.3 µm
  • Repeatability to ±0.1 µm / ±2 µrad
  • Velocity to 25 mm/s
  • Vacuum-compatible versions available

Precision-class 6-axis positioning system

Parallel-kinematic design for six degrees of freedom making it significantly more compact and stiff than serial-kinematic systems, higher dynamic range, no moved cables: Higher reliability, reduced friction. Vacuum-compatible versions to 10-6 hPa are available

Compact due to folded drive design

Fields of application

Research and industry, standard and vacuum environments. For micromanipulation, biotechnology, semiconductor manufacturing

Specifications

Datasheet H-824

日付 / バージョン
2018-05-17
日付 / バージョン
2018-05-16
日付 / バージョン
2018-07-12
ドキュメントの言語

Downloads

Datasheet

Datasheet H-824

日付 / バージョン
2018-05-17
日付 / バージョン
2018-05-16
日付 / バージョン
2018-07-12
ドキュメントの言語

Documentation

Short Instructions MS247EK

Hexapod Systems: H-xxx Hexapod with C-887.5xx Controller
日付 / バージョン
1.0.0 March 2018

User Manual MS200

H-824 Compact Microrobot
日付 / バージョン
2.0.0 2017-07-24
日付 / バージョン
2.0.0 2017-07-24
ドキュメントの言語

3-D Models

H-824 3-D model

日付 / バージョン
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H-824.G2V
Compact hexapod microrobot, gearhead, 0.5 mm/s, 5 kg load, vacuum compatible to 10-6 hPa, Sub-D connector, 2 m vacuum-side cable, feedthrough, 3 m air-side cable
H-824.D2V
Compact hexapod microrobot, direct drive, 12.5 mm/s, 2.5 kg load, vacuum compatible to 10-6 hPa, Sub-D connector, 2 m vacuum-side cable, feedthrough, 3 m air-side cable