M-850KTVH Vacuum Hexapod 6-Axis Positioner

M-850KTVH Vacuum Hexapod 6-Axis Positioner
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  • Six Degrees of Freedom, works in any orientation
  • Vacuum-compatible to 10-6 hPa
  • 200 kg load capacity (vertical) 2000 N
  • Repeatability to ±1 µm
  • Encoder resolution to 5 nm

Specifications

Datasheet M-850KTVH (英語)

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Datasheet M-850KTVH (英語)

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